SSiC битүүмжлэх цагираг

Semixlab дээр манай SSiC битүүмжлэх цагираг нь орчин үеийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн хатуу шаардлагад нийцүүлэн боловсруулсан өндөр хүчин чадалтай битүүмжлэх технологийн тулгын чулууг төлөөлдөг. Бүрэн нягт, өндөр цэвэршилттэй шатаасан цахиурын карбидоос үйлдвэрлэсэн эдгээр битүүмжлэх бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь хамгийн хүнд вакуум, өндөр температур, идэмхий хийн орчинд онцгой химийн тогтвортой байдал, дулааны тэсвэрлэлт, механик бат бөх чанарыг хангадаг. Урд талын вафли боловсруулах чиглэлээр баялаг инженерийн туршлагатай тул бид дэвшилтэт хагас дамжуулагч зангилаануудад процессын тогтвортой байдлыг сайжруулж, тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацааг уртасгаж, төхөөрөмжийн гарцыг хамгаалах SSiC битүүмжлэх шийдлүүдийг зохион бүтээдэг.

Эпитаксийн (Epi) процесст, устөрөгчөөр баялаг агаар мандал, түрэмгий хлоржуулсан химийн бодис, 1200°C-аас дээш температурт өртдөг SSiC битүүмжлэх цагираг нь реактив камерын орон зай болон түүнийг хүрээлсэн механик угсралтын хооронд агаар нэвтрэхгүй зайг хадгалахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Тэдгээрийн хэт бага сүвэрхэг чанар болон хосгүй зэврэлтэд тэсвэртэй байдал нь реактор доторх хийн урт хугацааны бүрэн бүтэн байдлыг хангаж, хальсны жигд байдал эсвэл хольцын нарийвчлалыг алдагдуулж болзошгүй алдагдал, бохирдол, паразит урвалаас урьдчилан сэргийлдэг. Эргэлдэгч сусцептор системд SSiC-ийн дээд зэргийн элэгдэлд тэсвэртэй байдал болон хэмжээст тогтвортой байдал нь тасралтгүй дулааны мөчлөгөөр жигд, бөөмгүй ажиллагааг хангаж, өндөр чанартай Si, SiGe, SiC, болон GaN эпитаксийн давхаргыг үйлдвэрлэхийг дэмждэг.

ALD, CVD, PECVD, болон LPCVD платформуудад SSiC битүүмжлэх цагираг нь галоген дээр суурилсан урьдал бодис, плазмын элэгдэл, давтан шахах циклийг тэсвэрлэх ёстой анхдагч камерын битүүмжлэл, тусгаарлах цагираг, плазмд ил гарсан бүтцийн бүрэлдэхүүн хэсгүүд болж үйлчилдэг. TEOS, TMA, хлорсилан, фторын төрөл зүйл, тунадасны дайвар бүтээгдэхүүний дэргэд химийн хувьд идэвхгүй хэвээр байх чадвар нь тэдгээрийг бүрсэн металл эсвэл полимер нийлмэл битүүмжлэлийн илүүд үздэг хувилбар болгодог. Semixlab-ийн SSiC-ийн өтгөн талст бүтэц нь хийн ялгаруулалт болон бөөмсийн үүсэлтийг арилгаж, дэвшилтэт нимгэн хальсан тунадасжуулалтад шаардлагатай өндөр давтагдах чадвар, бага согогтой орчныг дэмждэг. Нарийн битүүмжлэл болон механик бүрэн бүтэн байдлыг хадгалснаар эдгээр цагираг нь камерын даралт, температурын тархалт, урьдал урсгалын профайлыг тогтворжуулдаг бөгөөд энэ нь диэлектрик, саад тотгор, эпитаксиал хальсны тогтвортой гүйцэтгэлд чухал хүчин зүйлүүд юм.

Диффуз, өндөр температурт шарах, хурдан дулааны боловсруулалтын орчинд SSiC битүүмжлэх цагираг нь халуун урвалын бүс болон зуухны системийн орчны механик интерфейсийн хооронд найдвартай битүүмжлэлийг хангадаг. Тэдгээрийн маш бага дулааны тэлэлтийн коэффициент нь өндөр хагарлын бат бөх чанар, маш сайн исэлдэлтийн эсэргүүцэлтэй хосолсноор 1400°C-аас дээш температурт ч хийн бүрэн бүтэн байдал, механик тогтвортой байдлыг хадгалах боломжийг олгодог. Энэ нь хольцын жигд идэвхжил, зуухны тогтвортой агаар мандал, вафли хоорондын тууштай байдлыг хангаж, хольцын нэвчилтийг багасгаж, процессын параметрүүдийн шилжилтийг бууруулдаг. Хоолойн зуух болон RTP/RTA камеруудын хувьд хурдан температурын налуу дор SSiC-ийн уян хатан чанар нь ашиглалтын урт хугацаа, засвар үйлчилгээний тасалдал бага, процессын цэвэр байдлыг хамгаалдаг.

Өндөр нягтралтай бичил бүтцийн үзлэг, плазмын сийлбэрийн эсэргүүцлийн үнэлгээ, нарийвчлалтай хэмжээст хяналт, бохирдлын шинжилгээгээр битүүмжлэх цагираг бүрийг дэлхийн хатуу салбарын стандартын дагуу баталгаажуулдаг. Үүссэн бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь маш бага ионы хольц, бараг тэг нэвчилт, урт хугацааны хэмжээст тогтвортой байдлыг харуулдаг бөгөөд энэ нь үйлдвэрүүд болон тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгчдэд илүү өндөр ажиллах хугацаа, PM циклийг уртасгах, үйлдвэрлэлийн шугамууд дээр дээд зэргийн процессын жигд байдлыг хангах боломжийг олгодог. Semixlab нь хагас дамжуулагчтай цахиурын карбид (SSiC)-ийн салбарт таны найдвартай урт хугацааны түнш байх болно.