Хагас дамжуулагч кварц хавтанцар завь

Semixlab Semiconductor Кварц өргүүрт завь нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд тархалт, исэлдэлт, CVD, зөөлрүүлэх гэх мэт өндөр температурт процесст зориулагдсан гол тулгуур хэрэгсэл юм. Өндөр температурт тэсвэртэй, химийн тогтвортой байдал, дулааны тэлэлтийн бага коэффициент бүхий өндөр цэвэршилттэй нийлэг кварцаар хийгдсэн бөгөөд процессын тууштай байдал, бүтээгдэхүүний гарцыг хангахын тулд хатуу ширүүн үйл явцын орчинд өргүүрийг тогтвортой авч явах боломжтой.

Холбогдох тоног төхөөрөмж: Бүх төрлийн хэвтээ/босоо тархалтын зуух (хэвтээ/босоо тархах зуух), LPCVD систем, хурдан дулааны боловсруулалт (RTP) төхөөрөмжид тохирно.

Чанарын баталгаа

Чанарын хатуу хяналт: 100% гелийн массын спектрометрийн алдагдал илрүүлэлт (алдагдлын хурд <1×10⁻⁹ mbar·L/s). Материалын цэвэр байдлын тайланг (ICP-MS тест) багц бүрт гаргадаг.

Баталгаажуулалтын стандартууд: SEMI F47 техникийн үзүүлэлтүүдийн дагуу ISO 9001:2015 чанарын удирдлагын тогтолцооны баталгаажуулалтаар дамжуулан.

Үйлчилгээний хугацаа: хэвийн нөхцөлд дундаж наслалт нь 2 жилээс илүү (үйл явцын давтамж, температурын нөхцлөөс хамаарна).

Яагаад манай кварцын завийг сонгох вэ?

Захиалгат үйлчилгээ: Тоног төхөөрөмжийн загвар (TEL, Kokusai, ASM гэх мэт) болон үйл явцын шаардлагад нийцүүлэн тохируулсан хэмжээ, бүтээц.

Шуурхай хариу: Хүргэлтийн стандарт хугацаа 3 долоо хоног, яаралтай захиалгыг ажлын 10 хоног хүртэл бууруулж болно.

Глобал үйлчилгээний сүлжээ: Техникийн зөвлөгөө өгөх, суурилуулах зааварчилгаа, борлуулалтын дараах засвар үйлчилгээ үзүүлэх. Материалын үзүүлэлтүүд.

Төслийн тодорхойлолт

Материалын синтез Хайлмал кварц

Цэвэр байдал ≥99.99% SiO₂

Өрөөний хэмжээтэй нийцтэй байдал 8 ", 12" (6" эсвэл 18" өөрчлөх боломжтой)

Ашиглалтын температур ≤1200°C (тасралтгүй) / 1300°C (оргил)

Дулааны тэлэлтийн коэффициент (CTE) 0.55×10⁻⁶/°C (20-1000°C)

Гадаргуугийн барзгар байдал (Ra) ≤0.2μm

Стандарт багтаамжтай 25/50/100 шахмал

Холбогдох процессын хий O₂, N₂, H₂, Ar, SiH₄, HCl гэх мэт.

Өндөр температурт исэлдэлт/тархалт: цахиурын допинг (фосфор, борын тархалт), хаалганы оксидын өсөлт.

Нимгэн хальсан тунадас: LPCVD поликристалл цахиур, Цахиурын нитрид (Si₃N₄) тунадас.

Хатаах үйл явц: ион суулгац (RTA), металл хайлшийн дараа анивчих.

Гурав дахь үеийн хагас дамжуулагч: цахиурын карбид (SiC), галлиум нитрид (GaN) эпитаксийн процесс.

1. Материалын шинж чанар

Хэт өндөр цэвэршилттэй кварц (>99.99% SiO₂): металлын ионоор (Na +, K +, Fe³ + гэх мэт) бохирдохоос зайлсхийж, дэвшилтэт процессуудын (<5 нм зангилаа) цэвэр байдлын шаардлагыг хангадаг.

Өндөр температурт тэсвэртэй: 1200 ° C-ийн тасралтгүй ажиллах температур, 1300 ° C-ийн агшин зуурын температурын эсэргүүцэл, хэв гажилт, талстжих эрсдэлгүй.

Химийн идэвхгүй байдал: HCl, H₂, O₂, SiH₄ болон хүчил/шүлтлэг орчин зэрэг процессын хийд тэсвэртэй. Удаан хугацаагаар хэрэглэхэд зэврүүлэхгүй.

2. Нарийвчлалтай дизайн

Бүтэцийг оновчтой болгох:

Слот хоорондын зай нь ± 0.05 мм-ийн нарийвчлалтай, хавтанцарын зөв байрлалыг (8/12 инч) баталгаажуулж, зураас, шилжилтээс сэргийлнэ.

Дулааны цохилтод тэсвэртэй загвар, хурдан өсөлт, уналтад дасан зохицох (халаалтын хурд ≤20°C/мин).

Бага хэмжээний бөөмс үүсэх: Гадаргууг хэт нарийвчлалтай өнгөлсөн (Ra ≤0.2μm) нь бөөмийн наалдацыг багасгаж, унах болно.

3. Төрөл бүрийн тохиргоо

Хүчин чадал нэмэлт: 25 ширхэг, 50 ширхэг, 100 ширхэг болон бусад стандарт үзүүлэлтүүдийг дэмжих, мөн стандарт бус үүрний дугаарыг өөрчлөх боломжтой.

Төрөл дасан зохицох: Нээлттэй завь, Хаалттай завь эсвэл тусгай завины төрөл (завины ёроолыг эргүүлэх сувгийн дизайн гэх мэт).

А1: Та стандарт бус хэмжээ эсвэл тусгай загвараар хангаж чадах уу?

A1: Semixlab нь хэмжээ тохируулга, температурын дээд хязгаар (материалыг шинэчлэх шаардлагатай) эсвэл интерфейсийн төрлийг багтаасан захиалгат үйлчилгээг дэмждэг. Тодорхой шаардлагыг Semixlab-ийн техникийн багтай холбоо барина уу.

Q2: Хар тугалга өгөх хугацаа хэр удаан байна вэ?

А2: Стандарт бүтээгдэхүүний хүргэлтийн хугацаа 4-6 долоо хоног, захиалгат бүтээгдэхүүний загвар, баталгаажуулалтын хугацаа 2-3 долоо хоног байна.

Q3: Та борлуулалтын дараах техникийн дэмжлэг үзүүлдэг үү?

А3: Тийм ээ, бид насан туршийн техникийн зөвлөгөө, яаралтай тусламжийн үйлчилгээ үзүүлдэг. Суулгах, ашиглахад асуудал гарсан тохиолдолд тусламжийн багтай хүссэн үедээ имэйл эсвэл утсаар холбогдож болно.

Асуулт 4: Бүтээгдэхүүн нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн стандартад нийцэж байна уу?

А4: Тийм ээ, үйлдвэрлэлийн үйл явц нь SEMI стандартад нийцэж, ISO 9001 чанарын удирдлагын тогтолцоогоор баталгаажсан. Багц бүрийг үйлдвэрээс гарахын өмнө агаарын битүүмжлэл, температурын эсэргүүцэл, цэвэр байдлыг шалгадаг.