TaC бүрсэн эргүүлэх хавтан

Semixlab TaC бүрсэн эргүүлэх хавтан нь хагас дамжуулагч эпитакси, ЗСХ, талст өсөлтийн процесст ихэвчлэн тохиолддог өндөр температур, идэмхий орчинд зориулагдсан. Эдгээр эргэлтийн ялтсууд нь субстратын тасралтгүй эргэлтийн үед вафель зөөгч эсвэл мэдрэгчийг дэмжихэд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд дулааны жигд тархалт, хуримтлалыг хангадаг. Тантал карбидын (TaC) бүрээсийг хэрэглэснээр энэ бүрэлдэхүүн хэсэг нь вакуум болон өндөр температурт хагас дамжуулагчийн хэрэглээнд онцгой бат бөх, дулааны тогтвортой байдал, процессын урт наслалтад хүрдэг.

Semixlab-ийн тохируулга ба туслах үйлчилгээ

● Захиалгат бүрэх зузаан ба геометр

200мм, 300мм, эсвэл өөрчилсөн эргэлтийн хавтангийн хувьд Semixlanb-ийн баг нь таны үйл явцын орчинд тохирсон геометрийн тусгай TaC бүрэх шийдлүүдийг нийлүүлдэг.

● Материал сонгох зөвлөгөө

Бал чулуу, SiC эсвэл кварцын субстратыг сонгоход тусламж хэрэгтэй байна уу? Манай инженерүүд таны TaC бүрэх хамгийн оновчтой суурь материалыг сонгоход тусалдаг.

● Хурдан загварчлал ба жижиг багц үйлчилгээ

R&D болон туршилтын үйлдвэрлэлд нэн тохиромжтой Semixlab нь богино хугацаанд MOQ багатай захиалгыг дэмждэг.

● Борлуулалтын дараах хариу үйлдэл үзүүлэх

Суурилуулалтын зааварчилгаанаас эхлээд бүрээсийн гүйцэтгэлийг хянах хүртэл манай техникийн баг бидний хүргэж буй эд анги бүрээс урт хугацааны үнэ цэнэ, найдвартай байдлыг олж авах боломжийг танд олгоно.

● SiC ба GaN эпитаксиаль өсөлт

● Металл органик химийн уурын хуримтлал (MOCVD)

● Бага/Өндөр даралттай химийн уурын хуримтлал (LPCVD / HPCVD)

● Sapphire болон SiC Crystal Growth зуухнууд

● Нарийвчилсан нимгэн хальс боловсруулах камерууд

цахиурын карбидын эпитаксиаль өсөлтийн зуух болон үндсэн хэрэгслүүд

Хятад дахь тэргүүлэгч TaC бүрсэн эргэлтийн хавтан үйлдвэрлэгч, ханган нийлүүлэгчийн хувьд салбарын гүн гүнзгий туршлага, нарийн бүрэх технологи, инновацид тууштай тууштай Semixlab нь хагас дамжуулагчийн салбарын хатуу стандартыг хангасан TaC бүрсэн эд ангиудыг нийлүүлдэг. Бид таны Хятад дахь урт хугацааны түнш болно гэдэгт чин сэтгэлээсээ найдаж байна.

Гол физик шинж чанарууд ба гүйцэтгэлийн давуу талууд

1. Дулааны онцгой тогтвортой байдал

TaC нь хайлах цэг нь 3880 ° C-аас их байдаг тул бүрсэн эргэлтийн хавтанг удаан хугацааны өндөр температурт боловсруулахад онцгой тогтвортой болгодог.

Энэхүү дулааны уян хатан чанар нь MOCVD, LPCVD, PVD системүүдийн хувьд маш чухал бөгөөд субстрат нь хэлбэлзэлтэй, эрс тэс температурт өртдөг.

2. Химийн өндөр идэвхгүй байдал

Тантал карбид нь хлор, устөрөгч, галогенжүүлсэн нэгдлүүд зэрэг ихэнх түрэмгий хий, идэмхий дайвар бүтээгдэхүүнд химийн хувьд идэвхгүй байдаг.

Энэхүү химийн эсэргүүцэл нь урт хугацааны гүйцэтгэлийг хангаж, SiC эпитакси, GaN хуримтлал, исэл хальсны өсөлтөд чухал ач холбогдолтой бохирдлын эрсдлийг бууруулдаг.

3. Гайхамшигтай хатуулаг ба элэгдэлд тэсвэртэй

2000 HV-ээс дээш Vickers хатуулагтай, TaC бүрсэн гадаргуу нь эргэлтийн механизмын механик элэгдэл болон бөөмийн нөлөөллийг эсэргүүцдэг.

Давуу тал нь үйлчилгээний хугацааг уртасгаж, солих давтамжийг бууруулж, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд засвар үйлчилгээний зогсолтыг багасгадаг.
шугамууд.

4. Маш сайн бүрэх жигд байдал, наалдац

Semixlab-ийн өмчлөлийн CVD бүрэх процесс нь нягт, жигд, сайн наалдсан TaC давхаргыг баталгаажуулдаг бөгөөд энэ нь үйл явцын үр дүн, хамгийн бага тоосонцор үүсгэхэд зайлшгүй шаардлагатай.