SiC бүрсэн графит шингээгч

SiC (Цахиурын карбид) бүрсэн графит мэдрэгч нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэхэд чухал бүрэлдэхүүн хэсэг бөгөөд ялангуяа эпитаксиаль хуримтлал, MOCVD (метал-органик химийн уурын хуримтлал) гэх мэт өндөр температурын хэрэглээг шаарддаг.

Эдгээр мэдрэгч нь цахиур ялтсуудыг онцгой нарийвчлалтайгаар барьж, халаахаар бүтээгдсэн бөгөөд температурын жигд хуваарилалт, технологийн цэвэр орчныг хангадаг. Манай мэдрэгч нь найдвартай, өндөр хүчин чадалтай хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүдийн үндэс болсон өндөр чанартай, жигд нимгэн хальс үйлдвэрлэхэд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.

Ⅰ. Үндсэн материал ба үндсэн шинж чанарууд

Манай мэдрэгчийг өндөр цэвэршилттэй бал чулуун цөм болон цахиурын карбидын (SiC) хамгаалалтын давхарга ашиглан бүтээсэн.

Өндөр цэвэршилттэй графит: Бал чулуун субстрат нь үндсэн бүтцийн бүрэн бүтэн байдал, дулааны гүйцэтгэлийг хангадаг. Түүний маш сайн дулааны тогтвортой байдал нь хэв гажилтгүйгээр маш өндөр температурт ажиллах боломжийг олгодог. Бал чулууны дулааны бага масс нь хурдан бөгөөд үр ашигтай халаах, хөргөх боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь үйлдвэрлэлийн орчинд хурдан эргэлтэнд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.

Цахиурын карбид (SiC) бүрэх: SiC бүрээсийг CVD (химийн уурын хуримтлал) процессоор бал чулуунд хэрэглэнэ. Энэ нь маш хатуу, химийн идэвхгүй нягт, сүвэрхэг бус гадаргууг үүсгэдэг. SiC нь сийвэнгийн элэгдэл болон түрэмгий процессын хийн дайралтанд маш сайн эсэргүүцэл үзүүлж, бохирдол, тоосонцор үүсэхээс сэргийлдэг. Энэ нь цэвэр процессыг баталгаажуулж, эд ангиудын ашиглалтын хугацааг уртасгаж, үндсэн бал чулууг гэмтлээс хамгаална.

Ⅱ. Вафель үйлдвэрлэхэд үзүүлэх функциональ ашиг тус

Манай SiC бүрсэн бал чулуу мэдрэгч нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн чанар, үр ашгийг хангахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.

● Тохиромжгүй дулааны жигд байдал: Соцепторын загвар нь SiC болон бал чулууны дулааны шинж чанаруудтай хослуулан бүхэл хавтангийн гадаргуу дээр дулааныг жигд хуваарилдаг. Энэ нь төхөөрөмжийн өндөр бүтээмжийн гол түлхүүр болох хальсны жигд зузаан, тууштай материалын шинж чанарыг хангахад амин чухал юм.

● Бохирдлын дээд хяналт: Сүвэрхэг бус, химийн идэвхгүй SiC бүрэх нь бал чулууны субстратаас хий ялгарах, тоосонцор урсахаас сэргийлдэг. Энэ нь өндөр температурт үйл явцын нийтлэг сорилт болох өрмөнцөрийн бохирдол, согогийн эрсдлийг эрс бууруулдаг.

● Бат бөх чанар, ашиглалтын хугацааг сайжруулсан: Бат бөх SiC бүрэх нь зүлгүүрийн болон идэмхий элементүүдээс хамгаалах бамбай болж, мэдрэгчийн ашиглалтын хугацааг мэдэгдэхүйц уртасгадаг. Энэ нь солих давтамжийг бууруулж, засвар үйлчилгээний нийт зардлыг бууруулдаг.

● Өндөр процессын давтагдах чадвар: Тогтвортой, тогтвортой дулааны болон химийн орчныг хангаснаар манай мэдрэгчүүд нь маш давтагдах процессуудыг хийх боломжийг олгодог. Энэхүү тууштай байдал нь найдвартай хагас дамжуулагч төхөөрөмжийг их хэмжээгээр үйлдвэрлэхэд үндэс суурь болдог.

Semixlab-д бид хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийг дээд зэрэглэлийн бүрэлдэхүүн хэсгүүд, хосгүй өөрчлөн тохируулах үйлчилгээгээр хангах үүрэгтэй. Бид SiC бүрсэн бал чулуу мэдрэгчдээ зориулж иж бүрэн захиалгат загвар, үйлдвэрлэлийг санал болгож байна. Манай инженерийн баг тантай хамтран ажиллаж, таны тоног төхөөрөмжийн үзүүлэлтүүд болон үйл явцын өвөрмөц шаардлагад бүрэн нийцэх мэдрэгчийг бүтээх боломжтой.