SiC дан талст өсөлтөд зориулсан TaC бүрсэн хоолой

SiC дан талст ургуулах TaC бүрсэн хоолой нь дэвшилтэт SiC дан талст ургуулах системд, ялангуяа Физик Уурын Тээвэрлэлт (PVT) аргад суурилсан системд тусгайлан зориулсан өндөр температурт чухал бүтцийн бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Semixlab дээр бид энэхүү бүтээгдэхүүнийг орчин үеийн SiC талст ургалтын онцгой шаардлагад нийцүүлэн боловсруулсан бөгөөд дулааны тогтвортой байдал, химийн идэвхгүй байдал, бохирдлын хяналт нь талстын чанар, гарцын тогтвортой байдал, тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацааг шууд тодорхойлдог.

SiC PVT өсөлтийн үед дотоод орчин нь маш өндөр температур (2300 °C-аас дээш) болон цахиураар баялаг урвалд ордог уурын үе шаттай байдаг. Ийм нөхцөлд уламжлалт бал чулууны бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь химийн зэврэлт, шимэгч урвал, хольцын ялгаралтад өртөмтгий байдаг бөгөөд энэ бүхэн нь уурын тээвэрлэлтийн тогтвортой байдлыг алдагдуулж, талстын цэвэр байдлыг алдагдуулдаг. TaC-ээр бүрсэн хоолойнууд нь өндөр температурын бүсэд хамгаалалтын болон үйл ажиллагааны интерфейс болж, эх материал болон үрийн талстын хооронд химийн хувьд идэвхгүй, бүтцийн хувьд тогтвортой уурын тээвэрлэлтийн замыг үүсгэдэг.

Бал чулуун суурь дээр өндөр цэвэршилттэй тантал карбид (TaC)-аар бүрэх замаар бүрхүүл нь бал чулуун суурь дээр зэврэлт үүсгэдэг цахиур болон нүүрстөрөгч агуулсан уурнаас үр дүнтэй тусгаарладаг. TaC-ийн онцгой термохимийн тогтвортой байдал болон SiC өсөлтийн температурт маш бага уурын даралт нь материалын задрал болон бөөм үүсэхийг мэдэгдэхүйц дарангуйлдаг. Энэ нь цэвэр өсөлтийн орчинд шууд хувь нэмэр оруулж, санамсаргүй хольцын эрсдэл болон микро хоолой эсвэл аномаль полиморф бүтэц зэрэг талстын согогийг бууруулдаг.

Үйл явцын хяналтын үүднээс авч үзвэл, TaC-ээр бүрсэн хоолойнууд нь тогтвортой, давтагдах уурын тээвэрлэлтийн нөхцлийг хадгалахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Тэдгээрийн гөлгөр, зэврэлтэнд тэсвэртэй дотоод гадаргуу нь өсөлтийн мөчлөгийн үед шимэгчийн хуримтлал болон геометрийн гажуудлыг багасгаж, хийн урсгал болон дулааны талбайн тэгш хэмийг тогтвортой байлгахад тусалдаг. Энэхүү тогтвортой байдал нь өсөлтийн орчинд бага зэргийн хэлбэлзэл нь ургацын алдагдал эсвэл вафли хоорондын хэлбэлзэлд хүргэж болзошгүй том диаметртэй SiC гулдмайг ургуулахад онцгой чухал юм.

Semixlab-ийн TaC бүрсэн хоолойнууд нь бүрхүүлийн наалдац, зузааны жигд байдал, TaC болон бал чулууны хоорондох дулааны тэлэлтийн нийцтэй байдлын талаарх нарийн судалгаа, хөгжүүлэлтийн ажлуудыг багтаасан болно. Эдгээр хүчин зүйлс нь давтан дулааны мөчлөгийн үед бүрхүүлийн урт хугацааны бүрэн бүтэн байдлыг хангах, улмаар эд ангийн ашиглалтын хугацааг уртасгах, зуухны төлөвлөөгүй зогсолтыг багасгахад чухал үүрэгтэй. Бүрээгүй эсвэл өөр карбидын бүрхүүлтэй хоолойтой харьцуулахад TaC бүрэх уусмал нь цахиурын зэврэлтэд илүү сайн тэсвэртэй бөгөөд удаан хугацааны өндөр температурт ажиллах үед бүрхүүлийн зэврэлт үүсэх эрсдлийг мэдэгдэхүйц бууруулдаг.

SiC үйлдвэрлэл том хэмжээтэй вафли, илүү хатуу согогийн үзүүлэлт, өндөр гарц руу шилжих тусам халуун бүсийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн найдвартай байдал нь үйлдвэрлэлийн өрсөлдөх чадварт нөлөөлөх чухал хүчин зүйл болж байна. SiC дан талст өсөлтийн TaC бүрсэн хоолой нь процессын тогтвортой байдлыг сайжруулж, талстын чанарыг сайжруулж, илүү урьдчилан таамаглах боломжтой урт хугацааны үйл ажиллагааг хангах материалын инновацийн шийдлийг илэрхийлдэг. Semixlab дээр бид энэ бүтээгдэхүүнийг идэвхгүй хэрэглээний оронд идэвхжүүлэгч бүрэлдэхүүн хэсэг болгон байрлуулж, талстын өсөлтийн үйлдвэрлэгчдэд өргөтгөх боломжтой, давтагдах боломжтой, өндөр цэвэршилттэй SiC дан талст өсөлтийг бий болгох боломжийг олгодог. Semixlab нь Хятад дахь таны урт хугацааны түнш болохыг чин сэтгэлээсээ хүсч байна.