EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Өндөр цэвэршилттэй кварцын диффузын зуухны хоолой
| Гарал газар: | Хятад улс |
| Барааны тэмдэгийн нэр: | Semixlab |
| Загвар тоо: | Qwb-2025 |
| Гэрчилгээний: | ISO9001 |
| Хамгийн бага захиалгын тоо хэмжээ: | 10 |
| Үнэ: | Тохируулсан үнийн санал авах бол холбоо барина уу |
| Баглаа боодол дэлгэрэнгүй: | Эсрэг статик хөөс + модон хайрцаг (захиалах боломжтой) |
| Хүргэгдэх хугацаа: | Хүргэлтийн хугацаа: Захиалга баталгаажсанаас хойш 20-35 хоног |
| Төлбөрийн нөхцөл: | T / T |
| Хангамж чадвар: | 1000 нэгж/сар |
Тодорхойлолт
Өндөр цэвэршилттэй кварцын диффузийн зуухны хоолой нь хагас дамжуулагч вафли үйлдвэрлэхэд өндөр температурт диффузийн процесст зориулагдсан. Үүнийг хэт өндөр цэвэршилттэй синтетик кварцын элсээр (SiO2 цэвэршилт ≥99.999%) үйлдвэрлэдэг . 7нм-ээс доош дэвшилтэт процессын цэвэр байдал, дулааны тогтвортой байдал, химийн идэвхгүй байдлын хатуу шаардлагыг хангасан. 1200℃ өндөр температурын орчинд бүтцийн тогтвортой байдлыг хангахын тулд нуман хайлуулах процесс болон нарийн боловсруулалтын технологиор дамжуулан бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэдэг бөгөөд фосфор/борын хольц, исэл ургалт болон бусад гол процессуудад өргөн хэрэглэгддэг.
Үндсэн материал ба шинж чанарууд
Хэт өндөр цэвэршилттэй материал
SiO₂ цэвэршилт: ≥99.999% (5N зэрэг), нийт хольцын элемент ≤2ppm (SEMI F63 стандартын дагуу).
Гол хольцын хяналт: Li+Na+K≤0.5ppm, Fe≤0.1ppm, Al≤0.3ppm, B≤0.05ppm (допингийн нөлөөллөөс зайлсхийх).
Гидроксилийн агууламж: ≤1ppm (өндөр температурт устөрөгчийн ялгаралтаас үүссэн вафель согогоос сэргийлэхийн тулд дегидроксилжилтийн эмчилгээний дараа).
Дулааны гүйцэтгэлийг оновчтой болгох
Дулааны тэлэлтийн коэффициент: 5.5×10 -7 K -1 (20-1000 °C), гэнэтийн температурын өөрчлөлтөөс үүдэлтэй деформацийн хагарал үүсэхээс сэргийлнэ.
Зөөлрүүлэх цэг: 1680 ℃, урт хугацааны ажлын температур ≤ 1250 ℃ (хурдан өсөх, хөргөх процессыг дэмжинэ).
Дулааны цочролын эсэргүүцэл: 1200℃→ өрөөний температурт унтрах циклийг ≥200 дахин тэсвэрлэх (ASTM C338 стандарт баталгаажуулалт).
Химийн идэвхгүй байдал, цэвэр байдал
Зэврэлтэнд тэсвэртэй: HF, HCl, HNO₃ болон бусад хүчтэй хүчилд тэсвэртэй (жин хасах хурд ≤0.005mg/cm²·h).
Гадаргуугийн цэвэр байдал: Ra≤0.1μm (CMP өнгөлгөө), тоосонцор ≤5/m2 (@0.1μm, ISO 1-р ангиллын дагуу).
Металлын бохирдлын хяналт: гадаргуугийн металлын үлдэгдэл ≤0.1ppb (ICP-MS илрүүлэх).
Түргэн дэлгэрэнгүй:
1. Бусад нэрс: Кварцын урвалын хоолой, өндөр температурт зуухны хоолой.
2. Хэрэглээ: Ваферын тархалтын процесс.
3. Үндсэн параметрүүд: Цэвэр байдал ≥99.995%, температурын эсэргүүцэл 1600℃, дотоод диаметр 20-300мм.
үзүүлэлт нь
| Үзүүлэлт | индекс |
| Материалын цэвэр байдал | ≥99.995% SiO₂ |
| Үйл ажиллагааны хамгийн их температур | 1600℃ (тасралтгүй ажиллах) |
| Дулаан цохилт эсэргүүцэл | ΔT=1000℃усны хөргөлт тасрахгүй |
| Дотоод диаметрийн хүрээ | 20-300мм (±0.5мм хүлцэл) |
| Уртыг тохируулсан | 500-3000mm |
Хэрэглээ
Өндөр температурт диффузийн допинг.
Фосфор/борын хатуу төлөвийн эх үүсвэрийн тархалт (1000-1200℃).
Шуурхай дулааны боловсруулалт (RTA) процесс (өсөх/хөргөх хурд ≥100℃/с).
Өрсөлдөх давуу тал
Хэт өндөр цэвэршилт, талстжилтын эсэргүүцэл нь зуухны хоолойн ашиглалтын хугацааг уртасгадаг.
Бүтцийн нарийн төвөгтэй дизайныг дэмжиж, янз бүрийн процессын шаардлагад дасан зохицох.
Хэмжээний хүлцлийн хатуу хяналт (±0.5мм).
