EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
CMP өнгөлгөөний зүлгүүр
| Гарал газар: | Хятад улс |
| Барааны тэмдэгийн нэр: | Semixlab |
| Загвар тоо: | SXL-1 |
| Гэрчилгээний: | ISO14001, ISO45001, ISO9001 стандартууд |
| Хамгийн бага захиалгын тоо хэмжээ: | Хэлэлцээрийн үндсэн дээр |
| Үнэ: | Тохируулсан үнийн санал авах бол холбоо барина уу |
| Баглаа боодол дэлгэрэнгүй: | Стандарт экспортын багц |
| Хүргэгдэх хугацаа: | Захиалга баталгаажсанаас хойш 15-30 хоногийн дараа |
| Төлбөрийн нөхцөл: | T / T |
| Хангамж чадвар: | 10 тонн/сар |
Тодорхойлолт
CMP (Химийн Механик Planarization) өнгөлгөөний зүлгүүр нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл, оптик шил, нэгдсэн хэлхээ гэх мэт салбарт гол материал бөгөөд химийн зэврэлт, механик нунтаглалтын синергетик нөлөөгөөр гадаргууг нано түвшний тэгшлэхэд хүрдэг.
Хэрэглээ:
CMP өнгөлгөөний зүлгүүрүүд нь нэгдсэн хэлхээний үйлдвэрлэлийн салбарт шийдвэрлэх гол материал бөгөөд нэгдсэн хэлхээний ILD, хагас дамжуулагч нэг талст цахиур хавтан, хагас дамжуулагч цахиурын карбид, нэгдсэн хэлхээний гүехэн сувгийн тусгаарлалт (STI), нэгдсэн хэлхээний полисиликон (Poly-metal bars), нэгдсэн хэлхээнд ашиглаж болно.
Үйлчилгээ үзүүлэх боломжтой:
хэрэглэгчийн хэрэглээний хувилбарын дүн шинжилгээ, тохирох материал, техникийн асуудлыг шийдвэрлэх.
Компанийн танилцуулга:
Semixlab нь 2 лаборатори, 20 жилийн материаллаг туршлагатай, судалгаа, боловсруулалт, үйлдвэрлэл, туршилт, баталгаажуулалтын чадвартай мэргэжилтнүүдийн багтай.
үзүүлэлт нь
Хэт өндөр цэвэршилттэй цуврал бүтээгдэхүүний гүйцэтгэлийн үзүүлэлтүүд
| Үзүүлэлт | SXL-1 | SXL-2 | SXL-3 | SXL-4 | SXL-5 | SXL-6 | SXL-7 |
| Цахиурын дундаж хэмжээ/нм | 35 ± 5 | 45 ± 5 | 65 ± 5 | 75 ± 5 | 85 ± 5 | 100 ± 5 | 120 ± 5 |
| Нано бөөмийн хэмжээ хуваарилалт (PDI) | |||||||
| Уусмалын рН | 7.2-7.4 | 7.2-7.4 | 7.2-7.4 | 7.2-7.4 | 7.2-7.4 | 7.2-7.4 | 7.2-7.4 |
| Хатуу агуулга/% | 20.5 ± 0.5 | 20.5 ± 0.5 | 20.5 ± 0.5 | 20.5 ± 0.5 | 20.5 ± 0.5 | 20.5 ± 0.5 | 20.5 ± 0.5 |
| Гадаад төрх | Цайвар цэнхэр | Цэнхэр | Цагаан | Off-White | Off-White | Off-White | Off-White |
| Бөөмийн морфологи X | X:S- бөмбөрцөг;B- муруй;P- самрын хэлбэртэй;T- булцуутай;C- гинж хэлбэртэй (нийтлэгдсэн төлөв) | ||||||
| Тогтворжуулах ионууд | Органик/Органик бус аминууд | ||||||
| Түүхий эдийн найрлага Y | Y:M-TMOS;E-TEOS;ME-TMOS+TEOS;EM-TEOS+TMOS | ||||||
| Металлын хольцын агууламж | ≤300ppb | ||||||
Хэрэглээ
Хэрэглээний үндсэн талбарууд
| Хэрэглээний чиглэл | Ердийн хувилбар |
| Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл | Integrated Circuit (IC) чипс ба гурав дахь үеийн хагас дамжуулагч материал |
| Оптик ба дэлгэцийн технологи | Оптик шил, линз, дэлгэцийн самбар |
| Хадгалах төхөөрөмж | Хатуу дискний хавтан ба 3D NAND флаш санах ой |
| Нарийвчилсан савлагаа | Вафлайн түвшний савлагаа (WLP), TSV (цахиураар дамжуулан) |
| Бусад өндөр чанартай програмууд | MEMS (микро цахилгаан механик систем) ба эмнэлгийн суулгац |
Экологийн гинжин хэлхээний баталгаажуулалт
Semixlab CMP өнгөлгөөний зүлгүүр нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн гэрчилгээтэй бөгөөд ISO 14001/45001/9001 гэрчилгээг давсан.
Ердийн хэрэглээний процесс
Түүхий эд → Зүлгүүрийн синтез (гадаргууг өөрчлөх) → Сларрын найрлага (Шүүх/PH тохируулга) → CMP өнгөлөх (EPD хяналт) → Цэвэрлэгээний дараах → Шалгалт (AFM/KLA) → Өгөгдлийн санал хүсэлтийг оновчтой болгох
Үйл явцын параметрүүдийг оновчтой болгосноор Semixlab CMP өнгөлгөөний зүлгүүр нь дотоодын дээд зэрэглэлийн хагас дамжуулагч нэгдсэн хэлхээний салбарт ахиц дэвшил гаргаж, хагас дамжуулагчийн зах зээлд импортыг аажмаар орлож, LCD, OLED болон бусад дэлгэцийн хавтан үйлдвэрлэл, үйлдвэрлэлд амжилттай хэрэгжиж байна. Хэрэв танд техникийн дэлгэрэнгүй баримт бичиг авах эсвэл дээжийн туршилт хийх шаардлагатай бол манай техникийн дэмжлэг үзүүлэх багтай холбоо барина уу.
Өрсөлдөх давуу тал
Semixlab CMP өнгөлөх зүлгүүрийн үндсэн давуу тал
a.Бөөмийн диаметр болон бөөмийн агрегацын зэргийг чөлөөтэй тохируулах боломжтой;
б.Бөөмийн хэмжээ жигд тархсан монодисперс тоосонцор;
c. Тогтвортой тархалтын систем;
d.Багцаас багц болгон өөрчлөх хамгийн бага хэмжээтэй том хэмжээний үйлдвэрлэлийн хүчин чадал;
e.Тогтвортой, бөөгнөрөл, тунадасжилтад тэсвэртэй.
Бидний үйлчилгээ
Semixlab бүтээгдэхүүний дэлгүүр
Semixlab CMP өнгөлгөөний зүлгүүрийн цехүүд
