Өндөр цэвэршилттэй sic зуухны хоолой

Өндөр цэвэршилттэй цахиурын карбид (SiC) зуухны хоолой нь хагас дамжуулагчийн дэвшилтэт үйлдвэрлэлийн чухал бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Дулааны онцгой тогтвортой байдал, химийн идэвхгүй байдал, хольц багатай гэдгээрээ алдартай эдгээр хоолойнууд нь эпитаксиаль өсөлт, дулааны исэлдэлт, диффузийн допинг зэрэг өндөр температурт үйл явцын бохирдолгүй орчинг бүрдүүлдэг.Бөөмийн тоосонцор үүсэх, металлын ионы бохирдлыг багасгаснаар, шингэрүүлсэн SiC зуухны хоолой, вафельд боловсруулах, төхөөрөмжийн өндөр гүйцэтгэлийг хангадаг.

Хагас дамжуулагч процесс дахь хэрэглээ

1. Эпитаксиаль өсөлт

Гүйцэтгэх үүрэг: Синтерсэн SiC зуухны хоолой нь цахиурын эпитакси болон сонгосон SiC эпитаксийн үйл явцын тогтвортой халуун бүсийн орчинг бүрдүүлдэг.

Эпитаксийн сорилтууд:

●Температурын жигд бус байдал нь давхаргын зузааныг жигд бус болгодог.

●Эпитаксиаль хальсан дахь согогийн нягтралыг нэмэгдүүлдэг бөөмийн бохирдол.

●Хлоржуулсан эсвэл галогенжүүлсэн технологийн хийн зэврэлт.

Semixlab SiC хоолой бүхий шийдлүүд:

●Өндөр дулаан дамжуулалт нь дулааны жигд хуваарилалтыг хангана.

●Өтгөн шингэрүүлсэн бүтэц нь тоосонцор ялгаралтыг багасгадаг.

●Зэврэлтэнд маш сайн эсэргүүцэлтэй тул химийн бодисыг түрэмгийлэхэд үйлчилгээний хугацааг уртасгана.

2. Дулааны исэлдэлтийн процесс

Гүйцэтгэх үүрэг: Исэлдэлтийн зууханд шингэрүүлсэн SiC хоолой нь SiO2-ийн жигд давхарга үүсгэхийн тулд цахиур ялтсууд хүчилтөрөгч эсвэл ууранд өртдөг урвалын камерын үүрэг гүйцэтгэдэг.

Исэлдэлтийн сорилтууд:

●Кварц хоолой нь урт мөчлөгт метал хольцыг хэв гажилт эсвэл оруулах боломжтой.

●Тэгш бус дулааны градиент нь ислийн зузаан жигд байдалд нөлөөлдөг.

●Өндөр температурын чийг нь материалын эвдрэлийг хурдасгадаг.

Semixlab SiC хоолой бүхий шийдлүүд:

●Дулааны цохилтын дээд зэргийн эсэргүүцэл нь олон удаа халаах, хөргөх үед хоолой хагарахаас сэргийлдэг.

●Өндөр цэвэршилттэй SiC найрлага нь бохирдлыг багасгаж, ислийн чанарыг хадгална.

●Үйлчилгээний урт хугацаа нь сул зогсолт болон солих зардлыг бууруулдаг.

3. Тархалтын допинг

Гүйцэтгэх үүрэг: Синтержүүлсэн SiC хоолой нь нэмэлт бодисыг (B, P, As) цахиур ялтсанд нэвтрүүлэхэд зориулсан диффузийн зуухны камерын үүрэг гүйцэтгэдэг.

Тархалтын үед тулгарч буй бэрхшээлүүд:

●Нэвсэх хий (POCls, BBr3, PHs) болон хоолойн хана хоорондын харилцан үйлчлэл нь бохирдол үүсгэдэг.

● Бөөмийн хуримтлал нь уулзвараас гоожиж, ундаргаа алдахад хүргэдэг.

● Өндөр температурт удаан хугацаагаар ашиглах үед бүтцийн хэв гажилт.

Semixlab SiC хоолой бүхий шийдлүүд:

● Химийн идэвхгүй гадаргуу нь нэмэлт хийтэй урвалд тэсвэртэй.

● Нягт бичил бүтэц нь бөөмс үүсэхийг багасгадаг.

● 800-1,200°С-ийн боловсруулалтын мөчлөгийн дагуу тогтвортой гүйцэтгэл нь допантын профайлыг тогтвортой байлгах боломжийг олгодог.

Semixlab дээр бид гурван үндсэн тулгуур дээр суурилсан цогц шийдлийг санал болгож байна.

●Тохируулга ба нарийн инженерчлэл: Үйл явц бүр өвөрмөц гэдгийг бид ойлгож байна. Манай инженерийн баг таны үйл явцын шаардлага, тоног төхөөрөмжийн техникийн үзүүлэлтүүдэд яг тохирсон SiC зуухны хоолойг зохион бүтээх, үйлдвэрлэхэд тантай шууд хамтран ажилладаг. Бид гүйцэтгэлийг нэмэгдүүлэх, хоолойн ашиглалтын хугацааг уртасгахын тулд хэмжээс, ханын зузаан, гадаргуугийн өнгөлгөөг оновчтой болгож чадна.

●Мэргэжилтэн техникийн зөвлөгөө: Манай туршлагатай хагас дамжуулагч материалын эрдэмтдийн баг техникийн гүнзгий дэмжлэг үзүүлэхэд бэлэн байна. Та ургацын асуудлыг шийдэж байгаа эсвэл өндөр температурын шинэ процесс боловсруулж байгаа эсэхээс үл хамааран бид оновчтой үр дүнд хүрэхийн тулд SiC бүрэлдэхүүн хэсгүүдээ хэрхэн нэгтгэх талаар мэргэжилтний зөвлөгөө өгөх боломжтой.

●Тээвэрлэлтийн өмнөх чанарын баталгаа: Бид хоолой бүрийн хэмжээсийн нарийвчлал, гадаргуугийн өнгөлгөө, цэвэр байдлыг хэмжил зүй, элементийн шинжилгээний дэвшилтэт техник ашиглан шалгадаг. Энэхүү нарийн чанарын QA үйл явц нь таны хүлээн авсан Semixlab бүтээгдэхүүн бүрийг хайрцагнаасаа гарангуутаа л их хэмжээний үйлдвэрлэлд бэлэн байлгах баталгаа болдог.

Хагас дамжуулагч процессоо Semixlab-ийн өндөр цэвэршилттэй шингэрүүлсэн SiC зуухны хоолойгоор сайжруулж, эпитакси, исэлдэлт, диффузийн хэрэглээнд онцгой дулааны тогтвортой байдал, химийн идэвхгүй байдал, бохирдолгүй гүйцэтгэлийг хангахаар бүтээгдсэн. Танд тохируулсан хэмжээс, өндөр цэвэршилттэй техникийн үзүүлэлтүүд эсвэл мэргэжилтнүүдийн үйл явцын зөвлөгөө шаардлагатай эсэхээс үл хамааран Semixlab нь таны өргүүрийг хамгийн оновчтой гарц, төхөөрөмжийн найдвартай байдалд хүргэдэг. Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн хэрэгцээгээ хангахын тулд манай техникийн багтай холбогдоно уу.