SiC бүрсэн хагас сарны бал чулуун эд ангиуд

SiC бүрсэн хагас сарны бал чулуун эд ангиуд нь дэвшилтэт цахиурын эпитакси ба цахиурын карбид (SiC) эпитакси системд өргөн хэрэглэгддэг чухал бүрэлдэхүүн хэсгүүд юм. Эпитаксиаль реакторуудад эдгээр бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь бүтцийн, хийн урсгалын хэлбэржүүлэлт, хамгаалалтын элементүүдийн үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд хальсны жигд байдал, ирмэгийн шинж чанар, урт хугацааны процессын тогтвортой байдалд шууд нөлөөлдөг. Тэдгээрийн нарийн дулааны хяналт, химийн тогтвортой байдал, хэт бага бохирдол нь төхөөрөмжийн гүйцэтгэл болон үйлдвэрлэлийн гарцад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг тул хагас дамжуулагч эпитаксиаль процесст зайлшгүй шаардлагатай гол бал чулуун эд анги болгодог.

Цахиур болон цахиурын карбидын эпитакси процессын аль алинд нь хавирган сар хэлбэртэй бал чулуун бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг ихэвчлэн хийн урсгалын динамик болон температурын градиент хамгийн мэдрэмтгий байдаг субстрат эсвэл вафлийн ирмэгийн бүсүүдийн ойролцоо байрлуулдаг. Хавирган сар геометрийг орон нутгийн хийн тархалт болон дулааны тэнцвэрийг оновчтой болгох, улмаар эпитаксиал давхаргын зузааны хэлбэлзэл, хольцын концентрацийн хэлбэлзэл эсвэл талстын согог зэрэгт хүргэж болзошгүй ирмэгийн нөлөөллийг бууруулах зорилгоор тусгайлан зохион бүтээсэн.

Материалын найрлагын үүднээс авч үзвэл бал чулуун суурь нь маш сайн дулаан дамжуулалт болон боловсруулах чадварыг санал болгодог бөгөөд энэ нь тодорхой реакторын загварт нийцүүлэн нарийн төвөгтэй хавирган сар хэлбэртэй нарийн үйлдвэрлэл хийх боломжийг олгодог. Зэврэлттэй эпитаксиаль орчинтой нийцтэй байдлыг хангахын тулд бал чулуун гадаргууг өндөр цэвэршилттэй цахиурын карбид (SiC)-ийн нягт давхаргаар бүрсэн. Энэхүү SiC бүрхүүл нь химийн хувьд идэвхгүй саад болж, эпитаксиаль процесст түгээмэл хэрэглэгддэг устөрөгч, HCl, цахиур дээр суурилсан урьдал хийд зэврэлтээс маш сайн тэсвэртэй байдлыг харуулдаг. Үүний үр дүнд бүрэлдэхүүн хэсэг нь удаан хугацааны өндөр температурт ажиллах үед (ихэвчлэн SiC эпитаксид 1500°C-аас дээш) бүтцийн бүрэн бүтэн байдал, гадаргуугийн тогтвортой байдлыг хадгалдаг.

Бохирдлын хяналтын үүднээс авч үзвэл, SiC бүрсэн хагас сартай бал чулуун эд ангиуд нь цэвэр үйлдвэрлэлийн орчинг хадгалахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. SiC бүрэлт нь бал чулуун хэсгүүдийн үүсэлтийг үр дүнтэй дарангуйлж, металл хольцын ялгаралт эсвэл шингээлтийг саатуулж, үйлдвэрүүдэд хатуу ширхэг болон цэвэр байдлын шаардлагыг хангахад тусалдаг. Энэ нь ялангуяа SiC эпитаксид чухал ач холбогдолтой бөгөөд ул мөр бохирдол нь эпитаксиал талстын чанарыг бууруулдаг.

Бүрээгүй бал чулуу эсвэл өөр материалтай харьцуулахад SiC-ээр бүрсэн хагас сар хэлбэртэй бал чулуун эд ангиуд нь бат бөх чанар, дулааны гүйцэтгэл болон өртгийн үр ашгийн хооронд оновчтой тэнцвэрийг бий болгодог. Тэдгээрийн ашиглалтын хугацааг уртасгасан нь засвар үйлчилгээний давтамж болон камерын ажиллах хугацааг бууруулдаг бол гадаргуугийн тогтвортой шинж чанар нь багц хоорондын тогтвортой гүйцэтгэлд хувь нэмэр оруулдаг. Эдгээр давуу талууд нь тэдгээрийг өндөр хэмжээний Si/SiC эпитаксиал үйлдвэрлэлийн шугамд зайлшгүй шаардлагатай хэрэглээний эд анги болгодог.

Хагас дамжуулагч эпитаксиал процессын бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн тэргүүлэгч Хятадын үйлдвэрлэгч, нийлүүлэгчийн хувьд Semixlab нь салбарын үйлчлүүлэгчдэдээ дэвшилтэт техникийн зөвлөгөө, захиалгат бүтээгдэхүүний шийдлүүдийг тогтмол санал болгодог. Бид хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчдэд эпитаксиал өсөлтийн туршид өндөр бүтээмж, сайжруулсан процессын давтагдах чадвар, тоног төхөөрөмжийн найдвартай байдлыг нэмэгдүүлэх боломжийг олгодог. Бид Хятад дахь таны урт хугацааны түнш болохыг чин сэтгэлээсээ хүсч байна.