EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Захиалгат sic бүрээстэй вафель мэдрэгч
Semixlab-ийн захиалгат SiC бүрсэн вафель соруулагч нь CVD SiC бүрээсийг өндөр цэвэршилттэй бал чулууны субстраттай хослуулан хагас дамжуулагчийн дэвшилтэт боловсруулалт хийх зориулалттай. Энэ нь дээд зэргийн дулааны тогтвортой байдал, химийн эсэргүүцэл, жигд халаалтыг баталгаажуулдаг бөгөөд энэ нь эпитаксиаль хавтанцар ургах, MOCVD болон нимгэн хальсан хуримтлуулах процесст тохиромжтой. Хэмжээ, хэлбэр, бүрэх зузаан зэрэгт тохирсон дизайны сонголт бүхий Semixlab нь бохирдлыг багасгаж, ашиглалтын хугацааг уртасгаж, хавтанцарын гарцыг сайжруулдаг найдвартай шингээгч шийдлүүдийг нийлүүлдэг бөгөөд энэ нь дэлхий даяарх хагас дамжуулагч фабуудын хэрэгцээг бүрэн хангадаг.
Тодорхойлолт
SiC бүрсэн вафель мэдрэгч нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл, ялангуяа MOCVD, PECVD, CVD зэрэг эпитаксиаль өсөлтийн процесст чухал бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Энэ нь өндөр температурт, идэмхий, вакуум орчинд ялтсуудыг дэмждэг тогтвортой зөөвөрлөгч болж, жигд дулаан дамжуулалт, бохирдолгүй боловсруулалтыг хангадаг. Өндөр цэвэршилттэй бал чулууны мэдрэгч дээр CVD SiC бүрээсийг хэрэглэснээр мэдрэгч нь маш сайн дулааны гүйцэтгэлийг химийн дээд зэргийн эсэргүүцэлтэй хослуулж, дараагийн үеийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэхэд зайлшгүй шаардлагатай болгодог.
Материалын найрлага ба физик шинж чанар
Semixlab-ийн захиалгат SiC Wafer Susceptor нь хоёр үндсэн материалаар үйлдвэрлэгддэг.
CVD SiC бүрэх
●Онцгой хатуулаг (Mohs 9+) ба бат бөх чанар
●Өндөр цэвэршилттэй (>99.999%) тоосонцор үүсэхийг багасгах
●Идэмхий хийн эсрэг маш сайн химийн идэвхгүй байдал (HCl, NH₃, H₂ гэх мэт)
●**1600°С хүртэл дулааны тогтвортой байдал
●Нягт, жигд зузаантай бүрээс нь удаан эдэлгээтэй
Өндөр цэвэршилттэй графит шингээгч
●Тогтвортой температурыг хуваарилах өндөр дулаан дамжуулалт
●Цул керамиктай харьцуулахад хөнгөн бүтэцтэй
● Өргөст цаасны тэгш байдлын хатуу шаардлагыг хангахын тулд нарийн боловсруулсан
●Дулааны эргэлтийн үед тогтвортой механик бат бэх
Эдгээр хосолсон шинж чанарууд нь SiC бүрсэн мэдрэгчийг дулааны цочрол, сийвэнгийн элэгдэл, тоосонцор бохирдолд тэсвэртэй болгож, вафельний чанарыг тогтвортой болгодог.
Хэрэглээ
Хагас дамжуулагч боловсруулалтын хэрэглээ
SiC бүрсэн вафель мэдрэгчийг хагас дамжуулагчийн дэвшилтэт процессуудад өргөн ашигладаг, ялангуяа:
●Эпитаксиаль ваферийн өсөлт (Эпитаксиаль ваферийн үйлдвэрлэл): SiC, GaN, GaAs болон бусад нэгдлүүдийн хагас дамжуулагчийг эпитаксиаль тунадасжуулах үед жигд халаалтыг хангаж, ваферийн нугаралтыг багасгана.
●MOCVD & CVD процессууд: Нэг жигд нимгэн хальсан тунадасжуулалт хийх химийн хувьд тогтвортой, өндөр цэвэршилттэй гадаргууг бий болгоно.
●LED & Power хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл: Өндөр температурт ургах камерт өндөр тод LED вафли болон өргөн зурвасын зайтай материалыг дэмждэг.
●Өндөр температурт хайлуулах ба диффузи: Бохирдлоос урьдчилан сэргийлэхийн зэрэгцээ давтагдсан дулааны мөчлөгийн үед бүтцийн тогтвортой байдлыг хадгална.
Дулаан дамжуулалтыг оновчтой болгож, гадаргуугийн бүрэн бүтэн байдлыг хадгалах замаар мэдрэгч нь вафельний гарц, жигд байдал, согогийг бууруулахад шууд нөлөөлдөг бөгөөд энэ нь эпитаксиаль процессын шугамын чухал бүрэлдэхүүн хэсэг болгодог.
Өрсөлдөх давуу тал
Semixlab-ийн өрсөлдөх давуу тал
Semixlab-д бид стандарт бүрэлдэхүүн хэсгүүдээс илүүг хангадаг - хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчдийн эрэлт хэрэгцээнд нийцсэн тусгай шийдлүүдийг нийлүүлдэг.
Тохируулгын туршлага
Тодорхой MOCVD/CVD реакторт тохируулан өөр өөр хэмжээ, хэлбэр, бүрхүүлийн зузаан, геометрийн мэдрэгчийг зохион бүтээх, үйлдвэрлэх.
SiC бүрсэн вафель эзэмшигч
Цахиурын карбидаар бүрсэн вафель шингээгч
Техникийн зөвлөгөө
Мэргэшсэн инженерийн баг нь өрөвсний гарцыг сайжруулж, мэдрэгчийн ашиглалтын хугацааг уртасгах үйл явцын тусгай зөвлөмжийг өгдөг.
Хэт их нөхцөл байдлын туршилт
Бүх бүтээгдэхүүн нь бодит үйл явцын нөхцөлд дулааны тогтвортой байдал, химийн эсэргүүцэл, механик бат бөх байдлын нарийн шалгалтанд хамрагддаг.
Бидний үйлчилгээ
Semixlab бүтээгдэхүүний дэлгүүр
