0200-09911 Кварц бүрхүүлтэй цагираг

AMAT 0200-09911 кварц бүрхүүлийн цагираг нь плазмын сийлбэрийн системд ашиглах зориулалттай нарийн инженерчлэлээр хийгдсэн өндөр цэвэршилттэй кварцын бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Энэ нь сийлбэрийн камерт, ялангуяа 200 мм-ийн хавтангийн боловсруулалтын платформуудад суурилуулсан хамгаалалтын болон процессыг зохицуулах цагираг болж ажилладаг.

Хэт өндөр цэвэршилттэй хайлуулсан кварцаар үйлдвэрлэсэн энэхүү бүрэлдэхүүн хэсгийг дараах шинж чанаруудаар тодорхойлогддог хэт хагас дамжуулагч орчинд оновчтой болгосон.

● Өндөр энергийн плазмын нөлөөлөл

● Урвалд ордог химийн хийнүүд (жишээ нь, фтор дээр суурилсан химийн бодисууд)

● Дулааны мөчлөгийн хурдан нөхцөл байдал

Semixlab Technology компанид энэхүү бүтээгдэхүүнийг дараах зүйлсийг хатуу хяналтан дор үйлдвэрлэдэг.

● Материалын цэвэр байдал (металлын бохирдол багатай)

● Хэмжээст хүлцэл (ирмэгийн процессын хяналтад чухал ач холбогдолтой)

● Гадаргуугийн өнгөлгөө (тоосонцор үүсэхийг багасгах)

Энэ нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн дэвшилтэт процессуудад тогтвортой гүйцэтгэлийг баталгаажуулдаг.

Алдаа гарах нийтлэг горимууд

Хатуу плазмын нөхцөлд ажилладаг хэрэглээний бүрэлдэхүүн хэсэг болох Кварцын бүрхүүлийн цагираг нь хэд хэдэн задралын механизмд өртдөг:

1. Плазмын нөлөөгөөр үүссэн элэгдэл

● Ионы бөмбөгдөлтөөс үүдэлтэй гадаргуугийн барзгаржилт

● Аажмаар материалын алдагдал нь геометрийг өөрчилдөг

Нөлөөлөл: Зүсэлтийн жигд байдал буурч, процессын гүйцэтгэл тогтворгүй болно

2. Химийн бодисын хуримтлал ба бохирдол

● Гадаргуу дээр полимер эсвэл дайвар бүтээгдэхүүн хуримтлагдах

● Дулааны мөчлөгийн үед хальслах эсвэл гуужих

Нөлөөлөл: Бөөмсийн үүсэлт ба вафлийн бохирдол

3. Дулааны стрессийн хагарал

● Халаах болон хөргөх давтагдах мөчлөгүүд нь бичил хагарал үүсгэдэг

● Хагарлын тархалт нь бүтцийн эвдрэлд хүргэдэг

Үр нөлөө: Гэнэтийн эвдрэл болон төлөвлөөгүй зогсолт

4. Бөөм үүсгэх

● Кварцын хөгшрөлт нь бичил хагарал үүсгэдэг

● Гадаргуугийн доройтол нь бөөмсийг камерт оруулдаг

Нөлөөлөл: Ургацын алдагдал болон согогийн өсөлт

Яагаад Semixlab технологийг сонгох ёстой вэ?

Semixlab Technology компанид бид хагас дамжуулагчийн технологийн гүнзгий мэдлэгийг кварцын үйлдвэрлэлийн дэвшилтэт чадавхитай хослуулан дараахь зүйлийг хэрэгжүүлдэг.

● Хэт цэвэр боловсруулалтад зориулсан өндөр цэвэршилттэй кварц материал

● OEM-ийн яг тохирсон нарийвчлалтай боловсруулалт

● Өмчлөлийн өртгийг (CoO) бууруулахын тулд ашиглалтын хугацааны гүйцэтгэлийг оновчтой болгосон

● Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрийн стандартад нийцсэн хатуу чанарын хяналт

Манай сэлбэг хэрэгслийг OEM-ийн техникийн үзүүлэлтүүдийг хангах эсвэл давахаар зохион бүтээсэн бөгөөд энэ нь хүнд хэцүү сийлбэрийн орчинд жигд интеграци, найдвартай ажиллагааг баталгаажуулдаг.

Тоног төхөөрөмжийн албан тушаал ба функциональ үүрэг

Суурилуулах байр суурь

Кварцын бүрхүүлийн цагиргийг ихэвчлэн дараах байдлаар суурилуулдаг.

● Ваферын ирмэгийн бүсийн эргэн тойронд

● Цахилгаан статик патрон (ESC)-ийн периметр дээр эсвэл түүний ойролцоо

● Зүсэлтийн камерын плазмын өртөлтийн бүсэд

Энэ нь ирмэгийн хяналтын угсралтын нэг хэсэг болж ажилладаг бөгөөд фокусын цагираг болон сүүдрийн цагираг зэрэг бүрэлдэхүүн хэсгүүдтэй зэрэгцэн ажилладаг.

Үндсэн функцууд

1. Танхим болон эд ангийн хамгаалалт

Бөгж нь золиослолын хаалт болж, чухал бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг (ESC болон танхимын хана гэх мэт) дараахь зүйлсээс хамгаалдаг.

● Плазмын шууд бөмбөгдөлт

● Химийн зэврэлт

● Ионоос үүдэлтэй цацалт

Энэ нь өндөр үнэтэй камерын эд ангиудын ашиглалтын хугацааг мэдэгдэхүйц уртасгадаг.

2. Плазмын ирмэгийн хяналт ба процессын тогтвортой байдал

Инженерийн геометр (жишээ нь, шаталсан профайл болон ховилтой шинж чанарууд) нь дараахь зүйлийг тусалдаг:

● Ваферын ирмэгийн ойролцоо плазмын бүрхүүлийн тархалтыг зохицуулна

● Ирмэгийн нөлөөллийн хазайлтыг багасгах

● Зүсэлтийн жигд байдал болон CD (чухал хэмжээс)-ийн хяналтыг сайжруулна

Энэ нь өндөр нарийвчлалтай хэв маягийн шилжүүлгийн процесст онцгой чухал юм.

3. Хийн урсгал ба дайвар бүтээгдэхүүний менежмент

Хавтасны цагираг нь дараахь зүйлд хувь нэмэр оруулдаг.

● Ваферын ирмэг дээрх хийн урсгалын динамикийг хянадаг

● Хүсээгүй хэсэгт полимер хуримтлагдахыг бууруулсан

● Урт хугацааны процессын явцад тогтворжуулсан камерын нөхцөл байдал

Энэ нь давтагдах байдал болон ургацын сайжруулалтыг шууд дэмждэг.