SiC зуухны хоолой

Бүтээгдэхүүний тодорхойлолт ба үндсэн шинж чанарууд

SiC зуухны хоолой нь реактив шингэлэх (RBSC) эсвэл химийн уурын хуримтлал (CVD) процессоор өндөр цэвэршилттэй цахиурын карбидын керамикаар хийсэн өндөр температурт хоолой хэлбэртэй сав юм. Уламжлалт металл эсвэл кварцын материалаас ялгаатай нь SiC-ийн өвөрмөц болор бүтэц нь түүнд орлуулашгүй физик, химийн шинж чанарыг өгч, эрс тэс орчинд үйл ажиллагааны тогтвортой байдлыг хадгалах боломжийг олгодог.

Бүтээгдэхүүний үндсэн физик шинж чанарууд:

● Хэт өндөр температурт тэсвэрлэх чадвар: Энэ нь инертийн орчинд 1600℃-аас дээш температурт удаан хугацаанд тогтвортой ажиллах боломжтой бөгөөд исэлдүүлэгч орчинд аюулгүй ашиглах температур нь 1250-1300℃ бөгөөд энэ нь кварц хоолой (≤1100℃) болон халуунд тэсвэртэй хайлш (≤1150)-ийн хязгаараас хол давсан байна.

● Дулаан дамжуулалт ба дулааны тогтвортой байдал:

Дулаан дамжилтын илтгэлцүүр нь 100-200 Вт/м·К хүртэл өндөр бөгөөд энэ нь кварцын шилнээс 100 дахин их юм. Энэ нь зууханд жигд дулаан хуваарилалтыг (градиент ≤±2℃) хийж, уламжлалт зуухны хоолойд түгээмэл тохиолддог халуун цэгийн асуудлыг арилгах боломжтой.

Дулааны тэлэлтийн коэффициент нь зөвхөн 4.0×10⁻⁶/℃ (20-1000℃) бөгөөд 350 ГПа өндөр уян хатан модультай хослуулан, температурын огцом өөрчлөлтийн үед бүтцийн бүрэн бүтэн байдлыг хангана.

● Механик бат бэх ба элэгдэлд тэсвэртэй: Mohs хатуулаг ≥9 (зөвхөн алмазаас хойш хоёрдугаарт ордог), гулзайлтын бат бэх 300 МПа, шахалтын бат бэх 2000 МПа, бөөмийн элэгдэл, механик нөлөөллийн эсэргүүцэл.

● Химийн идэвхгүй байдал: HF, HCl зэрэг хүчлийн хүчтэй зэврэлтэнд тэсвэртэй, плазмын сийлбэрт тэсвэртэй, ялангуяа хагас дамжуулагч хуурай сийлбэрийн орчинд тохиромжтой.

Яагаад Semixlab-ийг сонгох вэ?

Бидний нийлүүлж буй цахиурын карбидын зуухны хоолойнууд нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн өндөр температур, өндөр цэвэршилт, зэврэлтэнд тэсвэртэй гэх мэт онцгой шаардлагыг хангаад зогсохгүй, захиалгат дэмжлэг, түргэн шуурхай хүргэлт, борлуулалтын дараах өндөр чанартай үйлчилгээгээр дамжуулан хэрэглэгчдийн итгэлийг олж авдаг.

Та вафер фабын тоног төхөөрөмжийн инженер, лабораторийн судлаач эсвэл тоног төхөөрөмжийн интегратор байхаас үл хамааран бид таны өндөр чанартай дулааны боловсруулалтын процесст найдвартай, бат бөх, цэвэр шийдлүүдийг санал болгож чадна. Өндөр хүчин чадалтай дулааны боловсруулалтын шинэ туршлагаа эхлүүлэхийн тулд бидэнтэй холбоо барина уу.

SiC зуухны хоолой ба өөр материалын гүйцэтгэлийн харьцуулалт:

Хагас дамжуулагчийг боловсруулах, үйлдвэрлэх тусгай хэрэглээ

SiC зуухны хоолой нь хагас дамжуулагчийг боловсруулах, үйлдвэрлэхэд зайлшгүй чухал үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд түүний хэрэглээ нь хэд хэдэн үндсэн процессын холбоосыг хамардаг.

● Диффузын зуух:

Чиг үүрэг: Диффузын зуух нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн допинг, исэлдүүлэх, зөөлрүүлэх болон бусад процессуудад зориулсан үндсэн төхөөрөмж юм. Диффузын зуухны үндсэн доторлогооны хувьд SiC зуухны хоолой нь вафельд тогтвортой, цэвэр, өндөр температурт урвалын камерыг хангадаг.

Давуу талууд: SiC-ийн өндөр цэвэршилт, өндөр температурт тэсвэртэй байдал нь тархалтын явцад хольцыг багасгаж, вафель бохирдлоос сэргийлдэг. Түүний дулааны цохилтын маш сайн тогтвортой байдал нь халаах, хөргөх явцад зуухны хоолойн бүрэн бүтэн байдлыг хангахаас гадна урт хугацааны өндөр температурт ажиллахад бүтцийн тогтвортой байдлыг хангаж, допингийн нарийн концентраци, ислийн давхаргын жигд өсөлтийг бий болгодог. Энэ нь өндөр хүчин чадалтай транзистор болон нэгдсэн хэлхээг үйлдвэрлэхэд зайлшгүй шаардлагатай.

● PECVD (плазмын сайжруулсан химийн уурын хуримтлал)/LPCVD (бага даралттай химийн уурын хуримтлал) тоног төхөөрөмж:

Чиг үүрэг: PECVD/LPCVD төхөөрөмжид SiC зуухны хоолойг ваферын гадаргуу дээр цахиурын исэл, цахиурын нитрид гэх мэт янз бүрийн нимгэн хальсыг байрлуулах урвалын камер болгон ашигладаг.

Давуу тал: SiC зуухны хоолойн зэврэлтэнд тэсвэртэй байдал нь технологийн хийн элэгдлийг (SiH4, NH3, N2O гэх мэт) тэсвэрлэх боломжийг олгож, хальсыг буулгах үйл явцын тогтвортой байдал, хальсны давхаргын чанарыг хангадаг. Түүний өндөр цэвэршилт нь зуухны хоолойн материалаар хальсыг бохирдуулахаас сэргийлж, хальсны давхаргын цахилгаан болон оптик шинж чанарыг баталгаажуулдаг.

● ALD (Atomic Layer Deposition) төхөөрөмж:

Чиг үүрэг: ALD нь маш нимгэн, жигд хальс ургуулах технологи юм. SiC зуухны хоолой нь ALD төхөөрөмжид тогтвортой, цэвэрлэхэд хялбар урвалын орчинг бүрдүүлдэг.

Давуу тал: SiC гадаргуу нь урвалын прекурсоруудыг шингээхэд хялбар биш юм. Түүний гөлгөр гадаргуу, маш өндөр цэвэршилт нь атомын түвшний хальсны өсөлтийг хянахад тустай бөгөөд хальсны зузаан жигд, давтагдах чадварыг баталгаажуулдаг.

● Өндөр температурт халаах зуух:

Чиг үүрэг: Өндөр температурт зөөлрүүлэх нь ваферын согогийг арилгах, нэмэлт бодисыг идэвхжүүлэх, материалын шинж чанарыг сайжруулах гол алхам юм.

Давуу тал: SiC зуухны хоолойнууд нь вафельд торыг бүрэн засварлаж, хольцыг идэвхжүүлж, төхөөрөмжийн цахилгааны гүйцэтгэл, найдвартай байдлыг сайжруулахад туслах хэт өндөр температурт тогтвортой орчинг бүрдүүлж өгдөг. Түүний маш сайн механик хүч чадал, дулааны цохилтод тэсвэртэй байдал нь температурын тогтмол өсөлт, бууралтын үед зуухны хоолойнуудыг бүрэн бүтэн байлгах боломжийг олгодог.

● Бусад өндөр температурт хэрэглэх:

SiC Furnace Tube нь өндөр температурт туршилтын зуух, тусгай материалын агломерын зуух гэх мэт янз бүрийн судалгаа, боловсруулалтын үе шатанд ашиглагддаг бөгөөд энэ нь хамгийн сүүлийн үеийн хагас дамжуулагч материалыг хөгжүүлэх найдвартай өндөр температурын орчинг бүрдүүлдэг.

Хэрэглэгчийн асуудал ба шийдэл

1: Тоног төхөөрөмжийн байнгын засвар үйлчилгээ, кварцын хоолой амархан хагардаг уу?

Шийдэл: Semixlab нь өндөр нягтралтай цахиурын карбид керамик хоолойнуудыг дулааны цохилтод маш сайн тэсвэрлэдэг бөгөөд энэ нь засвар үйлчилгээний давтамж, сул зогсолтын эрсдлийг эрс багасгадаг.

2: Бүтээгдэхүүний цэвэр байдлын шаардлага өндөр, хоёрдогч бохирдлоос хэрхэн сэргийлэх вэ?

Шийдэл: CVD SiC бүрэх эсвэл өндөр цэвэршилттэй нягт SSiC хоолой, хэт бага металлын хольц ялгаруулах, хэт цэвэр процессын стандартыг хангана.

3: Тусгай хэмжээ эсвэл интерфейсийн бүтцийг худалдан авахад хэцүү юу?

Шийдэл: Бид таны төрөл бүрийн, нарийн төвөгтэй системийн интеграцчлалын хэрэгцээг хангахын тулд зургийн тохируулга болон нийлмэл бүтцийг боловсруулах (фланцын интерфейс, алхам хоолой, L хэлбэрийн гулзайлга гэх мэт) дэмждэг.

4: Хүргэлтийн урт хугацаа, борлуулалтын дараах баталгааг хэрхэн шийдвэрлэх вэ?

Шийдэл: Хятадад SiC эд ангиудын тэргүүлэгч үйлдвэрлэгч, ханган нийлүүлэгчийн хувьд Semixlab нь үйлдвэрлэлийн тогтвортой хүчин чадал + чанарын хатуу хяналт + экспортын сав баглаа боодол + техникийн дэмжлэг үзүүлэх зэрэг иж бүрэн давуу талуудтай бөгөөд энэ нь хүргэх хугацааг баталгаажуулж, урт хугацааны хамтын ажиллагааны итгэлцлийг бий болгодог.

Semixlab бүтээгдэхүүний дэлгүүрүүд