TaC бүрсэн суурийн тулгуур хавтан

Semixlab Технологийн хувьд суурийн тулгуур хавтан нь дэвшилтэт хагас дамжуулагч процессын камеруудын хамгийн чухал бүтцийн болон дулааны бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн нэг гэдгийг бид хүлээн зөвшөөрдөг. Эпитакси, ЗСБ, сийвэн сийлбэрийн систем зэрэг өндөр температуртай орчинд индэр нь өрөм эсвэл мэдрэгчийг механикаар дэмжээд зогсохгүй дулааны жигд жигд байдал, химийн тогтвортой гүйцэтгэл, үйлдвэрлэлийн мөчлөг бүрт процессын давтагдах чадварыг хангахад шийдвэрлэх үүрэг гүйцэтгэдэг.

Өндөр цэвэршилттэй бал чулуун материалаар бүтээгдсэн ба тантал карбид (TaC) зэрэг дэвшилтэт функциональ давхаргаар бүрсэн суурь тулгуур хавтан нь халаалтын модуль болон өрөмдөх хавтангийн хооронд тогтвортой дулааны интерфэйсийн үүрэг гүйцэтгэдэг. Энэхүү тохиргоо нь хальсны ургалтын тогтвортой хурд, хяналттай хольцын профайл, эпитаксиаль эсвэл тунадасжилтын хамгийн бага согогийн нягтралд хүрэх чухал хүчин зүйл болох валютын гадаргууг бүхэлд нь дулаан жигд хуваарилах боломжийг олгодог. Суурийн бүтцийн өндөр дулаан дамжилтын илтгэлцүүр нь TaC бүрхүүлийн дээд зэргийн химийн идэвхгүй байдал нь 1200 ° C-аас дээш температурт давтан дулааны эргэлтийн үед ч платформ нь хэмжээст тогтвортой, зэврэлтэнд тэсвэртэй хэвээр байх болно.

Дулааны удирдлагаас гадна суурь тулгуур хавтан нь бохирдлыг хянах чухал элементийн үүрэг гүйцэтгэдэг. Цусны сийвэнгийн сийлбэр болон ЗСӨ-ийн үйл ажиллагааны явцад камерын орчин нь ихэвчлэн хлор, фтор, силан зэрэг реактив хий агуулдаг. Эдгээр зүйлүүд нь хамгаалалтгүй гадаргуу руу түрэмгийлэн довтолж, хүсээгүй дайвар бүтээгдэхүүн, тоосонцорыг бий болгож, өрлөгийн ургацыг бууруулдаг. Өтгөн, жигд TaC бүрээсийг нэгтгэснээр Semixlab-ийн суурин шийдэл нь материалын эвдрэл, тоосонцор асгарахаас сэргийлж, процессын интерфейсийг цэвэр байлгаж, тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацааг уртасгадаг.

Цаашилбал, тулгуур хавтангийн нарийн тэгш байдал, механик бүрэн бүтэн байдал нь хийн урсгалын динамик, сийвэнгийн тархалт, дулааны тэнцвэрт байдалд шууд нөлөөлдөг хүчин зүйлүүд болох өргүүрийн тогтвортой байрлал, процессын жигд зайг баталгаажуулдаг. Semixlab-ийн гадаргуугийн өнгөлгөө, өнгөлгөөний жигд байдлыг хянах дэвшилтэт технологи нь сууринд Ra 0.2 μм-ээс доош микроны тэгш бус байдал, гадаргуугийн тэгш бус байдлыг хадгалах боломжийг олгодог бөгөөд өндөр нарийвчлалтай үйлдвэрлэлийн явцад бичил согог, хальсны жигд бус байдлыг үр дүнтэй багасгадаг.

Үнэн чанартаа, суурийн тулгуур хавтан нь зөвхөн механик бэхэлгээ биш бөгөөд энэ нь процессын гүйцэтгэл, найдвартай байдлын гол хүчин зүйл юм. Оновчтой дулааны дизайн, дээд зэргийн бүрэх технологи, материалын нарийн сонголтоор Semixlab технологи нь SiC, GaN зэрэг өргөн зурвас бүхий материалаас эхлээд цахиурын эпитаксины дэвшилтэт хэрэглээ хүртэл дараагийн үеийн хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн зангилааг дэмждэг суурин угсралтыг нийлүүлдэг.