EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Өрөөнд шилжүүлэх төгсгөлийн эффект
Semixlab Alumina Ceramic Wafer Transfer End Effector нь орчин үеийн хагас дамжуулагч хавтангийн автоматжуулалтад хосгүй механик тогтвортой байдал, цэвэр байдал, зэврэлтэнд тэсвэртэй байдлыг хангадаг. Өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны ислийн боловсруулалт, нарийн боловсруулалт, гадаргуугийн өнгөлгөөний шилдэг чанарыг хослуулсанаар Semixlab нь илүү өндөр ургац, гэмтэл багатай, тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацааг уртасгахад дэлхийн өрмөнцөрийн үйлдвэрүүдийг дэмждэг. Ямар ч үед таны зөвлөгөөг тэсэн ядан хүлээж байна.
Тодорхойлолт
Ⅰ. Материаллаг болон физикийн давуу тал
Semixlab Wafer Transfer End Effector нь өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны исэл (Al₂O₃) керамик материалаар хийгдсэн бөгөөд хагас дамжуулагч боловсруулах дэвшилтэт орчинд онцгой механик болон дулааны тогтвортой байдлыг хангах зорилгоор бүтээгдсэн.
Энэхүү нарийвчлалтай бүрэлдэхүүн хэсэг нь өндөр цэвэршилттэй, бүтцийн хатуулагтай, плазм болон идэмхий хийд удаан хугацаанд тэсвэртэй байхаар бүтээгдсэн бөгөөд энэ нь CVD, PECVD, сийлбэр, исэлдүүлэх, эпитаксикийн төхөөрөмжид ваффертэй харьцахад илүүд үздэг.
Материалын гол давуу талууд:
● Цэвэр байдал ≥ 99.5%: Өргөст цаасны гадаргуугийн бүрэн бүтэн байдлыг хадгалж, металлын ионы бохирдолгүй байдлыг хангана.
● Өндөр хатуулаг (Mohs ~9): Өргөст бүрхэвчтэй давтагдахад онцгой элэгдэлд тэсвэртэй.
● 1000°C хүртэл дулааны тогтворжилт: Халуун вафель дамжуулах үйл ажиллагаанд тохиромжтой.
● Маш сайн цахилгаан тусгаарлагч: Эзлэхүүний эсэргүүцэл >10¹⁴ Ω·см нь ESD-ийг гэмтээхээс сэргийлнэ.
● Хэт гөлгөр гадаргуугийн өнгөлгөө (Ra ≤ 0.02 μm): Өргөст цаасны зураас болон тоосонцор үүсэхийг багасгана.
● Химийн болон плазмын хүчтэй эсэргүүцэл: HF, Cl₂, CF₄, болон O₂ плазмын өртөлтийг тэсвэрлэдэг.
Кварц эсвэл нүүрстөрөгчийн нийлмэл хувилбаруудтай харьцуулахад хөнгөн цагааны керамик нь дулааны болон вакуум дугуйн давталтын нөхцөлд дээд зэргийн хатуулаг, цэвэршилт, урт наслалтыг санал болгодог.
Ⅱ. Процессын нийтлэг бэрхшээл ба инженерийн шийдэл
| Challenge | Үндэслэл | Semixlab инженерийн шийдэл |
| Бөөм үүсгэх | гадаргуугийн тэгш бус байдал эсвэл дахин давтагдахаас үүссэн бичил хагарал | Толин тусгал өнгөлгөө (Ra ≤ 0.02 μm) ба нарийн зүсэлт; тогтмол хэт авианы цэвэрлэгээ |
| Өрөөний гулсах | Гадаргуугийн жигд бус үрэлт эсвэл вакуум хуваарилалт муу | Өргөст цаасны барьцыг сайжруулахын тулд ховилын геометрийг оновчтой болгож, бичил бүтэцтэй бүрээстэй |
| Статик цэнэгийн нэмэгдэл | Вакуум дор цэнэгийн тархалт хангалтгүй | Цэнэг ялгаралтыг сайжруулахын тулд хагас дамжуулагч Al₂O₃-TiO₂ нийлмэл материалыг ашиглах |
| Плазмын элэгдэл эсвэл химийн дайралт | Идэмхий хийд байнга өртөх | Гадаргууг хамгаалах зорилгоор SiC эсвэл Y₂O₃ бүрээстэй нягт шингэрүүлсэн Al₂O₃ (>99.8%) ашиглах |
| Дулааны цохилтын гэмтэл | Температурын процессын бүс хоорондын хурдан шилжилт | Стрессийг багасгахын тулд бага CTE болон урьдчилан халаах протокол бүхий нарийн ширхэгтэй хөнгөн цагааны ислийн хийц |
Хэрэглээ
Хагас дамжуулагч процесс дахь үүрэг ба хэрэглээ
Semixlab Wafer Transfer End Effector нь роботтой харьцах систем болон нарийн ширхэгтэй цахиур хавтан хоёрын хоорондох чухал интерфэйс болж, процессын камеруудын хооронд нарийн, тогтвортой, бохирдолгүй тээвэрлэлтийг хангадаг.
Хэрэглээний үндсэн хувилбарууд:
1. Өргөст цаасыг ачих, буулгах
LPCVD, PECVD болон исэлдэлтийн зууханд ашигладаг хөнгөн цагааны төгсгөлийн эффекторууд нь валютын тэгш байдлыг хангаж, процессын камерт оруулах, зайлуулах явцад бичил чичиргээг арилгадаг.
2. Робот удирдах систем
Автоматжуулсан вафель дамжуулах модулиудад нэгтгэгдсэн эдгээр эффекторууд нь өндөр бүтээмжтэй, нарийн ширхэгтэй хавтанцар үйлдвэрлэхэд чухал ач холбогдолтой давтагдах байршлын нарийвчлалыг өгдөг.
3. Өндөр температурт үйл явцтай харьцах
Маш сайн дулааны тогтвортой байдлын ачаар хөнгөн цагааны ислийн эффектор нь эпитаксиаль ургалт, анивалт зэрэг өндөр температурт үйл явцын дараа тунадасны дараах ялтсыг шилжүүлэхийг дэмждэг.
4. Плазма ба Этч танхимын интеграци
Реактив хий болон сийвэнгийн элэгдэлд тэсвэртэй, хөнгөн цагааны исэлдүүлэгч нь плазмын сийвэн шингээгч болон цэвэрлэх системд удаан эдэлгээтэй байдлыг баталгаажуулдаг.
5. Бохирдолт-Хяналтын орчин
Түүний хэт цэвэр гадаргуу, химийн идэвхгүй байдал нь түүнийг ул мөр бохирдол нь төхөөрөмжийн гарцад нөлөөлдөг чухал процессын зангилаа (<10 нм)-д тохиромжтой болгодог.
Өрсөлдөх давуу тал
Semixlab керамик төгсгөлийн эффектийн давуу тал
● Нарийвчлал: ISO түвшний хэмжээст хяналт, вафельтэй тогтвортой холбоо барихад дэд микрон тэгш байдал.
● Цэвэр байдал: 100% цэвэрхэн өрөөнд тохирсон, хий ялгаруулах, бохирдуулах шалгалттай материал.
● Тохируулах: Өөр өөр робот системд тааруулахын тулд олон геометрийн (ирмэг бариул, вакуум төрөл, сэрээний төрөл) боломжтой.
● Найдвартай байдал: Дэлхий даяарх өндөр эзэлхүүнтэй хагас дамжуулагч үйлдвэрүүдэд насан туршийн гүйцэтгэл нь батлагдсан.
Semixlab инженерүүд хэмжээсийн нарийвчлал, хамгийн бага тоосонцор үүсэх, эффект бүрийн ашиглалтын хугацааг уртасгахын тулд керамик боловсруулах, бүрэх технологийг тасралтгүй сайжруулдаг. Бид танд мэргэжлийн болон захиалгат бүтээгдэхүүн, техникийн шийдлээр хангахыг чин сэтгэлээсээ хүлээж байна.
Бидний үйлчилгээ
Semixlab бүтээгдэхүүний дэлгүүр
