EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Хагас дамжуулагч зэрэглэлийн кварцын вафли завь ба тээвэрлэгч
Semixlab өндөр цэвэршилттэй кварцын вафер завь - кварцын вафер зөөгч эсвэл кассет гэгддэг - нь өндөр температурт хагас дамжуулагч боловсруулалтад өргөн хэрэглэгддэг дулааны талбайн бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Энэ нь хэт өндөр цэвэршилттэй хайлуулсан цахиураас (SiO₂ ≥ 99.999%) хийгдсэн бөгөөд дулааны диффуз, исэлдэлт, хайлуулах, LPCVD болон PECVD үе шатуудад цахиур, SiC болон GaN ваферуудын бүтцийн тээвэрлэгч болж үйлчилдэг.
Тодорхойлолт
Бүтээгдэхүүний Тойм
Чанарын хатуу хяналтан дор үйлдвэрлэсэн Semixlab кварц завь нь нийт металлын хольцын түвшинг 15 ppm-ээс доош (GDMS эсвэл ICP-OES-ээр баталгаажсан) байлгаж, <5 ppm-д бага гидроксил сонголтыг санал болгодог. Эдгээр бүтээгдэхүүн нь өндөр температурт зуухны ажиллагааны үед унжилт, хэв гажилт, металлын бохирдолд тэсвэртэй байдаг.
Боломжтой тохируулга
Semixlab нь хэрэглэгчийн зураг төсөл, CAD файл болон тоног төхөөрөмжийн үзүүлэлтэд нийцүүлэн бүтээгдсэн шаттай завь, хэвтээ хавтантай завь, хясаатай завь, багц тээвэрлэгч зэрэг захиалгат кварц вафлитай завийг дэмждэг.
үзүүлэлт нь
Гол үзүүлэлтүүд ба техникийн гүйцэтгэл
| Эд хөрөнгийн | Semixlab-ийн үнэ цэнэ | Ашиг тус |
| Химийн цэвэр байдал | SiO₂ ≥ 99.999%; Fe, Cu, Li, Na, K < 15 ppm | Металлын бохирдлыг багасгадаг |
| Гидроксилийн агууламж | Бага OH зэрэг < 5 ppm; Стандарт < 30 ppm | Өндөр температурын тогтвортой байдлыг сайжруулдаг |
| Ажлын температур | 1200°C тасралтгүй / 1300°C оргил | Зуухны мөчлөгийн үед хатуулгийг хадгалдаг |
| Дулааны тэлэлт | 0.45 × 10⁻⁶ /°C | Маш сайн дулааны цохилтын эсэргүүцэл |
| Слотын талбайн нарийвчлал | ± 0.05 мм | Найдвартай робот вафлины харьцах чадвар |
| Гадаргын Finish | Дөлөөр шарсан / Бичил өнгөлсөн (Rz < 0.8 μm) | Тоос болон бичил хагарлыг багасгадаг |
Хэрэглээ
Процессын хэрэглээ
· Дулааны исэлдэлт ба шарах зуух
· Бор / фосфорын хольцын диффузийн процессууд
· LPCVD болон PECVD нимгэн хальсан тунадасжуулалт
· Гурав дахь үеийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл (SiC & GaN)
Өрсөлдөх давуу тал
Үндсэн үнэ цэнийн санал ба техникийн давуу талууд
1. Микроноос доогуур боловсруулах ба нарийвчлалтай үүрлэх
Дэвшилтэт CNC лазер боловсруулалт болон алмазан ховил нь бидэнд ховилын геометрийг нарийн хянах боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь автомат вафлийн ачааллыг дэмжиж, вафлийн эвдрэлээс урьдчилан сэргийлэхэд тусалдаг.
2. Хэт бага гидроксил өндөр зуурамтгай чанартай хайлуулсан кварц
Манай тусгай бага ионтой хайлуулсан кварц нь 1100°C-аас дээш урт дулааны мөчлөгийн үед бүтцийн сайн тогтвортой байдлыг хангаж, хэлбэрийн өөрчлөлтийг багасгадаг.
3. Галд тэсвэртэй өнгөлсөн гадаргуугийн хамгаалалт
Галын аргаар цэвэрлэх болон химийн өнгөлгөө нь гадаргуугийн нягтралыг нэмэгдүүлж, цэвэрлэгээний бат бөх чанарыг сайжруулж, тоосонцор үүсэхийг бууруулдаг.
4. OEM тоног төхөөрөмжийн нийцтэй байдал
Бид TEL, ASM, Kokusai, SVCS, LPE болон бусад дулааны боловсруулалтын системд зориулсан захиалгат кварц завийг санал болгож байна.
Бидний үйлчилгээ
