0200-15699 Кварц тусгаарлагчийн газардуулгын цагираг

AMAT 0200-15699 Кварц тусгаарлагчийн газардуулгын цагираг нь хагас дамжуулагч плазмын боловсруулах тоног төхөөрөмжид цахилгаан тусгаарлалт болон хяналттай газардуулгыг хангах зориулалттай өндөр цэвэршилттэй хайлуулсан кварцын бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Энэ нь диэлектрик тусгаарлагч болон газардуулгын интерфейсийн функцийг хослуулсан тул камерын цахилгаан архитектурын чухал хэсэг болгодог.

Сийлбэр, CVD болон PVD системд ашиглахаар зохион бүтээгдсэн энэхүү бүрэлдэхүүн хэсэг нь дараахь шинж чанартай орчинд ажилладаг.

● Өндөр давтамжийн RF хүч

● Өндөр энергийн плазмын нөлөөлөл

● Реактив процессын химийн бодисууд

● Дулааны мөчлөгийг давтан хийх

Стандарт кварцын хамгаалалтын эд ангиудаас ялгаатай нь энэхүү газардуулгын цагираг нь процесст чухал цахилгааны үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд плазмын тогтвортой байдал, RF талбайн тархалт, процессын давтагдах чадварт шууд нөлөөлдөг.

Semixlab Technology компани нь кварц тусгаарлагчийн газардуулгын цагиргийг дараах материалаар үйлдвэрлэдэг.

● Бохирдол болон дамжуулах чадварын эрсдэлийг багасгахын тулд хэт өндөр цэвэршилттэй кварц

● Тогтвортой цахилгаан зай болон OEM нийцтэй байдлыг хангахын тулд нарийн боловсруулалт хийх

● Хяналттай гадаргуугийн өнгөлгөө нь бөөмсийн үүсэлт болон цахилгааны тогтворгүй байдлыг бууруулдаг

Энэ нь дэвшилтэт хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн орчинд найдвартай ажиллагааг хангадаг.

Тоног төхөөрөмжийн албан тушаал ба функциональ үүрэг

Суурилуулах байр суурь

Кварц тусгаарлагчийн газардуулгын цагиргийг ихэвчлэн дараах байдлаар суурилуулдаг.

Электростатик патроны (ESC) периметрийн эргэн тойронд

RF электродын бүтцийн ойролцоо

Плазмын ил гарсан хэсгүүд болон газардуулсан бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн хоорондох зааг дээр

Энэ нь плазмын бүрхүүлийн хил хязгаар болон RF талбайн харилцан үйлчлэлийн бүсэд байрладаг бөгөөд нарийн цахилгаан хяналт зайлшгүй шаардлагатай.

Үндсэн функцууд

1. Цахилгаан тусгаарлалт (Диэлектрик хаалт)

Кварц материал нь өндөр хүчин чадалтай диэлектрикийн үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд дараахь зүйлийг хангадаг.

● Дамжуулагч бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн хоорондох тусгаарлалт

● Санамсаргүй гүйдлийн замаас урьдчилан сэргийлэх

● Цахилгааны богино холболтоос хамгаалах

2. Хяналттай газардуулгын зам

Газардуулгын бүтцийн нэг хэсэг болгон цагираг нь:

● Тогтвортой лавлах потенциалыг тогтооно

● Камер доторх гүйдлийн буцах замыг зохицуулдаг

3. Плазмын тогтвортой байдал ба RF талбайн хяналт

Цахилгааны хил хязгаарыг тодорхойлсноор уг бүрэлдэхүүн хэсэг нь дараахь зүйлийг тусалдаг:

● Плазмын нягтралын тархалтыг тогтворжуулна

● Ваферын ойролцоо ионы энерги болон траекторыг тогтвортой байлгах

4. Нуман дарах болон цахилгааны найдвартай байдал

Зөв дулаалга болон газардуулга нь орон нутгийн цахилгаан орны концентрацийг бууруулж, дараахь зүйлд тусалдаг.

● Нуман цэнэг алдалтыг багасгах

● Камерын эвдрэл болон үйл явцын тасалдалаас урьдчилан сэргийлэх

Алдаа гарах нийтлэг горимууд

Цахилгаан стресс болон плазмын орчинд өртдөг чухал бүрэлдэхүүн хэсэг болох кварцын тусгаарлагчийн газардуулгын цагираг нь хэд хэдэн задралын механизмд өртдөг:

1. Цахилгааны доройтол ба гадаргуугийн дамжуулалт

● Бохирдол (металл эсвэл процессын үлдэгдэл) нь дамжуулагч зам үүсгэж болзошгүй

● Диэлектрик гүйцэтгэл цаг хугацааны явцад муудаж болзошгүй

Нөлөөлөл: Тогтворгүй RF-ийн зан төлөв, алдагдал гүйдэл эсвэл нуман гүйдлийн эрсдэл нэмэгддэг.

2. Плазмын нөлөөгөөр үүссэн элэгдэл

● Ионы бөмбөгдөлт нь гадаргуугийн барзгаржилтад хүргэдэг

● Материалын алдагдал нь цахилгаан зай болон талбайн тархалтыг өөрчилдөг

Нөлөөлөл: Плазмын зан төлөвийг хянах хяналтыг бууруулж, үйл явцын хувьсах чанарыг нэмэгдүүлсэн.

3. Металлын бохирдол ба тунадасжилт

● Кварцын гадаргуу дээр дамжуулагч материалын хуримтлал

● Дулаан тусгаарлах шинж чанарын өөрчлөлт

Нөлөөлөл: Газардуулгын эвдрэл болон цахилгааны тогтворгүй байдал үүсэх магадлалтай.

4. Дулааны стрессийн хагарал

● Халаах болон хөргөх давтагдах мөчлөгүүд нь дотоод стресс үүсгэдэг

● Бичил хагарал үүсч, тархаж болзошгүй

Нөлөөлөл: Механик эвдрэл болон гэнэтийн зогсолт.

5. Материалын хөгшрөлтөөс үүссэн бөөмс үүсэх

● Удаан хугацааны өртөлт нь кварцын бүтцийг сулруулдаг

● Бичил хагарал нь камерт бөөмс ялгаруулдаг

Нөлөөлөл: Хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүдийн гарцын алдагдал болон согогийн өсөлт.

Яагаад Semixlab технологийг сонгох ёстой вэ?

Хагас дамжуулагч материал болон процессын бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн чиглэлээр гүнзгий мэргэшсэн Semixlab Technology нь дэвшилтэт плазмын орчинд зориулагдсан өндөр хүчин чадалтай кварцын шийдлүүдийг нийлүүлдэг.

● Цахилгаан тусгаарлагч болон бохирдлыг хянах өндөр цэвэршилттэй материалууд

● Тогтвортой RF болон плазмын харилцан үйлчлэлийн нарийвчлалтай инженерчлэлийн загварууд

● Өмчлөлийн зардлыг (CoO) бууруулахын тулд үйлчилгээний хугацааг уртасгах

● AMAT системтэй жигд нэгтгэх зориулалттай OEM-тэй нийцтэй үйлдвэрлэл

Манай кварц тусгаарлагчийн газардуулгын цагираг нь чухал цахилгаан эд ангиудын найдвартай, өндөр чанартай хувилбаруудыг хайж буй хагас дамжуулагч үйлдвэрүүдийн итгэлийг хүлээдэг.