Хэрэглээний материал AMAT кварц цагираг

Semixlab нь өндөр нарийвчлалтай кварцын бөгжөөр хангадаг. Энэ бүтээгдэхүүнийг голчлон PECVD процесст өндөр чанартай хальсыг тогтвортой байлгахын тулд ашигладаг бөгөөд энэ нь тоног төхөөрөмжийн үйлдвэрлэлийн үр ашиг, өрөвсний гарцыг нэмэгдүүлэхэд чиглэгддэг. Плазмын тархалтыг геометрийн нарийвчлалаар (±0.1мм) хязгаарлаж, урвалын хийн урсгалын талбарыг оновчтой болгож, хальсны жигд байдлыг σ≤1.5% хүртэл сайжруулсан. Шингээх үйл явцын дайвар бүтээгдэхүүн нь вафельний согогийг 30%-иар бууруулсан.

Түргэн дэлгэрэнгүй:

Хоч нэр: Кварц цагираг, Si вафлийн зөөгч, Кварц цагирагны иж бүрдэл, Кварц цагирагны иж бүрдэл, Дээд камерын цагираг, PECVD тунадасны цагираг, Хийн хуваарилах цагираг

Зорилго: Тоног төхөөрөмжийн үйлдвэрлэлийн үр ашиг болон вафлийн гарцыг хамгийн их байлгахын зэрэгцээ PECVD процесст өндөр чанартай хальсыг тогтвортой хуримтлуулах.

Гол параметрүүд: SiN (цахиурын нитрид) тунадасжуулалтын процесс, өндөр цэвэршилттэй кварц, тусгай бүрэх үйлчилгээнд онцгойлон зөвлөж байна. Энэ нь 300-400℃+ өндөр температурыг тэсвэрлэх чадвартай, плазмын элэгдэлд тэсвэртэй, кварцын цэвэршилт ≥99.99%, металлын хольцын агууламж 5ppm-ээс бага, бөмбөлөг/оролтын диаметр ≤0.1 мм, куб сантиметр тутамд ≤3 тоотой.

Үндсэн чиг үүрэг, үүрэг:

●Камерын гол бүрэлдэхүүн хэсгүүд: PECVD процессын камерын дотор байрладаг тул урвалын талбайн чухал хил хязгаарыг бүрдүүлдэг.

●Өндөр температур болон плазмын эсэргүүцэл: Өндөр цэвэршилттэй кварцаар хийгдсэн тул маш сайн өндөр температурын эсэргүүцэлтэй (PECVD-ийн процессын температур нь ихэвчлэн 300°C-аас 400°C+ хооронд хэлбэлздэг) бөгөөд плазмын элэгдэлд тэсвэртэй.

●Цахилгаан тусгаарлалт/дулаалга: Энэ нь камер доторх цахилгаан тусгаарлалтад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд плазмын тогтвортой үүсэлт болон процессын жигд байдлыг хангадаг.

●Үйлдвэрлэлийн хийн битүүмжлэл: Камер доторх үйл явцын хийн орчны битүүмжлэлийг хадгалахад тусална.

●Ваферын процессын орчны тодорхойлолт: Түүний геометр болон гадаргуугийн нөхцөл нь вафер дээрх хийн урсгал болон плазмын тархалтад шууд нөлөөлдөг бөгөөд энэ нь нимгэн хальсан тунадасны жигд байдал болон чанарт чухал үүрэгтэй.

●Гадаргуугийн бүрхүүл: Тодорхой процесст ашигладаг зарим кварцын цагиргийг (SiN гэх мэт) тусгай бүрхүүлээр (иттрий исэл Yttria гэх мэт) бүрж, дайвар бүтээгдэхүүний хуримтлалыг цаашид багасгах эсвэл тодорхой процессын дагуу гүйцэтгэл болон ашиглалтын хугацааг нэмэгдүүлэх боломжтой.

Хэрэглээний материал AMAT кварц цагираг Хэрэглээний хувилбарууд