Өндөр цэвэршилттэй CVD-SiC эх үүсвэрийн блокууд болон хэсгүүд

6 ба 8 инчийн SiC вафли үйлдвэрлэхэд уламжлалт физик уурын тээвэрлэлт (PVT) арга нь ихэвчлэн саад бэрхшээлтэй тулгардаг: нүүрстөрөгчийн тоос (C-тоос)-ын бохирдол болон SiC нунтагаас үүсэх тогтворгүй сублимацийн хурд.

Бид уламжлалт нунтаг эх үүсвэрийн нарийвчлалын хязгаарыг даван туулахын тулд өндөр цэвэршилттэй CVD-SiC эх үүсвэрийн блок болон хэсгүүдийг тусгайлан боловсруулсан. Хагас дамжуулагч зэрэглэлийн CVD-SiC прекурсоруудаас эхлэн бид материалыг бутлах, зэрэглэх өөрийн гэсэн мөчлөгөөр боловсруулдаг. Энэ нь зөвхөн гадаргууг цэвэрлэх тухай биш, харин дахин боловсруулсан бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг дараагийн үеийн SiC вафлины өндөр хүчин чадалтай эх үүсвэр болгон хувиргадаг гүн цэвэршүүлэх үйл явц юм. Үр дүн нь дулааны талбайн градиентийг оновчтой болгож, талстын өсөлтийн гарцыг эрс нэмэгдүүлдэг өндөр нягтралтай, 7N зэрэглэлийн эх үүсвэр материал юм.

Үзүүлэлт ба захиалга

● Цэвэршилт: 6N5-7N

● Хэмжээ: 5мм - 50мм (Өөрчлөх боломжтой)

● Сав баглаа боодол: Давхар давхаргатай, вакуум битүүмжлэлтэй, статик эсэргүүцэлтэй PE уут.

● Хүргэлтийн хугацаа: Дэлхий даяарх тээвэрлэлтийн чадавхитай тогтвортой хангамжийн сүлжээ.

Зорилтот програмууд

PVT SiC талст өсөлт: 4H-SiC дамжуулагч болон хагас тусгаарлагч суурь материалд тохиромжтой.

8 инчийн ваферийн өргөтгөл: Нунтаг тогтворгүй байдал нэмэгддэг дараагийн үеийн реакторуудын илүү том дулааны талбайд зориулагдсан.

Өндөр зэрэглэлийн судалгаа, хөгжүүлэлт: Хамгийн бага EPD (Etch Pit Density) болон MPD шаарддаг лабораториудад зориулагдсан.

Semixlab Edge: Өгөгдөлд суурилсан найдвартай байдал

Аж үйлдвэр 8 инчийн SiC үйлдвэрлэл рүү шилжих тусам эх үүсвэрийн материалын жигд байдал нь тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацааны гол хөдөлгөгч хүч болж байна. CVD-SiC хэсгүүд нь урт мөчлөгтэй, өндөр гарцтай болор гүйлтэд шаардлагатай өндөр давхаргын нягтрал болон урьдчилан таамаглах боломжтой сублимацийг хангадаг.

GDMS гэрчилгээтэй: Багц бүрийг бүрэн элемент бүхий GDMS шинжилгээний тайлантай хамт илгээдэг.

Захиалгат зэрэглэл: Бид таны тигелийн геометрт тохируулан нарийн хэмжээтэй ангилах үйлчилгээг санал болгож байна (жишээ нь, 5-20мм эсвэл 20-50мм).

Semixlab-ийн давуу тал: Өндөр ургац, бага зардал

7N Хэт цэвэршилт: Металлын хольцыг бүрэн хянах нь зүгээр нэг зорилго биш - энэ бол бидний стандарт юм. CVD дээр суурилсан түүхий эдийг ашиглан бид таны 4H-SiC талстуудыг эхнээс нь хүртэл согоггүй байлгах 99.99999% цэвэр эх үүсвэрийг нийлүүлдэг.

Өсөлтийн саадыг эвдэх нь: Ихэнх үйлдвэрүүд 0.5 мм/цаг хурдтайгаар гацдаг. Semixlab хэсгүүд нь массын дамжуулалтыг сайжруулж, PVT процессыг 1.46 мм/цаг хүртэл нэмэгдүүлдэг. Энэ бол 8 инчийн үйлдвэрлэлийг нэмэгдүүлэх хамгийн хурдан арга юм.

Цэвэр сублимаци: Уламжлалт нунтаг нь "C-тоосны" бохирдолд өртдөг. Бидний хатуу хэсэгчилсэн хэлбэр нь уурын үе шатанд тэг тоосонцор агуулаагүй, MPD-г хязгаарлаж, мултралын тоог 3000 см⁻² орчимд байлгадаг.

Аж үйлдвэрийн үр ашиг: Бид хагас дамжуулагч зэрэглэлийн CVD-SiC-ийг дахин боловсруулснаар тогтвортой, өндөр цэвэршилттэй хувилбарыг санал болгож байна. Та синтетик нунтагаас илүү цэвэр боловч олноор үйлдвэрлэхэд тохиромжтой үнэтэй материалыг авах болно.

Техникийн харьцуулалт: Хэсэг ба Уламжлалт Нунтаг