0200-09721 Керамик цагирагтай хөвөгч банзал

AMAT 0200-09721 Керамик цагирагтай хөвөгч юбка нь AMAT хагас дамжуулагч боловсруулах системд түгээмэл хэрэглэгддэг нарийн керамик камерын эд анги юм. Өндөр температур болон плазм ихтэй орчинд зориулагдсан энэхүү эд анги нь дараахь зүйлийг онцгойлон хангадаг.

● Дулааны эсэргүүцэл

● Цахилгаан тусгаарлагч

● Плазмын элэгдэлд тэсвэртэй байдал

● Химийн тогтвортой байдал

● Бага хэмжээний бөөмс үүсэх

Semixlab нь хагас дамжуулагчийн процессын шаардлагад нийцсэн чанар, хатуу хүлцэл, маш сайн нийцтэй байдлыг хангахын тулд өндөр цэвэршилттэй керамик үйлдвэрлэлийн технологид анхаарлаа хандуулдаг.

AMAT систем дэх үүрэг

AMAT хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжид керамик цагирагтай хөвөгч банзал нь танхимын хамгаалалт болон процессыг тогтворжуулах чухал бүрэлдэхүүн хэсэг болж ажилладаг.

Үүний үндсэн үүрэгт дараахь зүйлс орно.

Плазмын хил хязгаарын хяналт

Керамик цагираг нь процессын камер дотор плазмын тогтвортой тархалтыг хадгалахад тусалдаг бөгөөд энэ нь хавтангийн гадаргуу дээрх процессын жигд байдлыг сайжруулахад хувь нэмэр оруулдаг.

Танхимын хамгаалалт

Энэ нь түрэмгий плазмын химийн бодисууд болон мэдрэмтгий камерын бүтцийн хооронд хамгаалалтын хаалт болж, камерын элэгдлийг бууруулж, засвар үйлчилгээний хугацааг уртасгадаг.

Цахилгаан тусгаарлалт

Хөвөгч банзалны бүтэц нь камерын бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн хооронд цахилгаан тусгаарлагчийг хангаж, тунадасжуулалт эсвэл сийлбэрийн процессын үед RF плазмын зан төлөвийг тогтворжуулахад тусалдаг.

Дулааны тогтвортой байдлын дэмжлэг

Өндөр температурын боловсруулалтын нөхцөлд керамик цагираг нь бүтцийн бүрэн бүтэн байдал, хэмжээст тогтвортой байдлыг хадгалж, үйл явцын тогтвортой гүйцэтгэлийг хангадаг.

Хагас дамжуулагч процессын ердийн хэрэглээ

AMAT 0200-09721 керамик цагирагтай хөвөгч юбка нь дараах дэвшилтэт хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процессуудад өргөн хэрэглэгддэг.

1. PECVD (Плазмын сайжруулсан химийн ууршилт)

Тогтвортой плазмын нөхцлийг дэмжиж, диэлектрик хальс хуримтлагдах үед бохирдлыг багасгадаг.

2. Плазмын сийлбэр

Фтор болон хлор дээр суурилсан сийлбэрийн орчинд плазмын эсэргүүцэл болон камерын хамгаалалтыг хангана.

3. PVD (Физик ууршилт)

Цэвэр камерын нөхцөл байдлыг хадгалахад тусалдаг бөгөөд үйл явцын давтагдах чадварыг сайжруулдаг.

4. Өндөр температурт хагас дамжуулагч боловсруулалт

Маш сайн дулааны эсэргүүцэл болон бага хэмжээний тоосонцор үүсгэх шаардлагатай дулааны мөчлөгийн орчинд найдвартай ажилладаг.

5. Дэвшилтэт Логик ба Санах ойн үйлдвэрлэл

Хатуу бохирдол, жигд байдлын шаардлага бүхий процессын орчинд тохиромжтой.

Яагаад Semixlab-г сонгох ёстой вэ?

Semixlab дээр бид дэлхийн хагас дамжуулагч хэрэглэгчдэд найдвартай камерын эд ангиудыг хүргэхийн тулд дэвшилтэт керамик материалын мэргэжлийн ур чадварыг хагас дамжуулагчийн процессын ойлголттой хослуулдаг.

Бид дараах зүйлсийг хангадаг:

● Нарийвчлалтай керамик боловсруулалт

● Өндөр цэвэршилттэй материалын шийдэл

● Хагас дамжуулагчийн чанарын хяналт

● Захиалгат OEM/ODM дэмжлэг

● Тогтвортой хангамжийн хүчин чадал

Semixlab нь найдвартай, өндөр хүчин чадалтай материалын шийдлүүдээр дараагийн үеийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийг дэмжихэд чиглэгддэг.