EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
SiC Epitaxy-д зориулсан 8 инчийн графит диск
SiC Epitaxy-д зориулсан 8 инчийн графит диск нь том диаметртэй вафлинууд дээр тогтвортой, давтагдах боломжтой цахиурын карбидын эпитаксиал ургалтыг хангах зориулалттай нарийн инженерчлэлийн тулгуур бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Өндөр цэвэршилттэй изостатик графитаар үйлдвэрлэсэн энэхүү диск нь жигд дулаан дамжуулалт, маш сайн хэмжээст тогтвортой байдал, хэт туйлын нөхцөлд бага хольцын түвшинг хангадаг. Өндөр температурт SiC CVD болон MOCVD орчинд энэ нь вафлины дагуу нэгэн төрлийн дулааны талбарыг хадгалахад тусалдаг бөгөөд зузаан жигд бус байдал, ирмэгийн өнхрөлт, согог үүсэхийг бууруулдаг. Материалын цэвэр байдал болон дулааны найдвартай байдлын энэхүү хослол нь графит дискийг өндөр гарцтай, тогтвортой гүйцэтгэлтэй үйлдвэрлэлийн зэрэглэлийн 8 инчийн SiC эпитаксид чухал элемент болгодог. Бид таны лавлагааг хүлээн авна.
Тодорхойлолт
SiC Epitaxy-д зориулсан 8 инчийн графит диск нь том диаметртэй вафлинууд дээр цахиурын карбидын эпитаксиал өсөлтийг тогтвортой, давтагдах боломжтой дэмжлэг үзүүлэх зориулалттай. Цахиурын карбидын эпитаксиал процессууд 6 инчийн үйлдвэрлэлээс 8 инчийн үйлдвэрлэл рүү шилжих тусам вафлины тулгуурын дулааны талбайн жигд байдал болон бүтцийн тогтвортой байдал улам бүр чухал болж байна. Энэхүү графит диск нь реакторын дулааны удирдлагын системийн чухал бүрэлдэхүүн хэсэг бөгөөд эпитаксиал давхаргын зузааны жигд байдал, хольцын тархалт, нийт процессын давтагдах чадварт шууд нөлөөлдөг хяналттай, жигд дулааны орчныг бүрдүүлдэг.
Өндөр цэвэршилттэй изостатик бал чулуугаар үйлдвэрлэсэн энэхүү материалыг онцгой дулаан дамжуулалт, изотроп физик шинж чанар, бага хольцын агууламжаараа сонгосон. Изостатик бүтэц нь 8 инчийн диаметр бүхий бүхэл бүтэн хүрээнд нягтрал болон дулааны хариу урвалыг тогтвортой байлгаж, өндөр температурын тогтвортой ажиллагааны үед радиаль температурын градиент болон механик деформацийг багасгадаг. Өсөлтийн температур нь ихэвчлэн 1600°C-аас хэтэрдэг, хурдан дулааны мөчлөг түгээмэл байдаг ердийн SiC CVD болон MOCVD процессуудад бал чулуун диск нь хавтгай байдал болон хэмжээст тогтвортой байдлыг хадгалдаг. Энэ нь вафлийн найдвартай байрлал болон эпитаксиал мөчлөгийн туршид жигд дулаан дамжуулалтыг бий болгодог.
Үйл явцын үүднээс авч үзвэл, 8 инчийн бал чулуун диск нь вафли-субстратын зааг дээрх дулааны хил хязгаарын нөхцлийг тодорхойлоход шийдвэрлэх үүрэг гүйцэтгэдэг. Урьдчилан таамаглаж болохуйц, жигд дулааны урсгалыг бий болгосноор ирмэгийн өнхрөх нөлөөг дарангуйлах, стрессээс үүдэлтэй согогийг бууруулах, вафлины бүх гадаргуу дээрх эпитаксиаль давхаргын зузааныг илүү хатуу хянах боломжийг олгодог. Бал чулуун суурийн өндөр цэвэршилт нь металлын бохирдол болон дэвсгэр хольцын нэвчилтийн эрсдлийг бууруулдаг бөгөөд энэ нь бага согогийн нягтрал болон өндөр цахилгаан тогтвортой байдлыг шаарддаг цахилгаан төхөөрөмжийн зэрэглэлийн SiC эпитаксид чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.
Хятадын тэргүүлэгч эпитаксиал эд анги үйлдвэрлэгч, нийлүүлэгч Semixlab-ын SiC Epitaxy-д зориулсан 8 инчийн графит дискийг SiC эпитаксиал үйлдвэрлэлийн орчинд тусгайлан зориулж бүтээсэн. Өндөр цэвэршилттэй изостатик графитыг нарийн боловсруулалт болон хатуу чанарын хяналттай хослуулснаар энэхүү бүтээгдэхүүн нь өндөр эзэлхүүнтэй 8 инчийн SiC эпитаксид шаардлагатай тогтвортой байдал, цэвэр байдал, давтагдах чадварыг хангадаг. Энэ нь гарцын хэмжээг нэмэгдүүлж, тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацааг дээд зэргээр нэмэгдүүлж, эзэмшлийн нийт зардлыг бууруулдаг. Үүний зэрэгцээ Semixlab нь тэргүүлэх техникийн зөвлөх үйлчилгээ, захиалгат бүтээгдэхүүний шийдлүүдийг хангахад тууштай хэвээр байна. Бид Хятад дахь таны урт хугацааны түнш болохыг чин сэтгэлээсээ хүсч байна.
Бидний үйлчилгээ
Semixlab бүтээгдэхүүний дэлгүүр
