Бvх ангилал
SiC Crystal Growth түүхий эд
SiC болор өсөлтийн түүхий эд
SiC болор өсөлтийн түүхий эд

SiC болор өсөлтийн түүхий эд


Гарал газар: Хятад улс
Барааны тэмдэгийн нэр: Semixlab
Загвар тоо: CVD SiC
Гэрчилгээний: ISO 9001
Хамгийн бага захиалгын тоо хэмжээ: Хэдэн кг (R & D түвшний жижиг багц худалдан авалтыг дэмжих)
Үнэ: Өндөр цэвэршилттэй (≥99.9999%) захиалгыг техникийн үзүүлэлтүүдэд тохируулан үнийн саналыг өөрчлөх
Баглаа боодол дэлгэрэнгүй: Өндөр цэвэршилттэй инерт хийн битүүмжилсэн сав, чийгэнд тэсвэртэй, исэлдэлтийн эсрэг хөнгөн цагаан тугалган цаас
Хүргэгдэх хугацаа: 7-15 хоног (стандарт) / 20-30 хоног (захиалгат томъёо)
Төлбөрийн нөхцөл: T/T (50% урьдчилж, 50% хүргэхээс өмнө)
Хангамж чадвар: Сарын үйлдвэрлэлийн хүчин чадал 500кг, өндөр цэвэршилттэй (≥99.9999%) захиалгыг дэмждэг
Тодорхойлолт

SiC болор өсөлтийн түүхий эд нь Semixlab-ийн боловсруулсан хамгийн сүүлийн үеийн дэвшилтэт материал юм. Үндсэн бүрэлдэхүүн хэсэг нь CVD SiC блок юм. Энэхүү түүхий эдээр ургуулсан SiC дан болор чанар нь маш сайн бөгөөд салбартаа тэргүүлдэг.

Бүтээгдэхүүний гол цөм тод

Хорлон сүйтгэх бэлтгэлийн үйл явц

Бие даасан патентын шингэн давхаргын CVD технологийг (патент №: ZL2024XXXXXXX), метил трихлоросиланыг (MTS) урьдал болгож, дараах үр дүнд хүрнэ.

Цэвэр байдал > 99.9995% (GDMS нийт элементийн шинжилгээ)

Азотын агууламж ≤0.09ppm (нэмэлт цэвэршүүлэх шаардлагагүй)

Бөөмийн хэмжээ 4-10 мм (уламжлалт өөрөө тархах арга < 2.5 мм)

Кристал өсөлтийн давуу тал

индекс уламжлалт өөрөө тархах арга SiC нунтаг Semixlab SiC болор өсөлтийн түүхий эд
Микротубулын нягтрал нь янз бүр байв 103~ 104cm-2 <300 см-2
Түүхий эд материалын ашиглалтын түвшин 30% -40% > 50%

Байгаль орчныг хамгаалах, эдийн засаг

Бохирдолгүй ялгадас: давсны хүчлийг давс болгон саармагжуулж болно

Зардлыг 30%-иар бууруулах: Метилтрихлоросилан түүхий эд нь Хятадын голлох химийн бодис юм.

SiC талстыг SiC талст өсөлтийн түүхий эдээр ургуулсан

Түргэн дэлгэрэнгүй:

1. Бусад нэрс: CVD SiC блок; SiC фрагмент.

2. Хэрэглээ: SiC нэг талст өсөлтийн түүхий эд.

3. Гол параметрүүд: Цэвэршилт > 99.9995% (GDMS нийт элементийн шинжилгээ), Азотын агууламж ≤0.09ppm (нэмэлт цэвэршүүлэлтгүй), Бөөмийн хэмжээ 4-10мм (уламжлалт өөрөө тархах арга < 2.5мм).

үзүүлэлт нь

Хэрэглээ

SiC нэг талст өсөлтийн түүхий эд.

Өрсөлдөх давуу тал

1. Цэвэр ариун байдлын нээлт

Цэвэр байдал ≥99.9995% (GDMS бүхэл бүтэн элементийн шинжилгээ). Химийн уурын хуримтлал (хоёрдогч цэвэршүүлээгүй) үр дүнд азотын агууламж ≤0.09ppm-д хүрсэн. Ялангуяа хагас дулаалгын SiC нэг талст өсөлтийн хэрэгцээнд тохиромжтой.

2. Бөөмийн хэмжээ ба нягтын оновчлол

Том ширхэгийн хэмжээ (4-10мм), царцдасыг ачаалах чадварыг эрс сайжруулдаг (ижил эзэлхүүн нь 1.5 кг-аас их), талст өсөлтийн үед нүүрстөрөгчийн бүрхүүлийн согогийг бууруулдаг.

3. Зардлын давуу тал нь мэдэгдэхүйц юм

Түүхий эдийн зардлыг 30% бууруулна.

Метилрихлоросилан (MTS)-ийг урьдал материал болгон ашигласнаар түүхий эд бэлтгэх зардал нь уламжлалт өндөр цэвэршилттэй цахиурын утаа + бал чулууны схемийн ердөө 1/3-ийг л эзэлдэг. Түүхий эдийн ашиглалтын түвшин > 50% (уламжлалт процесс нь зөвхөн 30%-40%).

4. Байгаль орчныг хамгаалах хаалттай циклийн үйл явц

Бохирдлын ялгаруулалт тэг.

Үйлдвэрлэлийн дагалдах бүтээгдэхүүн болох давсны хүчил нь саармагжуулах урвалаар хоргүй давс үүсгэдэг бөгөөд уламжлалт процессын хог хаягдлыг боловсруулах гурван асуудлаас бүрэн зайлсхийдэг (даршилж / хаягдал хий боловсруулах зардал нь 15% -иас илүү байдаг).

5. Кристал чанарын үсрэлтүүд

Микротубулын нягт нь 300 см-ээс бага байв-2.

Түүхий материалын Si/C атомын харьцаа 1:1-тэй ойролцоо (уламжлалт аргын хазайлт > 5%), талст өсөлтийн үед цахиурын ялгах согогийг бууруулдаг. 85%-92%-ийн ембүү гарц (өрсөлдөгч бүтээгдэхүүний 65%-75%) нь доод талын хэрэглэгчдийн дан болор хайчлах алдагдлыг бууруулдаг.

Хэрэг бvртгэлт

Халуун ангилал