EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Нүх сүвэрхэг вакуум сав
Түргэн дэлгэрэнгүй:
1. Бусад нэрс: Сүвэрхэг керамик Вакуум чак, Poous SiC патрон, сүвэрхэг патрон.
2. Хэрэглээ: Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх, өрөм хайчлах, нарийн боловсруулалт хийх, өндөр температурт эпитакси, сийлбэр, ион суулгах болон бусад хувилбаруудад тохиромжтой, өрөм, ембүүг нарийн шингээх, бэхлэх зориулалттай өндөр хүчин чадалтай вакуум шингээх төхөөрөмж.
3. Үндсэн параметрүүд:
Сүвэрхэг чанарыг тохируулах боломжтой (10-200μm).
Хэт өндөр температур (≤1600°C), дулааны цохилтод маш сайн тэсвэртэй.
Адсорбцийн вакуум: стандарт -90кПа (100кПа болгож тохируулах боломжтой).
Сорох аяганы хэмжээ: 4/6/8/12 инчийн өргүүрийг дэмжинэ, ембүүний хэмжээг өөрчлөх боломжтой.
Тодорхойлолт
Керамик вакуум патрон нь вакуум шингээх төхөөрөмж бөгөөд өрөм, гулдмайг нарийн шингээх, бэхлэх зориулалттай өндөр хүчин чадалтай вакуум шингээх төхөөрөмж юм. Энэ нь сүвэрхэг керамик + металл гадна цагираг бүхий нийлмэл бүтцийг шингээх хүчийг жигд хуваарилах, өндөр тогтвортой байдалд хүрэхийн тулд агаарын суваг, нүхний тохируулсан дизайнтай хослуулсан. Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл, өрөм хайчлах, нарийн боловсруулалт болон бусад хувилбаруудад тохиромжтой, өндөр температур, өндөр хурдны хөдөлгөөний орчинг дэмждэг, янз бүрийн хэмжээтэй вафель / ембүүний нийцтэй байдлын шаардлагыг хангаж чадна.
Customized service
Хэмжээ ба ачааллын тохируулга
Стома болон амьсгалын замыг оновчтой болгох
Байгаль орчны тусгай дасан зохицох
Дизайн жишээ
Хэрэглээ
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл
Эпитаксиаль өсөлт: SiC хавтангуудыг өндөр температурт тогтвортой шингээж, эвдэрч, бохирдохоос сэргийлнэ.
Литографи ба сийлбэр: График тохируулгын нарийвчлалыг баталгаажуулахын тулд өндөр хурдтай хөдөлж буй платформд (хурдатгал ≤10G) нарийн байрлалыг тогтооно.
ембүү боловсруулах
Зүсэх, нунтаглах: Чичиргээнээс үүссэн ирмэгийн хагарлыг дарах зорилгоор хүнд болор ембүү (индранил, цахиурын карбидын ембүү гэх мэт) шингээх.
Шинжлэх ухааны судалгаа, тусгай технологи
Өндөр температурт зөөлрүүлэх: сүвэрхэг цахиурын карбидын сорох аяга нь хэв гажилт, агааржуулалтын бохирдолгүй, 1600 ° C-д удаан хугацаагаар ажилладаг.
Вакуум бүрэх: PVD/CVD хөндийн орчинд нийцэх өндөр агаар нэвтрүүлдэггүй загвар.
Өрсөлдөх давуу тал
Үндсэн бүтэц, материалын давуу тал
1.Олон давхаргат нийлмэл загвар
Гадаргуугийн давхарга: Орон нутгийн стрессийн концентрацаас зайлсхийхийн тулд сүвэрхэг керамик (сонголтоор сүвэрхэг цахиурын карбид эсвэл сүвэрхэг бал чулуу), нүхийг тохируулах боломжтой (10-200 μм).
Матриц: Өндөр хатуу металл хүрээ (зэвэрдэггүй ган эсвэл хөнгөн цагаан хайлш) нь бүтцийн дэмжлэг, агаар нэвтрэхгүй байх боломжийг олгодог.
Амьсгалын зам ба нүх сүв: Нарийн боловсруулсан амьсгалын замын дотоод сүлжээ, жигд тархсан микро нүх сүв нь хурдан вакуум олборлолт (-90 кПа хүртэл шингээх хүч) болон агшин зуур ялгарах боломжийг олгодог.
2. Материалын шинж чанарын харьцуулалт
| материал | Сүвэрхэг цахиурын карбид | Сүвэрхэг бал чулуу |
| Температурын эсэргүүцэл | Хэт өндөр температур (≤1600°C), дулааны цохилтод маш сайн тэсвэртэй | Дунд зэргийн өндөр температур (≤800 ° C), илүү сайн дулаан дамжуулалт |
| Химийн бат бөх чанар | Хүчил ба шүлтийн зэврэлтэнд тэсвэртэй, плазмын зэврэлтэнд тэсвэртэй | Исэлддэггүй хийд тэсвэртэй, өртөг багатай |
| Холбогдох дүр зураг | Өндөр температурт эпитакси, сийлбэр, ионы суулгац | Өрөөвч зүсэх, нунтаглах, савлах |
3. Гол гүйцэтгэл ба техникийн үзүүлэлтүүд
| Тодорхойлолт | Тайлбар |
| Чакны хэмжээ | 4/6/8/12 инчийн өргүүрийг дэмжинэ, ембүү хэмжээг өөрчлөх боломжтой |
| Уншиж байна | Нэг хавтангийн хамгийн их ачаалал 50кг (өндөр ≤300мм) |
| Ажлын температур | Сүвэрхэг цахиур карбид: -50°C~1600°C; Сүвэрхэг бал чулуу: -50°C~800°C |
| Адсорбцийн вакуум | Стандарт -90кПа (-100кПа хүртэл тохируулах боломжтой) |
тусламж
А: Сүвэрхэг цахиурын карбид ба сүвэрхэг бал чулууг хэрхэн сонгох вэ? Өндөр температурын процесст сүвэрхэг цахиурын карбид ба сүвэрхэг бал чулуу хоёрын гол ялгаа нь юу вэ? Хэрэглээний хувилбарт тохирох материалыг хэрхэн сонгох вэ?
A: Сүвэрхэг цахиурын карбидын тэнхлэг:
Температурын эсэргүүцэл: ≤1600°C хэт өндөр температурт тогтвортой ажиллах боломжтой (SiC эпитакси, өндөр температурт зөөлрүүлэх гэх мэт), маш сайн дулааны цохилтод тэсвэртэй, температурын огцом хэлбэлзэлд тохиромжтой.
Зэврэлтэнд тэсвэртэй: Хүчтэй хүчил, шүлт, плазмын элэгдэлд тэсвэртэй, сийлбэрлэх, ион суулгах болон бусад идэмхий хийн процесст тохиромжтой.
Сүвэрхэг бал чулуу Чак:
Дулаан дамжилтын илтгэлцүүр: Илүү өндөр дулаан дамжилтын илтгэлцүүр (200-400 Вт/м·К), хурдан дулаан дамжуулах шаардлагатай хувилбаруудад тохиромжтой (тухайлбал, өрөм хайчлах дулааны тархалт).
Эдийн засаг: Бага зардалтай, ≤800°C дунд температурт тохиромжтой (савлах, нунтаглах гэх мэт).
Сонгох саналууд:
Хэрэв процессын температур > 800 ° C эсвэл зэврэлтэнд тэсвэртэй байх шаардлагатай бол сүвэрхэг цахиурын карбидыг илүүд үздэг; Хэрэв сүвэрхэг бал чулууг сонгож болно, хэмнэлттэй, бага процессын температурыг эрэлхийлэх.
