Түргэн дулааны цэвэрлэгээний мэдрэгч

Дэвшилтэт хагас дамжуулагч процессуудад Хурдан Дулааны Боловсруулалт (RTP) нь хольцыг идэвхжүүлэх, силицид үүсгэх, диэлектрик шарах зэрэг нарийн дулааны хяналтыг бий болгоход чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. RTA систем бүрийн зүрхэнд байрлах Хурдан Дулааны Шарах Септор нь дулааны эх үүсвэр болон цахиурын вафли хоорондын гол дулааны интерфэйс болж, температурын жигд байдал болон процессын тогтвортой байдалд шууд нөлөөлдөг. Semixlab-ийн RTA Септор нь өндөр температурт, богино хугацааны дулааны мөчлөгт зориулагдсан бөгөөд дэвшилтэт Хурдан Дулааны Боловсруулалт (RTP) техникүүдэд түгээмэл байдаг хурдан халаалт, хөргөлтийн нөхцөлд тогтвортой, давтагдах дулаан дамжуулалтыг хангадаг.

Semixlab-ийн SiC бүрсэн графит Susceptor нь хэт өндөр цэвэршилттэй графитаар хийгдсэн бөгөөд дулааны хоцрогдолыг багасгахын зэрэгцээ температурын хурдан хариу үйлдэл үзүүлэхийн тулд онцгой дулаан дамжуулалт болон хяналттай дулааны массыг санал болгодог. Графит суурь нь гадаргуугийн тогтвортой байдлыг сайжруулж, бөөмсийн үүсэлтийг дарангуйлж, дулааны цохилт, исэлдэлт болон химийн зэврэлтэд тэсвэртэй байдлыг мэдэгдэхүйц сайжруулдаг инертийн цахиурын карбид (SiC) хамгаалалтын давхаргаар бүрсэн.

RTP процессуудад RTA Susceptor нь вафлийн гадаргуу дээрх дулааны талбарыг тогтворжуулахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Цацрагийн энергийг үр дүнтэй шингээж, жигд дахин ялгаруулснаар susceptor нь вафлийн дотор болон хоорондын температурын градиентийг багасгадаг. Энэхүү жигд байдал нь ионы суулгацыг идэвхжүүлэх үед нимгэн хальсан эсэргүүцлийг нарийн хянах, металл силицид үүсэх үед фазын тогтвортой байдлыг хадгалах, диэлектрик ариутгалын үед жигд бус хальсан стрессээс урьдчилан сэргийлэхэд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.

Semixlab-ийн Wafer Heating Susceptor нь ердийн RTP болон RTA тоног төхөөрөмжийн платформуудтай нийцтэй байхаар оновчтой болсон бөгөөд 200 мм ба 300 мм-ийн ваферийн хэмжээг хоёуланг нь дэмждэг. SiC бүрсэн гадаргуу нь давтагдсан дулааны мөчлөгийн үед бага хий ялгаруулалт болон маш сайн ялгаралтын тогтвортой байдлыг харуулдаг бөгөөд температурын тохируулгыг нарийн хадгалах, бохирдол эсвэл засвар үйлчилгээний улмаас тоног төхөөрөмжийн зогсолтыг багасгахад тусалдаг.

Үйлдвэрлэлийн үүднээс авч үзвэл Semixlab-ийн хурдан дулааны цэвэрлэгч нь цахилгааны жигд байдал, согогийн түвшин, тоног төхөөрөмжийн нийт үр ашигт (OEE) нөлөөлдөг чухал процессын бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Өндөр цэвэршилттэй материал, батлагдсан бүрэх технологи, процесст чиглэсэн дизайныг нэгтгэснээр Semixlab нь дулааны тогтвортой ажиллагааг хангах, бөөмсийн бохирдлын эрсдлийг багасгах, урт хугацааны процессын тогтвортой байдлыг хангах дэвшилтэт RTA субстратын шийдлийг санал болгодог. Хамгийн чухал нь Semixlab нь хагас дамжуулагч RTP процессуудад зориулсан дэвшилтэт технологи, захиалгат RTA шингээгч шийдлүүдийг хангахад чиглэгддэг. Бид Хятад дахь таны урт хугацааны түнш болохыг чин сэтгэлээсээ хүлээж байна.