Хатуу SiC тээвэрлэгч

Semixlab-ийн Solid SiC Carrier нь өндөр цэвэршилттэй дан болор SiC-ийг субстрат болгон ашигладаг бөгөөд патентлагдсан бүрэх процессоор гадаргуу дээр нано масштабтай SiC-C нийлмэл хамгаалалтын давхарга үүсгэдэг бөгөөд энэ нь зөөвөрлөгч материалын гүйцэтгэлийн хил хязгаарыг молекулын түвшинд сэргээдэг. Түүний маш сайн гүйцэтгэл нь SiC-ийн өвөрмөц талст бүтэц, ковалент холболтын шинж чанараас үүдэлтэй.

Материалын шинж чанар

● Маш өндөр дулааны тогтвортой байдал ба температурын эсэргүүцэл: SiC нь өндөр температурт маш сайн тогтвортой байдлыг харуулдаг бөгөөд 1600 ° C хүртэл исэлдүүлэгч орчинд тогтвортой ажиллах чадвартай бөгөөд түүний сублимацийн температур нь 2700 ° C хүртэл хүрч чаддаг. Энэ нь SiC зөөвөрлөгчийг өндөр температурт эпитаксиаль өсөлт, анивчих болон бусад процессуудад хамгийн тохиромжтой сонголт болгодог бөгөөд энэ нь уламжлалт материалын хүлцэлээс хамаагүй өндөр юм.

● Маш сайн дулаан дамжуулалт: Өрөөний температурт SiC-ийн дулаан дамжилтын илтгэлцүүр нь 120 Вт/м·К хүртэл өндөр буюу цахиур (Si) -аас 3 дахин их байна. Өндөр дулаан дамжилтын чанар нь зөөгч дээрх хавтан нь өндөр температурт процесст жигд температурын тархалтыг хангаж, улмаар эпитаксиаль давхаргын өсөлтийн чанарыг жигд хангаж, эвдрэл, стрессийг бууруулдаг.

● Маш сайн механик бат бэх, хатуулаг: SiC нь маш өндөр хатуулагтай (Mohs хатуулаг 9.0-9.5, Vickers хатуулаг 32 GPa), зөвхөн алмаазаас хойш хоёрдугаарт ордог, мөн Young's modulus (440 GPa) болон өндөр гулзайлтын бат бэх (490 МПа) юм. Энэ нь SiC зөөгчийг механик нөлөөлөл, өндөр эрчимтэй харьцах үед элэгдэл, хэв гажилтанд маш тэсвэртэй болгож, ашиглалтын хугацааг үр дүнтэй уртасгадаг.

Яагаад Semixlab-ийн Solid SiC Carrier-ийг сонгох вэ?

● R&D болон үйлдвэрлэлийн чадавхи: Semixlab нь 2 R&D төв, 2 үйлдвэрлэлийн бааз, 12 үйлдвэрлэлийн шугам, 150 гаруй ажилтантай, R&D хөрөнгө оруулалт нь 30 гаруй хувийг эзэлдэг. Жилд хэдэн арван мянган SiC бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэх чадвартай.

● Техникийн давуу тал: ЗСӨ-ийн тоног төхөөрөмж, томъёог бие даан боловсруулж, өндөр цэвэршилттэй CVDSiC, TaC болон бусад бүрээс болон хатуу SiC материалыг дэмжих, CNC нарийвчлалын хяналт нь 3μm хүрэх боломжтой, үнсний агууламж 5ppm-ээс бага, бүтээгдэхүүний гүйцэтгэл нь салбартаа тэргүүлдэг.

● Бүрэн хангамжийн систем: Semixlab нь цахиурын карбидын материалын синтезийн бие даасан шугам, нарийн CNC боловсруулах платформтой бөгөөд энэ нь Ø4" ~ Ø12" хэмжээтэй, тохируулсан хэмжээтэй, хурдан хүргэлтийг дэмжиж, Veeco, AIXTRON, Applied Materials зэрэг үндсэн тоног төхөөрөмжийн брэндүүдэд дасан зохицох боломжтой.

● Өөрчлөлт, нэг цэгийн үйлчилгээ: Хэрэглэгчийн хэрэгцээ шаардлагад нийцүүлэн бид төрөл бүрийн дээд зэрэглэлийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн хэрэгцээг хангахын тулд материал сонгох, R&D, туршилтаас эхлээд массын үйлдвэрлэл хүртэл иж бүрэн үйлчилгээг үзүүлж чадна.

● Олон улсын зах зээл, хэрэглэгчийн бааз: Semixlab нь Mini LED, SiC цахилгаан төхөөрөмж, MEMS, RF төхөөрөмж үйлдвэрлэгчид зэрэг дотоод болон гадаадад 30 гаруй өрөм, нийлмэл хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчидтэй урт хугацааны хамтын ажиллагаа тогтоосон.

Хатуу SiC зөөвөрлөгч нь маш сайн материалын шинж чанар, үйл явцын гүйцэтгэлээрээ хагас дамжуулагч эпитакси, сав баглаа боодол, цахилгаан төхөөрөмж гэх мэт салбарт гол хэрэглэгдэхүүн болсон. Semixlab нь хүчирхэг R&D, үйлдвэрлэл, өөрчлөх чадвараараа дэлхийн хэрэглэгчдэд өндөр чанартай, үр ашигтай SiC зөөвөрлөгч шийдлээр хангадаг найдвартай түнш юм.

Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн тусгай хэрэглээ

Solid SiC Carrier-ийн маш сайн гүйцэтгэл нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн төрөл бүрийн үндсэн процессуудад зайлшгүй чухал үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд ялангуяа температур, цэвэр байдал, жигд байдал, механик тогтвортой байдалд маш өндөр шаардлага тавьдаг холбоосуудад тохиромжтой. Хэрэглээний нийтлэг хувилбарууд нь дараах байдалтай байна.

1. Эпитакси

MOCVD эпитакси: SiC тээгч нь баррель мэдрэгч, хуушуурын мэдрэгч зөөгч зэрэг MOCVD төхөөрөмж дэх GaN, GaAs, SiC болон бусад нийлмэл хагас дамжуулагч хальсны өсөлтийн үндсэн бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Түүний өндөр дулаан дамжуулалт нь урвалын камер дахь температурын жигд байдлыг хангадаг бөгөөд энэ нь хальсны зузаан, найрлага, допингийн жигд байдалд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг; түүний өндөр цэвэршилт, химийн идэвхгүй байдал нь бохирдлын бохирдлоос үр дүнтэй сэргийлж, эпитаксиаль давхаргын цахилгаан ба оптик шинж чанарыг баталгаажуулдаг, ялангуяа LED, цахилгаан электроник, радио давтамжийн төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд.

SiC эпитакси: SiC цахилгаан төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд SiC зөөвөрлөгчид нь SiC хавтангийн эпитаксиаль өсөлтөд хамгийн тохиромжтой платформ юм. SiC хавтантай төгс таарч байгаа дулааны тэлэлтийн коэффициент нь эпитаксийн процессын үед температурын өөрчлөлтөөс үүсэх стрессийг үр дүнтэй бууруулж, улмаар согогийн хэмжээг бууруулж, эпитаксиаль давхаргын чанарыг сайжруулдаг.

Цахиурт суурилсан эпитакси: Цахиурын дэвшилтэт процессуудад SiC зөөвөрлөгчийг өндөр температурын жигд байдал, цэвэр байдлын шаардлага шаарддаг цахиурын эпитакситын тодорхой процессуудад ашиглаж болно.

2. Шатах

Өндөр температурт идэвхжүүлэх эмчилгээ: Ион суулгасны дараа SiC зөөвөрлөгчийг суулгасан нэмэлт бодисыг идэвхжүүлж, торны эвдрэлийг засахын тулд цахиур эсвэл SiC хавтангуудыг өндөр температурт зөөлрүүлэх процесст ашигладаг. SiC зөөвөрлөгчдийн өндөр температурт тогтвортой байдал, жигд халаах чадвар нь зөөлрүүлэх процессын үр ашиг, вафельний бүрэн бүтэн байдлыг хангадаг.

RTP (rapid thermal annealing) зөөвөрлөгчид: Хурдан дулаанаар нөхөх төхөөрөмжид SiC зөөвөрлөгчид хурдан халаалт, хөргөлтийн хатуу дулааны циклийг тэсвэрлэж, бүтцийн тогтвортой байдлыг хадгалж чаддаг бөгөөд энэ нь флаш анивалт гэх мэт дэвшилтэт процессуудад тохиромжтой.

3. Ион суулгац

Допинг ба засвар зөөгч: SiC зөөвөрлөгчийг ион суулгацын үед вафель засахад ашигладаг. Тэдний өндөр механик хүч чадал, элэгдэлд тэсвэртэй байдал нь ионы цацрагт бөмбөгдөлтөд тогтвортой байдлыг хангадаг. Үүний зэрэгцээ тэдгээрийн тоосонцор үүсгэх шинж чанар нь суулгацын явцад бохирдлыг бууруулдаг.

4. Бусад програмууд

Сийлбэр хийх үйл явц: Зарим ICP (индуктив хосолсон плазм) сийлбэр эсвэл PSS (хэв маягтай индранил субстрат) сийлбэрлэх процессуудад SiC зөөгчийг сийвэнгийн зэврэлтэнд тэсвэртэй, бөөмсийн шинж чанар багатай тул өргүүрийн бэхэлгээ эсвэл субстрат болгон ашигладаг.

Өндөр цэвэршилттэй зуухны хоолой/завь: Зарим өндөр цэвэршилттэй диффузийн эсвэл исэлдүүлэх зууханд SiC материалыг маш цэвэр процессын орчинг бүрдүүлэхийн тулд зуухны хоолой эсвэл вафель завь болгон хийдэг.