Кварцын эд анги

Кварц нь хагас дамжуулагч боловсруулалтад хаа сайгүй ашиглагдаж байна. Энэ нь шинэ зүйл биш ч найдвартай бөгөөд ихэнх үйлдвэрүүд үүнийг хэрхэн ажилладагийг мэддэг. Цэвэршилтийг хянаж байгаа л бол диффуз, исэлдэлт, цэвэрлэгээний үе шатанд сайн ажилладаг.

Кварцын олон эд анги зуухны систем эсвэл PECVD багаж хэрэгсэлд ордог. Гол хүлээлт нь тогтвортой байдал бөгөөд энэ нь заавал урт хугацааны ашиглалтын хугацаа биш, харин урьдчилан таамаглах боломжтой гүйцэтгэл юм. Энэ нь ихэвчлэн олон стандарт процесст хангалттай сайн байдаг.

Мэдээж кварц нь хязгаартай. Энэ нь тодорхой нөхцөлд, ялангуяа SiC-тэй харьцуулахад илүү хурдан элэгдэж болно. Гэхдээ үүнийг олж авахад харьцангуй хялбар бөгөөд тийм ч үнэтэй биш тул хүмүүс үүнийг нэлээд их ашигладаг хэвээр байна.