0200-10073 200мм кварц тусгаарлагч

AMAT 0200-10073 кварц 200мм тусгаарлагч нь хагас дамжуулагч плазмын боловсруулах тоног төхөөрөмжид цахилгаан тусгаарлагч болон бүтцийн тогтвортой байдлыг хангах зориулалттай нарийн инженерчлэлийн аргаар боловсруулсан хайлуулсан кварцын бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Үүнийг 200мм-ийн сийлбэр болон тунадасны системд катодын тусгаарлагч болгон ашигладаг.

Хэт өндөр цэвэршилттэй кварцаар үйлдвэрлэсэн энэхүү бүрэлдэхүүн хэсгийг дараах шаардлагтай орчинд ажиллахаар тусгайлан боловсруулсан болно.

● Өндөр давтамжийн RF хүч

● Өндөр энергийн плазмын нөлөөлөл

● Реактив процессын химийн бодисууд (жишээ нь, фтор, хлорын хий)

● Дулааны мөчлөгийн хурдан нөхцөл байдал

Стандарт хамгаалалтын кварц эд ангиудаас ялгаатай нь энэхүү тусгаарлагч нь цахилгааны чухал үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд RF холболтын тогтвортой байдлыг хангаж, камер дотор санамсаргүй гүйдлийн замаас сэргийлдэг.

Semixlab Technology компани нь AMAT 0200-10073 эквивалентийг OEM үзүүлэлтийг хангах эсвэл давтах зорилгоор хатуу чанарын хяналтан дор үйлдвэрлэдэг бөгөөд энэ нь дэвшилтэт хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд найдвартай, давтагдах гүйцэтгэлийг баталгаажуулдаг.

Тоног төхөөрөмжийн албан тушаал ба функциональ үүрэг

Суурилуулах байр суурь

Кварц тусгаарлагчийг ихэвчлэн дараах байдлаар суурилуулдаг.

● Доод катодын угсралтын эргэн тойронд эсвэл дотор талд

● Цахилгаан статик патрон (ESC)-ийн ойролцоо

● Камерын RF-ээр ажилладаг электродын хэсэгт

Энэ нь цахилгаан тусгаарлалт зайлшгүй шаардлагатай цөмийн плазмын үүсэлт ба RF харилцан үйлчлэлийн бүсэд байрладаг.

Үндсэн функцууд

1. Цахилгаан тусгаарлалт (Үндсэн үүрэг)

Энэ бүрэлдэхүүн хэсэг нь өндөр хүчин чадалтай диэлектрик хаалт болж, дараахь зүйлийг хангадаг.

● Дамжуулагч электродууд болон камерын бүтцийн хоорондох тусгаарлалт

● Радио давтамжийн алдагдал болон санамсаргүй гүйдлийн замаас урьдчилан сэргийлэх

2. RF талбайн тогтворжуулалт

Тодорхойлсон цахилгаан хил хязгаарыг хадгалах замаар тусгаарлагч нь дараахь зүйлийг тусалдаг.

● RF холболтын үр ашгийг тогтворжуулна

● Плазмын нягтралын тархалтыг тогтвортой байлгах

3. Плазмын тогтвортой байдлыг сайжруулах

Кварц тусгаарлагч нь дараахь зүйлд хувь нэмэр оруулдаг.

● Хяналттай плазмын хязгаарлалт

● Цахилгааны чимээ шуугиан болон тогтворгүй байдлыг бууруулсан

Давуу тал: Ионы энергийн илүү жигд тархалт болон тогтвортой үйл явцын үр дүн.

4. Механик дэмжлэг ба дулааны тогтвортой байдал

Цилиндр хэлбэртэй эсвэл хоолой хэлбэртэй бүтэцтэй тул уг бүрэлдэхүүн хэсэг нь дараахь зүйлийг хангадаг.

● Катодын угсралтын бүтцийн тулгуур

● Цикл халаалтын нөхцөлд маш сайн дулааны эсэргүүцэлтэй

Алдаа гарах нийтлэг горимууд

Цахилгаан болон плазмтай харьцах чухал бүрэлдэхүүн хэсэг болох кварц тусгаарлагч нь хэд хэдэн задралын механизмд өртдөг:

1. Цахилгааны доройтол

● Гадаргуугийн бохирдол нь дамжуулагч зам үүсгэдэг

● Цаг хугацаа өнгөрөх тусам диэлектрик гүйцэтгэл буурсан

Нөлөөлөл: RF-ийн тогтворгүй байдал, алдагдлын гүйдэл эсвэл процессын хэлбэлзэл.

2. Плазмын нөлөөгөөр үүссэн элэгдэл

● Ионы бөмбөгдөлт нь гадаргуугийн барзгаржилтад хүргэдэг

● Аажмаар материалын алдагдал нь геометрийг өөрчилдөг

Нөлөөлөл: Цахилгаан орны тархалт ба плазмын зан төлөвийн өөрчлөлт.

3. Нуман гэмтэл (Цахилгаан цэнэг алдалт)

● Орон нутгийн өндөр цахилгаан орон нь нуман хэлбэр үүсгэдэг

● Гадаргууг шатаах эсвэл нүх гаргах

Нөлөөлөл: Хүнд бохирдол болон камерт гэмтэл учруулж болзошгүй.

4. Дулааны стрессийн хагарал

● Халаалт болон хөргөлтийн давталтын мөчлөг

● Бичил хагарал цаг хугацааны явцад тархдаг

Нөлөөлөл: Механик эвдрэл болон гэнэтийн зогсолт.

5. Бөөм үүсгэх

● Хуучирсан кварц нь бичил хэсгүүдийг ялгаруулдаг

● Гадаргуугийн доройтол бохирдлын эрсдэлийг нэмэгдүүлдэг

Нөлөөлөл: Ургацын алдагдал болон согог нэмэгдэх.

Яагаад Semixlab технологийг сонгох ёстой вэ?

Хагас дамжуулагч материал болон процессын бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн чиглэлээр гүнзгий мэргэшсэн Semixlab Technology нь хүнд плазмын орчинд тохирсон өндөр хүчин чадалтай кварцын шийдлүүдийг нийлүүлдэг:

✔ Хэт өндөр цэвэршилттэй кварц: Бохирдлыг багасгаж, диэлектрикийн тогтвортой ажиллагааг хангана.

✔ Нарийвчлалтай боловсруулалт: Тогтвортой цахилгаан зай болон OEM нийцтэй байдлыг хангах хатуу хүлцэл.

✔ Гадаргуугийн боловсруулалтыг оновчтой болгосон: Бөөмийн үүсэлтийг бууруулж, плазмын нийцтэй байдлыг сайжруулдаг.

✔ Үйлчилгээний хугацааг уртасгах: Радио давтамж болон плазмын нөлөөнд тэсвэртэй байдлыг сайжруулж, эзэмшлийн зардлыг (CoO) бууруулдаг.

✔ OEM-тэй нийцтэй дизайн: Үйл явцыг тасалдуулахгүйгээр AMAT платформуудтай жигд интеграцчилал.

AMAT 0200-10073 тусгаарлагч кварцыг дараахь зүйлд өргөн ашигладаг.

● Хэрэглэсэн материал 200мм сийлбэрийн систем

● Плазмын сийлбэрийн процессууд (поли, диэлектрик, дамжуулагч сийлбэр)

● RF тусгаарлагч шаарддаг CVD болон PVD камерууд

Энэ нь ялангуяа уламжлалт болон тусгай хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд, үүнд дараахь зүйлс орно.

● Цахилгаан төхөөрөмжүүд (IGBT, SiC)

● MEMS үйлдвэрлэл

● Аналог болон холимог дохионы үйлдвэрлэл