EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Өндөр цэвэршилттэй зөөлөн эсгий
Semixlab-ийн өндөр цэвэршилттэй зөөлөн эсгий нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд өндөр температурт дулааны талбайн хэрэглээнд зориулагдсан. Өндөр чанартай нүүрстөрөгч дээр суурилсан урьдал бодисоос гаргаж авсан бөгөөд дэвшилтэт боловсруулалтаар цэвэршүүлсэн энэхүү зөөлөн эсгий материал нь хэт бага хольцын түвшин, маш сайн дулаан тусгаарлалт, гайхалтай бүтцийн дасан зохицох чадварыг хангадаг. Уян хатан бүтэц нь нарийн төвөгтэй дулааны талбайн загварт нарийн тохирох боломжийг олгодог бөгөөд температурын оновчтой градиент болон тогтвортой үйл явцын нөхцлийг бүрдүүлдэг. Таны лавлагааг хүлээж байна.
Тодорхойлолт
Дулааны талбайд цэвэр байдал яагаад чухал вэ? Гурав дахь үе үйлдвэрлэхэд?
Хагас дамжуулагч (SiC/GaN), үнсний өндөр агууламжтай (500ppm-ээс дээш) уламжлалт дулаалгын эсгий нь 1600°C-аас дээш температурт металл хольц ялгаруулах хандлагатай байдаг. Энэ нь торны гажиг үүсгэж, хавтангийн гарцыг бууруулдаг.
Semixlab-ийн зөөлөн эсгий нь бидний онцгой өндөр температурт химийн цэвэршүүлэх процессоор дамжин нийт хольцын түвшинг 5ppm-ээс бага болгодог. Энэ нь зөвхөн цэвэр ургалтын орчныг хангаад зогсохгүй урт мөчлөгт талст ургахад шаардлагатай туйлын дулааны тогтвортой байдлыг хангадаг.
Semixlab Edge
Бид нийлүүлэгчээс илүү зүйл юм - бид таны өндөр температурын бүсийн түнш юм. CAS судлаачдын үүсгэн байгуулсан бид дулаалгын шийдлүүдийг CVD бүрхүүлтэй (TaC/SiC) хослуулахдаа маш сайн. Бид зөвхөн дулаалгын эсгий нийлүүлээд зогсохгүй эрчим хүчний хэрэглээг багасгахын тулд графит халаагч болон сүвэрхэг TaC ашиглан таны дулааны бүрэн талбарыг оновчтой болгодог. Манай дотоод 5 тэнхлэгтэй CNC боловсруулалт нь таны зуухны загварт яг тохирсон захиалгат, урьдчилан угсарсан иж бүрдлийг тэг алдаагүйгээр хийх боломжийг олгодог.
үзүүлэлт нь
| Үл хөдлөх хөрөнгө | Дээд зэрэглэлийн PAN суурьтай эсгий | Өндөр үзүүлэлттэй вискоз суурьтай эсгий |
| Нийт хольц | ≤5 ppm (GDMS) | P10 ppm |
| Нүүрстөрөгчийн агууламж | ≥99.99% | ≥99.95% |
| Их хэмжээний нягтралтай | 0.10 - 0.15 г/см³ | 0.08 - 0.12 г/см³ |
| Дулааны нөхцөл (@1000°C) | 0.12 - 0.15 Вт/м·К | 0.09 - 0.13 Вт/м·K |
| Үйлчилгээний дээд температур. | 2800°C (Инерт/Вакуум) | 2600°C (Инерт/Вакуум) |
| Стандарт зузаан | 3mm / 5mm / 10mm / 20mm | 3mm / 5mm / 10mm / 20mm |
Хэрэглээ
Чухал хэрэглээний програмууд
Талбайд батлагдсан гүйцэтгэл:
SiC & Цахиурын өсөлт (PVT/CZ)-д зориулан бүтээгдсэн манай эсгий нь талстын мултралаас сэргийлэх дулааны тогтворжуулагчийн үүрэг гүйцэтгэдэг. MOCVD/Epitaxy (Aixtron, NuFlare-тэй нийцтэй)-д энэ нь идэмхий H2/NH3 урсгалын дор идэвхгүй хэвээр үлдэж, хольцын тархалтыг хаадаг. Шилэн утас зурах болон индранил хайлуулахад хий ялгаруулдаггүй шинж чанар нь вакуум бүрэн бүтэн байдлыг хангаж, ургацын алдагдалаас сэргийлдэг.
Өрсөлдөх давуу тал
Үндсэн давуу талууд
Хэт өндөр цэвэршилттэй (<5ppm), GDMS-ээр туршсан. Эпитаксиал өсөлтөд хөндлөн бохирдлоос зайлсхийхийн тулд Al, B, Fe болон бусад гол хольцыг хатуу хянадаг.
Маш сайн дулаан тусгаарлагч: 1000°C-д 0.12 Вт/м·К хүртэл дулаан дамжуулалт багатай тул дулааны алдагдлыг бууруулж, ±1°C дотор дулааны градиентийг хянадаг.
Бөөмийн бага ялгаралт: Шилэн болон гадаргуугийн боловсруулалтыг оновчтой болгосон нь вакуум цикл дэх тоосыг бууруулж, CVD (TaC/SiC) бал чулуун хүлээн авагч болон халаагчийг хамгаалдаг.
Өндөр уян хатан байдал ба тохиромжтой байдал: Нарийн төвөгтэй зууханд 360° оёдолгүй ороох зориулалттай зөөлөн бөгөөд шахалттай тул хатуу дулаалгаас үүсэх дулааны алдагдлаас сэргийлдэг.
тусламж
Оновчтой Түгээмэл Асуултууд
А: Semixlab зөөлөн эсгий нь бал чулуун халаагчийн ашиглалтын хугацааг хэрхэн сайжруулдаг вэ?
А: Илүү тогтвортой дулааны хамгаалалтыг бий болгосноор бидний зөөлөн эсгий нь халаагчийн зорилтот температурыг хадгалахад шаардагдах эрчим хүчний ачааллыг бууруулж, улмаар графит халаалтын элементүүдийн нүүрстөрөгчийн сублимаци болон исэлдэлтийг удаашруулдаг.
А: Таны эсгий өндөр урсгалтай хийн орчинд ашиглагдаж болох уу?
Х: Тийм. Өндөр хийн хурдтай процессын хувьд (MOCVD гэх мэт) бид өндөр нягтралтай PAN суурьтай эсгий эсвэл бал чулуун тугалган бүрхүүлтэй эрлийз уусмалыг санал болгож байна. Энэ нь шилэн элэгдэлээс сэргийлж, тоосонцрын бохирдолгүй байдлыг хангадаг.
Бидний үйлчилгээ
