SiC бүрсэн графит баррель соруулагч

Орчин үеийн нийлмэл хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд, ялангуяа SiC ба GaN эпитакси - реакторын доторх дулааны орчны чанар нь эпитаксиаль хальсны жигд байдал, согогийн нягтрал, давтагдах чадварыг шууд тодорхойлдог. Semixlab-ийн SiC бүрсэн графит баррель мэдрэгч нь өргөн зурвасын цахилгаан төхөөрөмжийн үйлдвэрлэлд ашиглагддаг өндөр температурт CVD реакторуудын улам бүр хатуу шаардлагад нийцүүлэн бүтээгдсэн. Өндөр цэвэршилттэй бал чулууг нарийн боловсруулсан SiC бүрээстэй хослуулснаар мэдрэгч нь урт хугацааны, өндөр температурт эпитаксиаль процессын туршид онцгой дулааны жигд байдал, химийн тогтвортой байдал, механик найдвартай байдлыг хангадаг.

Гүйцэтгэлийн гол цөм нь Semixlab-ийн өмчлөлийн бүрээсийн бүтэц бөгөөд энэ нь ялтсуудын түвшний температурыг тогтвортой хянахад зайлшгүй шаардлагатай ялгаруулах чадвар болон дулааны хариу урвалыг сайжруулдаг. SiC бүрэх нь SiC эпитаксид түгээмэл хэрэглэгддэг идэмхий хлоржуулсан химийн бодисуудын эсрэг химийн идэвхгүй саад болж, бал чулууг задлахаас сэргийлж, бөөмс үүсгэх гол эх үүсвэрийг арилгадаг. Энэхүү хамгаалалт нь маш бага бохирдлын түвшинг баталгаажуулж, 1500 ° C-аас дээш температурт үйл явцын түрэмгий нөхцөлд ч хариу үйлдэл үзүүлэх орчныг цэвэр байлгахад тусалдаг. Торхны геометрийг олон өрөмд тогтвортой, тэнцвэртэй хийн урсгалын талбарыг бий болгохын тулд оновчтой болгож, хилийн давхаргын хэлбэлзлийг бууруулж, олон талст бүрхүүлийн эпитаксиаль реакторуудад хальсны зузаан, допингийн жигд байдлыг хангаж өгдөг.

Механик найдвартай байдлын үүднээс авч үзвэл, Semixlab-ийн SiC бүрсэн мэдрэгч нь дулааны давталт болон өндөр масстай вафель ачааллын үед бүтцийн бүрэн бүтэн байдлыг хадгалж байдаг. Инженерийн бүрээсний зузаан, бичил талст SiC бүтэц, графит субстраттай дулааны тэлэлтийн нийцтэй байдал нь гадаргуугийн элэгдлийг багасгах, ашиглалтын хугацааг уртасгахад бичил тоосонцор асгарахаас сэргийлдэг. Энэ нь өндөр ургац, эпитаксийн хэрэгслийн засвар үйлчилгээний давтамжийг бууруулахад шууд хувь нэмэр оруулдаг.

SiC цахилгаан төхөөрөмжийн үйлдвэрлэлийг нэмэгдүүлэх үйлдвэрүүдийн хувьд мэдрэгч нь тууштай epi чанарт чухал түлхэц болдог. Энэ нь хавтанцарын температурын тархалтыг тогтворжуулж, хяналттай дулааны холболтыг хадгалж, субстратыг төлөвлөөгүй бохирдлоос хамгаалж, давтагдах, өндөр жигд урвалын орчныг дэмждэг. Энэхүү бат бөх чанар, цэвэр байдал, дулааны нарийвчлалын хослолоор Semixlab-ийн баррель мэдрэгч нь үйлдвэрлэгчдэд процессын хатуу хяналт, эпитаксиаль давхаргын цахилгааны гүйцэтгэлийг сайжруулах, SiC MOSFET, диод, цахилгаан модулиудын найдвартай байдлыг нэмэгдүүлэхэд тусалдаг.

Үндсэн босоо болон хэвтээ SiC эпитакситын платформуудтай нийцүүлэхээр бүтээгдсэн Semixlab SiC бүрсэн бал чулуун торх нь урт хугацааны эд анги, урьдчилан таамаглах боломжтой гүйцэтгэлийг эрэлхийлдэг өндөр эзэлхүүнтэй үйлдвэрлэлийн шугамд тохиромжтой. Нэгж бүрийг материалын чанар, хэмжээсийн нарийвчлалын хатуу стандартын дагуу үйлдвэрлэдэг бөгөөд багцын гүйцэтгэлийн тогтвортой байдлыг хангадаг. Semixlab-ийн дэвшилтэт материал, хагас дамжуулагч технологийн инженерчлэлийн чиглэлээр мэргэшсэн энэхүү бүтээгдэхүүн нь үйлдвэрлэлийн гүйцэтгэлийн эрэлт хэрэгцээ болон урт хугацааны өмчлөлийн зардлын аль алиныг харгалзан нэвтрүүлэх чадвар, валютын жигд байдал, багаж хэрэгслийн ашиглалтын хугацааг хэмжиж болохуйц сайжруулахад дэмжлэг үзүүлэх найдвартай, процессоор батлагдсан шийдлийг үйлдвэрүүдэд олгодог.