EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Хагас дамжуулагч кварцын банн
Түргэн дэлгэрэнгүй:
1. Бусад нэршил: Хагас дамжуулагч кварцын сав, хагас дамжуулагчийн кварцын ванн, хагас дамжуулагчийн кварцын сав.
2.Хэрэглээ: Хагас дамжуулагч кварцын ванн нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд нарийн цэвэрлэгээ болон химийн боловсруулалтад зориулан тусгайлан бүтээсэн өндөр цэвэршилттэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй эд анги юм. WS-620C/WS-820C/WS-820L системтэй нийцтэй байхаар бүтээгдсэн энэхүү кварцын ванн нь өндөр температурын нөхцөлд (175°C хүртэл) ажилладаг бөгөөд фосфорын хүчил (H₃PO₄) уусмалтай хамт хэрэглэхэд тохиромжтой тул чухал вафли цэвэрлэх процесст онцгой гүйцэтгэлийг хангадаг.
3. Үндсэн параметрүүд:
Хайлсан кварц (>99.99% SiO₂).
Өндөр температурт H₃PO₄ (фосфорын хүчил)-д онцгой химийн идэвхгүй байдал нь задрал эсвэл бөөм үүсэхээс сэргийлдэг.
160°C болон 175°C оргил температурт тасралтгүй ажиллах, бүтцийн бүрэн бүтэн байдал болон хэмжээст тогтвортой байдлыг хадгалах чадвартай.
Тодорхойлолт
Хагас дамжуулагч кварцын ванн нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд нарийн цэвэрлэгээ болон химийн боловсруулалтад зориулан тусгайлан бүтээсэн өндөр цэвэршилттэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй эд анги юм. WS-620C/WS-820C/WS-820L системтэй нийцтэй байхаар бүтээгдсэн энэхүү кварцын ванн нь өндөр температурын нөхцөлд (175°C хүртэл) ажилладаг бөгөөд фосфорын хүчил (H₃PO₄) уусмалтай хамт хэрэглэхэд оновчтой тул чухал вафли цэвэрлэх процесст онцгой гүйцэтгэлийг хангадаг.
Гол онцлог
Материаллаг давуу тал
Өндөр цэвэршилттэй кварц: Синтетик хайлуулсан кварцаар (>99.99% SiO₂) үйлдвэрлэсэн тул бохирдол багатай, дулааны цочролд тэсвэртэй.
Хүчиллэг эсэргүүцэл
Өндөр температурт H₃PO₄ (фосфорын хүчил)-д онцгой химийн идэвхгүй байдал нь задрал эсвэл бөөм үүсэхээс сэргийлдэг.
Дулааны тогтвортой байдал
160°C болон 180°C оргил температурт тасралтгүй ажиллах, бүтцийн бүрэн бүтэн байдал болон хэмжээст тогтвортой байдлыг хадгалах чадвартай.
Гүйцэтгэлийн ашиг тус
Бохирдлын хяналт: Хэт гөлгөр гадаргуугийн өнгөлгөө нь микроноос бага хагас дамжуулагч зангилааны процессуудад чухал ач холбогдолтой бөөмсийн наалдацыг багасгадаг.
Урт наслалт: Кварцын хүчил зэврэлт болон дулааны ядралд тэсвэртэй байдал нь ашиглалтын хугацааг уртасгаж, ашиглалтын хугацаа болон засвар үйлчилгээний зардлыг бууруулдаг.
Үйл явцын тогтвортой байдал: Тогтвортой дулаан дамжуулалт нь температурын жигд тархалтыг хангаж, цэвэрлэгээний үр ашиг болон давтагдах чадварыг нэмэгдүүлдэг.
Яагаад Semixlab-ын хагас дамжуулагч кварц ванныг сонгох ёстой вэ?
Хагас дамжуулагчийн зэрэглэлийн чанар: SEMI стандартыг хангахын тулд цэвэр өрөөний орчинд үйлдвэрлэсэн.
Захиалгат шийдлүүд: Тодорхой үйл явцын шаардлагад нийцүүлэн захиалгат загварууд боломжтой.
Найдвартай байдал: Чанарын хатуу шалгалт нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн шаардлагыг хангадаг.
үзүүлэлт нь
| Механик өмч | Нягт (г/см3) | 2.2 |
| Mohs хатуулаг | 6-7 | |
| Шахалтын бат бэх (МПа) | 1100 | |
| Суналтын бат бэх (Н/мм2) | 50 | |
| Гулзайлтын бат бэх (Н/мм2) | 65 | |
| Эргэлтийн хүч (Н/мм2) | 30 | |
| Янгийн модуль (МПа) | 7.2x104 | |
| Пуассоны харьцаа | 0.16 | |
| Дулааны шинж чанар | Дулааны тэлэлтийн коэффициент (20~320℃,k-1) | 5.5x10-7 |
| Дулаан дамжилтын илтгэлцүүр (20℃,Вт·м-1k-1) | 1.4 | |
| Хувийн дулаан (20℃, Ж·кг)-1k-1) | 670 | |
| Зөөлрүүлэх цэг (℃) | 1700 | |
| Хатаах цэг (℃) | 1180 | |
| Хүчдэлийн цэг (℃) | 1080 | |
| Цахилгаан өмч | Цахилгаан эсэргүүцэл (Ω·m) | 1x1016(20 ℃) |
| Диэлектрик тогтмол (10 ГГц) | 3.74 | |
| Диэлектрик алдагдал (10 ГГц) | 0.0002 | |
| Диэлектрик хүч чадал (V·m)-1) | 3.7x107 |
Хэрэглээ
Вафли цэвэрлэх: H₃PO₄ дээр суурилсан уусмал дахь фоторезист, үлдэгдэл болон бохирдлыг сийлбэр эсвэл литографийн дараа зайлуулах.
Өндөр температурын процессууд: Өндөр температурт түрэмгий химийн бодис шаарддаг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн дэвшилтэт үе шатуудад тохиромжтой.
Тохиромжтой байдал: Логик, санах ой эсвэл цахилгаан төхөөрөмж үйлдвэрлэдэг үйлдвэрүүдийн WS-620C/WS-820C/WS-820L системд тохиромжтой.
