EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Нүүрстөрөгчийн нийлмэл тигель
Semixlab-ийн нүүрстөрөгчийн нийлмэл тигль (C/C Crucible) нь хагас дамжуулагч талст ургалт болон эпитаксиаль боловсруулалтын хамгийн эрэлт хэрэгцээтэй орчинд зориулагдсан. Semixlab-ийн Carbon Carbon Composite Crucible нь өндөр модультай нүүрстөрөгчийн утас, өндөр цэвэршилттэй нүүрстөрөгчийн матрицыг ашиглан бүтээгдсэн бөгөөд CZ цахиурын өсөлт, цахиурын эпитакси болон SiC PVT сублимацын өсөлтөд тохирсон гүйцэтгэлийн профайлыг бий болгодог. Цахиурын ялтсууд нь ембүүний жигд байдлыг нэмэгдүүлэх, эпитакси үйлдвэрлэгчид тунадасжилтын жигд байдлыг оновчтой болгох, SiC үйлдвэрлэгчид ч том диаметртэй нүүрстөрөгчийн нийлмэл тигль нь орчин үеийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэхэд бат бөх, бохирдол багатай суурь болж өгдөг.
Тодорхойлолт
Цахиурын талст ургалтад (Чохральскийн процесс) C/C тигелийг үндсэндээ хайлуулсан цахиурын дотоод тигелийг тойрсон бүтцийн тулгуур ба дулааны тогтворжуулах элемент болгон ашигладаг. Түүний бага дулааны тэлэлт, өндөр механик хүч чадал, дулааны цохилтод маш сайн эсэргүүцэл нь урт татах мөчлөгийн үед тигелийн геометрийг хадгалахад тусалдаг ба кварцын хэв гажилтыг багасгаж, илүү жигд температурын налууг бий болгодог. Энэ нь мултрах хяналтыг сайжруулж, кварцын тигелийн ашиглалтын хугацааг уртасгаж, үүссэн монокристалл цахиурын ембүүгийн жигд байдлыг сайжруулахад шууд хувь нэмэр оруулдаг.
Цахиур болон SiC эпитаксийн системд нүүрстөрөгчийн нийлмэл тигель нь өндөр температурт тогтвортой тээвэрлэгч, дулааны удирдлагын бүрэлдэхүүн хэсэг болж, мэдрэгч ба ялтсыг барих бүтцийг дэмждэг. Нийлмэл материал нь устөрөгч, хлоржуулсан эсвэл өндөр вакуум орчинд хатуулаг, химийн идэвхгүй байдлыг хадгалах чадвар нь бохирдлыг багасгах, урьдчилан таамаглах боломжтой дулааны гүйцэтгэлд хүрэхэд зайлшгүй шаардлагатай. Үр дүн нь эпитаксиаль давхаргын зузаан, төхөөрөмжийн гадаргуугийн чанар, реакторын ажиллах хугацааг сайжруулсан.
Физик уурын тээвэрлэлт (PVT) ашиглан SiC монокристалын өсөлтийн хувьд C/C тигель нь сублимацийн камерын үндсэн бүрэлдэхүүн хэсэг болдог. Нүүрстөрөгч-нүүрстөрөгчийн нийлмэл материалуудын өндөр температурын гайхалтай чадвар нь инертийн орчинд 2200 ° C-аас их байдаг нь тигель нь удаан хугацааны сублимацын циклийг тэсвэрлэхийн зэрэгцээ SiC булангийн согогийг бууруулахад чухал ач холбогдолтой тогтвортой дулааны талбайг хадгалах боломжийг олгодог. Түүний хольц багатай, тоосонцор үүсгэх чадвар нь санамсаргүйгээр допинг хийх, бичил хоолойд тархах эрсдлийг бууруулж, цахилгаан эрчим хүчний дэвшилтэт электроникуудад ашигладаг өндөр чанарын 4H ба 6H SiC талстыг үйлдвэрлэхэд дэмжлэг үзүүлдэг.
Дараагийн үеийн хагас дамжуулагч материалд зориулагдсан Semixlab C/C тигель нь олон үйлдвэрлэлийн платформ дээр өндөр бүтээмж, багаж хэрэгслийн ашиглалтын хугацаа, дээд зэргийн болор чанарыг хангах боломжийг олгодог. Semixlab-ийн нүүрстөрөгчийн нийлмэл тигль нь өндөр цэвэршилттэй прекурсор сонгох, олон шатлалт нягтрал, хувийн гадаргуугийн боловсруулалт зэрэг процессын хатуу хяналттайгаар үйлдвэрлэгддэг. Үр дүн нь стандарт графит хувилбаруудтай харьцуулахад хэмжээст тогтвортой байдал, исэлдэлтийн эсэргүүцлийг сайжруулж, тоосонцор ялгаруулалтыг эрс багасгасан тигель юм. Бүтээгдэхүүн бүр нь үйлдвэрлэлийн CZ чирэгч, босоо/хэвтээ эпитаксик реактор, SiC PVT зуухны тогтвортой ажиллагааг хангахын тулд нарийн хяналт, дулаан механик баталгаажуулалтад хамрагддаг.
Бидний үйлчилгээ
Semixlab бүтээгдэхүүний дэлгүүр
