EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Цахиурын карбидын диффузийн зуухны хоолой
Цахиурын карбидын диффузийн зуухны хоолой нь өндөр температурт хагас дамжуулагч исэлдэлт, диффуз, шарах болон холбогдох вафли үйлдвэрлэх зориулалттай дулааны боловсруулалтын чухал бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Өндөр цэвэршилттэй цахиурын карбид (SiC) материалаар үйлдвэрлэсэн эдгээр зуухны хоолой нь онцгой дулааны тогтвортой байдал, химийн эсэргүүцэл, механик бат бөх чанарыг хангаж, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчдэд өндөр температурын шаардлагатай орчинд тогтвортой үйл явцын гүйцэтгэлийг хангах боломжийг олгодог. Semixlab нь дэвшилтэт хагас дамжуулагч дулааны боловсруулалтын хэрэглээнд зориулагдсан өндөр чанартай цахиурын карбидын диффузийн зуухны хоолойг нийлүүлж, дэлхий даяарх технологи хөгжүүлэгчид, тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгчид болон хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн байгууламжуудыг дэмждэг.
Тодорхойлолт
Хагас дамжуулагч диффузийн зууханд зуухны хоолой нь вафлигуудыг хяналттай дулааны нөхцөл болон боловсруулалтын хийд өртүүлдэг анхдагч урвалын камер болж үйлчилдэг. Зуухны хоолойн чанар, тогтвортой байдал нь температурын жигд байдал, хийн тархалт, бохирдлын хяналт, нийт процессын давтагдах байдалд шууд нөлөөлдөг. Дээд зэргийн материалын шинж чанартай тул SiC диффузийн зуухны хоолой нь хагас дамжуулагч үйлдвэрүүдэд тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацааг сайжруулж, засвар үйлчилгээний шаардлагыг бууруулахын зэрэгцээ исэлдэлт болон диффузийн процессыг найдвартай хадгалахад тусалдаг.
Цахиурын карбидын диффузийн зуухны хоолой гэж юу вэ?
Цахиурын карбидын диффузийн зуухны хоолой нь цахиурын карбидын керамикаар үйлдвэрлэсэн, хагас дамжуулагч диффузийн зуухны системд ашиглагддаг өндөр температурт боловсруулдаг хоолой юм. Энэ нь вафли боловсруулах хяналттай орчинг бүрдүүлж, хүчилтөрөгч, азот, устөрөгч, уур, хольц агуулсан хий зэрэг янз бүрийн процессын агаар мандалд нарийн дулааны боловсруулалт хийх боломжийг олгодог.
Уламжлалт кварц зуухны хоолойтой харьцуулахад SiC зуухны хоолой нь дараах шинж чанаруудын улмаас хэт халуун нөхцөлд илүү сайн гүйцэтгэлийг санал болгодог:
● Дулаан дамжуулалт өндөр
● Маш сайн температурын тогтвортой байдал
● Механик бат бөх чанар сайтай
● Исэлдэлтэд тэсвэртэй байдал маш сайн
● Дулааны тэлэлтийн бага коэффициент
● Химийн зэврэлтэнд өндөр тэсвэртэй
Эдгээр шинж чанарууд нь цахиурын карбидыг урт хугацааны найдвартай байдал, процессын тогтвортой байдал чухал ач холбогдолтой хагас дамжуулагч дулааны боловсруулалтын тоног төхөөрөмжид хамгийн тохиромжтой материал болгодог.
Хэрэглээ
Цахиурын карбидын диффузийн зуухны хоолойг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процесст өргөн ашигладаг бөгөөд үүнд дараахь зүйлс орно.
● Дулааны исэлдэлт
● Допамин тархалт
● Өндөр температурт хатаах
● Азотжуулалт
● Цахилгаан хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл
● SiC болон GaN төхөөрөмжийн боловсруулалт
Тогтвортой дулааны болон химийн нөхцлийг хадгалах чадвар нь тэдгээрийг дэвшилтэт хагас дамжуулагч дулааны боловсруулалтын тоног төхөөрөмжийн зайлшгүй бүрэлдэхүүн хэсэг болгодог.
Бидний үйлчилгээ
Semixlab бүтээгдэхүүний дэлгүүр
