Өндөр цэвэршилттэй сүвэрхэг бал чулуу

Өндөр цэвэршилттэй сүвэрхэг бал чулуу нь дэвшилтэт хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн чухал материал бөгөөд түүний онцгой дулааны тогтвортой байдал, хэт бага бохирдлын түвшин, процессын тогтвортой байдал нь хамгийн чухал юм. Semixlab-ийн өндөр цэвэршилттэй сүвэрхэг бал чулууны уусмалыг өндөр температурт болон бохирдолд мэдрэмтгий хагас дамжуулагчийн процесст тусгайлан боловсруулсан.

Эпитаксийн процесст өндөр цэвэршилттэй сүвэрхэг бал чулууг суурь баригч, вафли тээгч, хийн хуваарилалтын бүтэц, дулааны талбайн элементүүд зэрэг гол бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд өргөн ашигладаг. Si, SiC, GaN эпитаксийн өсөлтийн үед температурын жигд байдал, тогтвортой хийн урсгал нь хальсны зузааныг хянах, хольцын жигд байдал, согогийг дарах чухал хүчин зүйл болдог. Semixlab бал чулууны сүвэрхэг бичил бүтэц нь вафли гадаргуу дээр илүү жигд дулааны тархалт, хийн тархалтыг хянах боломжийг олгодог бөгөөд ингэснээр хил хязгаарын давхаргын тогтворгүй байдал болон ирмэгийн нөлөөллийг бууруулдаг.

1000 °C-аас дээш температурт тогтвортой ажиллагаа шаарддаг диффузи ба исэлдэлтийн процессын үед өндөр цэвэршилттэй сүвэрхэг бал чулуу нь вафли завь, доторлогоо, дулаан тусгаарлагч эд ангиудад найдвартай бүтцийн болон тулгуур материал болж үйлчилдэг. Өтгөн бал чулуутай харьцуулахад түүний сүвэрхэг бүтэц нь давтан дулааны мөчлөгийн үед дулааны стресс болон деформацийг бууруулж, хэмжээст тогтвортой байдлыг сайжруулж, эд ангийн ашиглалтын хугацааг уртасгадаг. Түүний төрөлхийн химийн идэвхгүй байдал болон бага хольцын агууламж нь цэвэр процессын орчныг хадгалахад тусалдаг бөгөөд хольцын диффузийн профайл болон исэлдэлтийн хальсны чанарыг хатуу хянахын зэрэгцээ бөөмс үүсэх болон хөндлөн бохирдлын эрсдлийг бууруулдаг.

CVD, LPCVD, болон PECVD процессуудын хувьд өндөр цэвэршилттэй сүвэрхэг бал чулуу нь халаагуур, вафли тээвэрлэгч болон реактив хий болон өндөр температурт өртдөг дотоод камерын бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Материалын маш сайн дулаан дамжуулалт нь хурдан, жигд дулаан дамжуулалтыг хангадаг бол сүвэрхэг бүтэц нь тунадасны дайвар бүтээгдэхүүнийг хяналттай барих боломжийг олгодог бөгөөд тоног төхөөрөмжийн удаан хугацааны ашиглалтын явцад хальслах, бөөмсийн ялгаралтыг багасгадаг. Энэ нь процессын тогтвортой байдлыг сайжруулах, засвар үйлчилгээний хугацааг уртасгах, тоног төхөөрөмжийн ажиллах хугацааг нэмэгдүүлэхэд шууд хувь нэмэр оруулдаг.

Semixlab-ийн өндөр цэвэршилттэй сүвэрхэг бал чулууг түүхий эд сонгох, цэвэршүүлэх, бичил бүтцийн инженерчлэлийг нарийн чанд удирдан зохион байгуулдаг чанарын хяналтын системийн дагуу үйлдвэрлэдэг. Илүү их ашиглалтын хугацаа эсвэл илүү хүнд химийн орчинд ажиллах шаардлагатай үед энэхүү бүтээгдэхүүн нь SiC эсвэл TaC зэрэг дэвшилтэт хамгаалалтын бүрхүүлтэй нийцдэг. Онцгой дизайны уян хатан байдал, боловсруулах чадвар, дэвшилтэт хагас дамжуулагч бүрхүүлийн технологийг ашиглан манай шийдлүүдийг таны хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн платформ болон процессын зангилааны тодорхой шаардлагад нарийн тохируулан боловсруулж болно. Бид Хятад дахь таны урт хугацааны түнш болохыг чин сэтгэлээсээ хүлээж байна.