0200-09977 Кварц бүрхүүл 200мм ховил

AMAT 0200-09977 кварц бүрхүүл 200мм ховил нь хагас дамжуулагч плазмын боловсруулах тоног төхөөрөмжид зориулагдсан өндөр цэвэршилттэй хайлуулсан кварц эд анги юм. Энэ нь кварц бүрхүүлийн эд ангиудын ангилалд багтдаг бөгөөд сийлбэрийн камер дотор хамгаалалтын болон орчныг тогтворжуулах элемент болдог.

200 мм-ийн вафлины тавцанд зориулан бүтээгдсэн энэхүү эд анги нь нарийн ховилын загвартай бөгөөд энэ нь вафлины чиглэлтэй нарийн уялдуулах, камерны харьцах механизмтай нийцтэй байдлыг хангах боломжийг олгодог.

Чанарын хатуу хяналтан дор үйлдвэрлэсэн энэхүү кварц бүрхүүлийг дараахь зүйлд зориулан оновчтой болгосон.

● Өндөр энергийн плазмын нөлөөлөл

● Урвалд ордог химийн орчин (жишээ нь, фтор болон хлор дээр суурилсан хий)

● Хагас дамжуулагч процессуудад давтагдсан дулааны мөчлөг

Semixlab Technology компани бүтээгдэхүүнийг дараахь зүйлийг ашиглан үйлдвэрлэдэг.

● Бохирдлын эрсдэлийг багасгахын тулд хэт өндөр цэвэршилттэй кварц материал

● Нарийн боловсруулалттай тул хатуу хүлцэл болон OEM нийцтэй байдлыг хангах

● Бөөмсийн үүсэлтийг багасгахын тулд гадаргуугийн өнгөлгөөг сайжруулсан

Энэ нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн орчинд найдвартай, давтагдах боломжтой гүйцэтгэлийг баталгаажуулдаг.

Тоног төхөөрөмжийн албан тушаал ба функциональ үүрэг

Суурилуулах байр суурь

Кварцын бүрхүүлийг ихэвчлэн дараах байдлаар суурилуулдаг.

● Ваферын ирмэгийн бүсийн эргэн тойронд эсвэл түүнээс дээш

● Цахилгаан статик патрон (ESC)-ийн ойролцоо

● Зүсэлтийн камерын плазмын өртөлтийн бүсэд

Энэ нь камерын хамгаалалт болон захын орчны хяналтын системийн нэг хэсэг болж үйлчилдэг бөгөөд ихэвчлэн фокусын цагираг болон сүүдрийн цагирагтай хамт ажилладаг.

Үндсэн функцууд

1. Танхимын хамгаалалт (Үндсэн үүрэг)

Кварцын бүрхүүл нь хамгаалалтын хаалт болж, чухал бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд (жишээлбэл, ESC, камерын хана) шууд өртөхөөс сэргийлдэг:

● Плазмын ионы бөмбөгдөлт

● Химийн зэврэлт

● Металл цацалт

Үр дүн: Өндөр үнэ цэнэтэй камерын эд ангиудын ашиглалтын хугацааг уртасгаж, бохирдлын эрсдэлийг бууруулсан.

2. Ирмэгийн орчны тогтворжуулалт

Геометр болон байршлаараа дамжуулан уг бүрэлдэхүүн хэсэг нь дараахь зүйлийг тусалдаг:

● Ваферын ирмэгийн ойролцоо плазмын нягтралыг тогтворжуулна

● Захын бүсэд хийн тархалтыг тогтвортой байлгах

Үр нөлөө: Үйл явцын давтагдах чадварыг сайжруулж, ирмэгтэй холбоотой хувьсах чанарыг бууруулсан.

3. Хийн урсгал ба дайвар бүтээгдэхүүний менежмент

Кварц бүрхүүл нь дараахь нөлөө үзүүлдэг.

● Орон нутгийн хийн урсгалын хэв маяг

● Үйл явцын дайвар бүтээгдэхүүний хуримтлалын зан төлөв

Давуу тал: Хүсээгүй полимер хуримтлалыг бууруулж, удаан хугацаагаар ажиллуулах явцад камерын цэвэр байдлыг сайжруулна.

4. Зэрэгцүүлэлт болон нийцтэй байдлын ховилын загвар

Нэгдсэн ховилын бүтэц нь дараахь боломжийг олгоно.

● Ваферын ховилын чиглэлтэй уялдуулах

● Өргөх зүү болон вафлины харьцах системтэй нийцтэй байдал

● Зэргэлдээ ирмэгийн эд ангиудтай механик интеграци

Ач холбогдол: Камерын угсралт дотор тогтвортой ажиллагаа, нарийн байрлалыг хангана.

Алдаа гарах нийтлэг горимууд

Хатуу плазмын нөхцөлд ажилладаг хэрэглээний бүрэлдэхүүн хэсэг болох Кварц бүрхүүл нь урьдчилан таамаглах боломжтой задралын механизмд өртдөг:

1. Плазмын нөлөөгөөр үүссэн элэгдэл

● Тасралтгүй ионы бөмбөгдөлт нь гадаргуугийн барзгаржилтад хүргэдэг

● Аажмаар материалын алдагдал нь геометрийг өөрчилдөг

Нөлөөлөл: Хийн урсгал болон плазмын зан төлөвийн өөрчлөлт нь үйл явцын тогтвортой байдалд нөлөөлж болзошгүй.

2. Дайвар бүтээгдэхүүний хуримтлал ба бохирдол

● Полимер эсвэл урвалын дайвар бүтээгдэхүүн хуримтлагдах

● Үйл ажиллагааны явцад хуримтлалууд гуужиж магадгүй

Нөлөөлөл: Вафли дээрх бөөмсийн бохирдол болон согогийн нягтрал нэмэгдсэн.

3. Дулааны стрессийн хагарал

● Халаах болон хөргөх давтагдах мөчлөгүүд нь дотоод стресс үүсгэдэг

● Бичил хагарал үүсч, тархаж болзошгүй

Нөлөөлөл: Гэнэтийн эвдрэл, төлөвлөөгүй тоног төхөөрөмж зогсох эрсдэл.

4. Материалын задралаас үүссэн бөөмс үүсэх

● Удаан хугацааны өртөлт нь кварцын бүрэн бүтэн байдлыг сулруулдаг

● Бичил хагарал нь камерт бөөмс ялгаруулдаг

Нөлөөлөл: Ургацын алдагдал болон төхөөрөмжийн найдвартай байдал буурсан.

Яагаад Semixlab технологийг сонгох ёстой вэ?

Хагас дамжуулагч материал болон процессын бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн чиглэлээр гүнзгий мэргэшсэн Semixlab Technology нь орчин үеийн үйлдвэрүүдийн хатуу шаардлагыг хангасан өндөр чанартай кварц эд ангиудыг нийлүүлдэг.

● Бохирдолд мэдрэмтгий хэрэглээнд зориулсан хэт өндөр цэвэршилттэй кварц

● Тогтвортой камерын гүйцэтгэлийг хангахын тулд нарийн инженерчлэлтэй бүтэцтэй

● Өмчлөлийн зардлыг (CoO) бууруулахын тулд үйлчилгээний хугацааг уртасгах

● AMAT системүүдтэй жигд интеграцчлах OEM-тэй нийцтэй шийдлүүд

Манай кварц бүрхүүлийн эд ангиудад гүйцэтгэлийг алдагдуулахгүйгээр найдвартай, зардал багатай хувилбаруудыг эрэлхийлдэг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчид итгэдэг.