Цахиурын карбидын зуухны хоолой

Semixlab нь хэт өндөр цэвэршилттэй SiC зуухны хоолойн систем, 99.9999% бүрэх цэвэршилттэй хагас дамжуулагч зэрэглэлийн дулааны талбайн уусмал, бүрэн шугамаар хангадаг.

Үндсэн үнэ цэнийн санал

Өргөст хавтан үйлдвэрлэхэд бохирдолгүй дулааны орчныг бүрдүүлнэ: субстратын 99.9% SiC цэвэршилт + CVD бүрхүүлийн 99.9999% цэвэр байдал, иж бүрэн SiC консолт сэлүүр ба өрөмтэй завины системтэй хослуулснаар процессын камерт металлын бохирдол тэг болно.

Бүтээгдэхүүний өөр өөр нэрс:

Өндөр температурт SiC зуухны хоолой;Цахиур карбидын хоолой;Өндөр цэвэршилттэй SiC хоолой;Сарних зууханд зориулсан цахиур карбид хоолой;Цахиурт зориулсан карбидын цахиур хоолой &LPCVD процесс;RTP-д зориулсан SiC хоолой, Исэлдэлтийн SiC хоолой

Үндсэн үзүүлэлтүүд:

Материалын цэвэр байдал: Үндсэн материал нь 99.9%-иас дээш цэвэршилттэй цахиур карбид бөгөөд ЗСӨ-ийн бүрээсний дараах цэвэршилт нь 99.9999% (6N зэрэг) байна.

Дулааны гүйцэтгэл: Ашиглалтын хамгийн их температур 1650℃ (урт хугацааны), дулааны тэлэлтийн коэффициент: 4.6×10⁻⁶/℃, тогтмол температурын бүсэд жигд байдал: ±1.5℃ (1200℃);

Механик хүч: Гулзайлтын хүч 450Mpa (өрөөний температурт).

Үндсэн хэрэглээ

Дулааны талбайн тээвэрлэгч

1200℃-аас 1650℃ хооронд тогтвортой, жигд температурын талбарыг бий болгох (тогтмол температурын бүсийн температурын зөрүү ≤±1.5℃)

Тархалт, исэлдүүлэх, задлах зэрэг процессуудын термодинамик нөхцлийг хангах.

Бохирдлоос тусгаарлах хаалт

Өндөр цэвэршилттэй материалаар (SiC гэх мэт) металл ионуудын (Fe/Ni/Cu гэх мэт) тархалтыг блоклох.

Технологийн хий болон гадаад орчны хоорондын бохирдлоос сэргийлнэ.

Боловсруулах хийн суваг

Урвалын чиглэл болон урвалын хийн тархалтыг нарийн хянах (O₂/N₂/SiH₄ гэх мэт)

Өрөөний гадаргуу дээр жигд хийн фазын урвалд хүрэх (SiO₂ өсөлт гэх мэт).

Фотоволтайк бүрэх: TOPCon/HJT эсийн PECVD процессын өрмөнцөр тээвэрлэлтийг дэмжинэ.

Програмын хувилбарууд

● Эпитакси

● Исэлдэлт/тархалт

● LPCVD/PECVD процесс

● III-V нийлмэл хагас дамжуулагчийг зөөлрүүлэх

Салбарын өвдөлтийн цэгүүдийн шийдэл

Манай шийдлүүд нь үйлчлүүлэгчдийнхээ өвдөлтийг намдаахад тусалдаг:

1. Өндөр температурт үйл явцын тоосонцор бохирдол: 6N бүрэх хольцын хур тунадасыг блоклодог.

Кварцын бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд SiC-ийг байнга солих нь зэврэлтээс хамгаалах чадварыг 8 дахин нэмэгдүүлдэг.

2. SiC материалын бүх цувралын дулааны талбайн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн дулааны тэлэлтийн тохиромжгүй байдлын CTE тууштай загвар.

3. Өргөст хальсны ар талд металлын бохирдлыг хэт өнгөлсөн гадаргууг цэвэрлэх (Ra 0.2μm).

Бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн техникийн үзүүлэлтүүдийн үндсэн давуу талууд:

1. SiC зуухны хоолой - Үндсэн материалын цэвэр байдал: 99.9% шингэрүүлсэн цахиурын карбид

▶ Дулааны цохилтын эсэргүүцлийг 3 дахин нэмэгдүүлсэн (хурдан хөргөлт > 1600℃)

Дулааны тэлэлтийн коэффициент нь 4.6×10⁻⁶/℃ хүртэл бага байна.

Нано хэмжээст бүрэх - 6N зэрэглэлийн өндөр цэвэршилттэй SiC (99.9999%)-ийн ЗСӨ-ийн хуримтлал.

▶ Fe, Ni зэрэг металлын тархалтыг саатуулна

▶ Гадаргуугийн барзгар байдал Ra < 0.5μm

2. SiC wafer Boat - 12 инчийн вафельтай тохирно

- Олон давхаргат даацын загвар

▶ Зуухны хоолойтой 100% дулаан тохирно

Өрөөний бохирдлын түвшин 0.01 ppb-ээс бага байна

3. Консол сэлүүр систем - изостатик графит субстрат +SiC бүрээс

- Автомат тэгшлэх нарийвчлал ±0.1мм

▶ Мөлхөх эсэргүүцлийн хугацаа > 100,000 дахин

Дамжуулах чичиргээ 5μм-ээс бага байна

Эвдэрсэн технологийн онцлох үйл явдлууд

Цэвэр байдлын хувьсгал

Хоёр түвшний хамгаалалтын систем

Суурийн давхарга нь 99.9% SiC → өндөр бат бэх хүрээг бий болгох

Функциональ давхарга дахь 6N түвшний CVD-SiC нь атомын түвшний битүүмжлэл үүсгэдэг.
саад бэрхшээл

Бохирдлын хяналт: Na/K < 0.1ppm, хүнд металлууд < 5ppb, 28нм-ээс доош процессын шаардлагыг хангасан

Системийн хамтын ажиллагааны давуу тал

● Дулааны талбайн жигд байдал: Зуухны хоолой + вафель завь + сэлүүр ирний гурвалсан дулааны холболтын загвар, тогтмол температурын бүсийн температурын зөрүү (> 1200℃) ≤±1.5℃ байна.

● Амьдрах хугацааг хоёр дахин нэмэгдүүлэх: Бүх шийдэл нь эрлийз системтэй харьцуулахад ашиглалтын хугацааг 40%-иар уртасгаж, MTBA нь 8,000 цагаас илүү байдаг.