SiC керамик

SiC керамикийг хагас дамжуулагч төхөөрөмжид улам бүр их ашигладаг бөгөөд голчлон хүнд нөхцөлд илүү сайн тэсвэрлэдэгтэй холбоотой юм. Температур өндөр болох эсвэл процесс илүү түрэмгий болоход кварц эсвэл цахиур зэрэг материалууд хязгаарлагдмал байж эхэлдэг бөгөөд энэ нь ихэвчлэн SiC-ийн үүрэг гүйцэтгэдэг газар юм. Исэлдэлт эсвэл диффузи зэрэг зуухны процесст SiC-ээр хийсэн вафли завь эсвэл сэлүүр зэрэг эд ангиуд удаан эдэлгээтэй байдаг. Тэд хэлбэрээ хадгалж, удаан хугацаанд ажилласны дараа ч их хэмжээний бохирдол үүсгэдэггүй. Хүмүүс энэ шалтгаанаар кварцаас шилжих нь элбэг байдаг, ялангуяа засвар үйлчилгээ хэт ойр ойрхон хийх үед.

Сийлбэрийн хувьд SiC-ийг ихэвчлэн плазмд удаан хугацаанд тэсвэртэй байдаг тул сонгодог. Цахиурын эд ангиудтай харьцуулахад ашиглалтын хугацааны ялгаа нь олон тохиргоонд мэдэгдэхүйц боловч энэ нь яг нарийн процессоос хамаарна. Энэ нь мөн бөөмсийн хяналтад бага зэрэг тусалдаг бөгөөд зангилаа агших тусам илүү мэдрэмтгий болдог. Та мөн SiC-ийг MOCVD эсвэл CVD-д сусцептор болгон ашиглаж байгааг харах болно. Эдгээр тохиолдолд энэ нь "бат бөх чанар"-ын тухай биш харин температурын төлөв байдлыг тогтвортой байлгах тухай юм. Үүнээс гадна энэ нь доторлогоо эсвэл шүршүүрийн толгой гэх мэт камерын эд ангиудад, заримдаа эд ангиудыг зохицуулахад илэрдэг.