Хатуу SiC ба графит: RTP програмуудад аль материал хамгийн тохиромжтой вэ?

Хурдан дулааны боловсруулалтанд (RTP) камерын материал үнэхээр чухал юм. Тэд үйл явцыг сайн явуулахад туслах эсвэл чанарын асуудал үүсгэж болно. Хамгийн түгээмэл хоёр сонголт бол хатуу цахиурын карбид (SiC) ба бал чулуу. Хоёр материал хоёулаа хэт халуунд тэсвэртэй боловч бодит амьдрал дээр тэс өөр байдлаар ажилладаг. Зөвийг сонгох нь хэд хэдэн зүйлээс хамаарна. Энэ нь тухайн талбайг хэр цэвэрхэн байлгах, эд ангиудыг хэр удаан байлгах, тэр ч байтугай дулаан байх ёстой зэргээс шалтгаална. Энэ нийтлэлд бид харьцуулах болно хатуу SiC ба графит зэрэгцүүлэн . Энэ нь таны RTP тохиргоонд аль нь илүү дээр болохыг харахад тусална.

Шуурхай дулааны боловсруулалт (RTP) дахь материалын хэрэгцээг ойлгох

Rapid Thermal Processing (RTP) нь хурд, нарийвчлалтай холбоотой юм. Энэ нь хагас дамжуулагч хавтанцарыг хэдхэн секундын дотор маш өндөр температурт, заримдаа 1,000 хэмээс дээш халаана. Барьсан уу? Процесс нь цэвэр, давтагдах боломжтой, хатуу хяналттай байх шаардлагатай. Энэ нь тасалгааны доторх материалд маш их ачаалал өгдөг. Энэ нь голчлон ялтсын тулгуур, мэдрэгч, тасалгааны доторлогоонд нөлөөлдөг.

Хатуу SiC болон бал чулуу нь RTP тохиргоонд түгээмэл байдаг. Тэд хайлах, гулзайлгахгүйгээр өндөр дулааныг авч чаддаг. Гэхдээ дулааны эсэргүүцэл нь цорын ганц чухал зүйл биш юм. Мөн дулааныг жигд тараахын тулд материал нь сайн дулаан дамжуулалттай байх ёстой. Хэрвээ халуун нь өрөмийг давахгүй бол төхөөрөмжийн хэсгүүд нь эвдэрч, дараа нь ажиллахаа болино. Тэгш бус дулаан нь өндөр өртөгтэй согог үүсгэдэг.

Бохирдол нь бас нэг том асуудал юм. Боловсруулалтын явцад хальслах ямар ч жижиг тоосонцор вафер дээр бууж, түүнийг сүйтгэж болно. Эндээс бал чулуу хязгаараа харуулж эхэлдэг. Графит нь халуунд сайн боловч агаарт эсвэл маш цэвэрхэн газарт аажмаар задардаг. Энэ нь хүсээгүй тоосонцорыг нэвтрүүлж болно. Хатуу SiC, гэхдээ химийн хувьд илүү тогтвортой, бохирдуулах магадлал бага.

Бат бөх байдлын асуудал бас бий. Графит нь илүү хөнгөн бөгөөд боловсруулахад хялбар байдаг тул энэ нь ихэвчлэн хямд байдаг. Гэхдээ энэ нь илүү хурдан элэгддэг, ялангуяа температурыг олон удаа эргүүлэх үед. Хатуу SiC нь илүү бат бөх бөгөөд удаан үргэлжилдэг тул та үүнийг байнга солих эсвэл ажлаа зогсоох шаардлагагүй болно.

Товчхондоо, хатуу SiC болон бал чулууг сонгох нь зөвхөн дулааны тухай биш юм. Энэ нь бодит хэрэглээний үед тус бүр хэрхэн ажилладаг тухай юм. Хэрэв та RTP шугам ажиллуулдаг бол дулаан, цэвэр байдал, хэр удаан үргэлжлэх, бүрэн зардлын талаар бодоорой.

Хатуу SiC: Өндөр цэвэршилттэй RTP орчинд зориулсан дээд зэргийн гүйцэтгэл

Хатуу цахиурын карбид (SiC) нь цэвэр, тогтвортой байдаг тул өндөр чанартай RTP-д ихэвчлэн ашиглагддаг. Энэ нь хагарч, тоос шороо үүсгэхгүйгээр өндөр дулааныг тэсвэрлэх чадвартай. Энэ нь мөн ихэнх химийн бодисуудтай урвалд ордоггүй бөгөөд энэ нь тасалгааг цэвэр байлгахад тусалдаг ба вафельсийг хамгаалдаг.

Бодит үйлдвэрлэлийн хувьд энэ найдвартай байдал чухал юм. Жишээлбэл, дэвшилтэт чип эсвэл цахилгаан эд анги үйлдвэрлэдэг үйлдвэрүүд ихэвчлэн хатуу SiC хэсгүүдийг ашигладаг. Тэд нэмэлт цэвэр боловсруулалт шаарддаг тул SiC нь сайн тохирдог. Гадны материалын өчүүхэн үлдэгдэл ч гэсэн төхөөрөмжийн эвдрэлд хүргэж, ургацыг бууруулдаг. Хатуу SiC нь исэлдүүлэхгүйгээр 1000 ° C-аас дээш дулааныг тэсвэрлэх чадвартай. Тийм ч учраас хүчилтөрөгчтэй RTP эсвэл вакуум тохиргоонд сайн ажилладаг.

Өөр нэг давуу тал бол дулааны гүйцэтгэл юм. Хатуу SiC нь дулааныг сайн тараадаг бөгөөд энэ нь ялтсыг жигд халаахад тусалдаг. Энэ нь халуун цэгүүдээс зайлсхийж, процессыг илүү жигд болгодог - жижиг хэсгүүд, хатуу алхмуудад чухал ач холбогдолтой. Зарим машинууд илүү хурдан халааж, цаг хэмнэхийн тулд SiC хэсгүүдийг ч ашигладаг.

Хатуу SiC гялалздаг өөр нэг хэсэг бол бат бөх чанар юм. Энэ нь хатуу бөгөөд нягт бөгөөд энэ нь элэгдэлд тэсвэртэй, дулааны цочролд тэсвэртэй болгодог. Бүрсэн бал чулуунаас ялгаатай нь хатуу SiC нь цаг хугацааны явцад хугардаггүй, хугардаггүй. Энэ нь олон мөчлөгт дамждаг тул та эд ангиудыг бага сольж, багажийг бага зогсоож, засварт бага зарцуулдаг.

Товчхондоо, хатуу SiC нь эхэндээ илүү үнэтэй боловч цэвэр эд анги, урт наслалт, тогтвортой дулаан шаарддаг RTP ажилд үнэ цэнэтэй юм.

Графит: Олон талт, зардал багатай хувилбар

Хэрэв төсөв бага эсвэл үйл явц нь илүү хялбар бол графит нь RTP-д сайн ажилладаг. Энэ нь дулааныг тэсвэрлэх чадвартай бөгөөд хэлбэрт оруулахад хялбар байдаг. Энэ нь хурдан халах, хөргөхөд хагардаггүй тул үндсэн ажилд өрөм барих, халаагч зэрэг эд ангиудад ашигладаг.

Бал чулууны хамгийн том давуу талуудын нэг нь өртөг юм. Графит нь хатуу SiC-ээс бага өртөгтэй бөгөөд хэлбэржүүлэхэд хялбар байдаг. Энэ нь түүнийг туршилтын шугам, R&D эсвэл байнга өөрчлөгддөг тохиргоонд тохиромжтой сонголт болгодог. Та үүнийг хурдан шинэ хэлбэрт оруулах боломжтой тул өөрчлөлт хийх шаардлагатай үед ажлыг үргэлжлүүлэхэд тусална.

Баланс мөн хатуу дулааны үзүүлэлттэй. Графит нь дулааныг сайн тараадаг. Энэ нь өрөмийг жигд халаахад тусална. Мөн халаалт, хөргөлтийг олон удаа эвдрэлгүйгээр гүйцэтгэдэг. Гэхдээ энэ нь төгс биш юм. Хүчилтөрөгч ихтэй эсвэл маш цэвэрхэн байх шаардлагатай газруудад бал чулуу аажмаар задарч болно. Тэгээд ийм зүйл тохиолдвол жижиг тоос үүсгэж болно. Энэ тоос нь жигнэмэгийг бохирдуулдаг. Хэрэв та дэвшилтэт чипс эсвэл эмзэг хэсгүүдийг хийж байгаа бол энэ нь том асуудал юм.

Бал чулууг удаан хугацаанд хадгалах, тоосжилтыг зогсоохын тулд ихэвчлэн цахиурын карбидаар бүрсэн байдаг. Бүрхүүл нь түүнийг хамгаалахад тусалдаг боловч цаг хугацааны явцад элэгдэж болно. Тиймээс үүнийг байнга шалгаж, өөрчлөх шаардлагатай байдаг. Заримдаа бүрэх нь гуужиж болох бөгөөд энэ нь энгийн бал чулуу хэрэглэхээс ч дор байж болно.

Товчоор хэлбэл, бал чулуу гүйцэтгэл болон үнийн практик тэнцвэрийг санал болгож байна. Энэ нь хатуу SiC шиг цэвэр эсвэл хүчтэй биш боловч RTP-ийн олон ажилд, ялангуяа эрт эсвэл энгийн ажилд сайн ажилладаг бөгөөд зардал багатай байдаг.

Хэрхэн сонгох вэ: Semixlab-аас програмын тусгай зөвлөмжүүд

Хатуу SiC эсвэл бал чулууг сонгох нь зөвхөн аль нь илүү сайн сонсогдох талаар биш юм. Энэ нь таны ажилд юу хэрэгтэй байгаа тухай юм. Semixlab дээр бид жижиг бүлгүүд болон шилдэг чипс үйлдвэрлэдэг томоохон үйлдвэрүүдтэй хамтран ажилласан. Материалын сонголт нь таны үйл явцын тодорхой шаардлагад үргэлж холбоотой байх ёстой гэдгийг бид олж мэдсэн.

Хэрэв та цэвэр эсвэл хүчилтөрөгчөөр баялаг төхөөрөмж эсвэл жижиг чипний эд анги хийдэг бол хатуу SiC сонгох нь дээр. Энэ нь эхэндээ илүү үнэтэй боловч илүү удаан үргэлжилж, илүү сайн үр дүнг өгдөг бөгөөд цаг хугацаа өнгөрөх тусам мөнгө хэмнэдэг.

Графит нь RTP-ийн хялбар алхмууд эсвэл процессыг засаж байх үед тохиромжтой. Хямдхан, хурдан хэлбэржүүлдэг. Нэг үйлчлүүлэгч туршилтын явцад мөнгө хэмнэхийн тулд бүрсэн бал чулууг жижиг тохиргоонд ашигласан. Энэ нь гүйцэтгэлд хэт их хохирол учруулахгүйгээр уян хатан байх боломжийг тэдэнд олгодог.

Зарим тохиолдолд эрлийз арга нь хамгийн утга учиртай байдаг. Та хамгийн халуун, хамгийн чухал хэсгүүдэд хатуу SiC ашиглаж болно. Дараа нь маш цэвэрхэн байх нь тийм ч чухал биш хэсгүүдэд бал чулуу ашиглана. Хамгийн гол нь материаллаг сонголтоо зөвхөн төсвөө бус өөрийн үйл явцын хэрэгцээнд нийцүүлэх явдал юм.