Тантал карбид бүрсэн тигель
Semixlab-ийн тантал карбид (TaC) бүрсэн тигель нь хагас дамжуулагч боловсруулахад өндөр температур, химийн түрэмгий орчинд тусгайлан зориулагдсан. Өтгөн CVD TaC бүрээсээр бүтээгдсэн тигель нь гайхалтай дулааны эсэргүүцэл, зэврэлтээс хамгаалах, бүтцийн тогтвортой байдлыг хангадаг тул SiC эпитакси, GaN өсөлт, CVD/ALD хэрэглээнд тохиромжтой. Манай дээд зэрэглэлийн тигель технологийн тусламжтайгаар процессын найдвартай байдлыг дээшлүүлж, бохирдлын эрсдлийг бууруул.
Тодорхойлолт
Semixlab үйлчилгээ
Semixlab-д бид хагас дамжуулагч R&D болон үйлдвэрлэлийн орчны өвөрмөц шаардлагыг ойлгодог. Бид санал болгож байна:
● Захиалгат үйлдвэрлэлийн үйлчилгээ
Үйл явцын тодорхой хэрэгцээнд нийцүүлэн янз бүрийн геометр, зузаан, бүрэх үзүүлэлтээр тусгайлан хийсэн тигель.
● Жижиг багц болон загвар захиалга
Уян хатан захиалгын хэмжээ нь туршилтын шугам, эрдэм шинжилгээний судалгаа эсвэл эхний шатанд боловсруулахад тохиромжтой.
● Хурдан хүргэх хугацаа ба дэлхийн хэмжээнд хүргэлт
Үйлдвэрлэлийн хурдацтай мөчлөг, дэлхий даяар тээвэрлэлт нь таны хуваарь болон цар хүрээг нэмэгдүүлэх хэрэгцээг дэмждэг.
үзүүлэлт нь
| TaC бүрхүүлийн физик шинж чанар | |
| нягт | 14.3 (г/см³) |
| Тусгай ялгаруулах чадвар | 0.3 |
| Дулааны тэлэлтийн коэффициент | 6.3*10-6/K |
| Хатуулаг (HK) | 2000 Хонгконг |
| Эсэргүүцэл | 1 × 10-5 Ом*см |
| Дулааны тогтвортой байдал | <2500 ℃ |
| Графитын хэмжээ өөрчлөгддөг | -10~-20ум |
| Зузаан бүрхүүл | ≥20um ердийн утга (35um±10um) |
Хэрэглээ
Так бүрээсний физик давуу талыг дээд зэргийн бал чулууны гайхалтай шинж чанартай хослуулсан манай тантал карбид бүрсэн тигелийг голчлон дараах хагас дамжуулагч процесст ашигладаг.
▶ MOCVD & HVPE тигель систем
▶ SiC, GaN, GaAs-ийн эпитаксиаль өсөлт
▶ Өндөр температурт зөөлрүүлэх, хайлуулах
▶ Өргөст ялтас үйлдвэрлэх дэвшилтэт тоног төхөөрөмж
Semixlab TaC бүрсэн тигель нь хагас дамжуулагчийн дэвшилтэт үйлдвэрлэлд, ялангуяа эпитакси, талст ургалт, химийн уурын хуримтлал (CVD) зэрэг хэт өндөр температурын тогтвортой байдал, хамгийн бага бохирдол, химийн эсэргүүцэл шаарддаг процессуудад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Химийн хувьд идэвхгүй саад тотгор, онцгой дулааны уян хатан чанарыг хангаснаар TaC бүрсэн тигель нь өндөр эрэлт хэрэгцээтэй үйлдвэрлэлийн янз бүрийн үе шатанд процессын бүрэн бүтэн байдал, материалын цэвэр байдал, тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацааг баталгаажуулдаг.
Тохиромжтой хэмжээсүүд, бүрэх зузаан, жижиг багц дэмжлэгтэйгээр Semixlab нь дэвшилтэт хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн эрэлт хэрэгцээг хангахад тохирсон шийдлүүдийг санал болгодог. Бид таны Хятад дахь урт хугацааны түнш болно гэдэгт чин сэтгэлээсээ найдаж байна.
Өрсөлдөх давуу тал
Гол давуу талууд: Тантал карбидын физик шинж чанарууд
Тантал карбид (TaC) нь хэт өндөр хайлах цэг (~3880°C), онцгой хатуулаг, химийн идэвхгүй чанараараа алдартай бөгөөд энэ нь хагас дамжуулагч орчинд ашиглагддаг бал чулуун тигельд хамгийн тохиромжтой хамгаалалтын бүрээс болдог. TaC бүрээсийг хэрэглэх нь дараах гүйцэтгэлийн ашиг тусыг авчирдаг.
● Хэт их дулааны эсэргүүцэл
Хэт өндөр температурыг хэв гажилт, доройтолгүйгээр тэсвэрлэж, болор ургах, өндөр температурт боловсруулах тогтвортой нөхцлийг бүрдүүлнэ.
● Химийн идэвхгүй байдал
Галоген дээр суурилсан түрэмгий хий, хүчилд тэсвэртэй, гол төлөв эпитакси болон сийлбэр хийх процесст ашигладаг бөгөөд хөндлөн бохирдлоос сэргийлдэг.
● Хамгийн бага тоосонцор үүсгэх
TaC давхаргын нягт, гөлгөр гадаргуу нь хальслах, тоосонцор асгаралтыг дарангуйлж, цэвэр өрөөнд бага хэмжээний согогийг баталгаажуулдаг.
● Маш сайн дулаан дамжуулалт
Материал боловсруулах явцад дулааны жигд хуваарилалтыг хангаж, гарц, тууштай байдлыг сайжруулна.
Тэргүүлэх ханган нийлүүлэгчдийн үндсэн материал
Манай тигель нь TOYO TANSO (Япон) зэрэг дээд зэрэглэлийн ханган нийлүүлэгчдээс гаргаж авсан өндөр цэвэршилттэй бал чулууны субстратыг ашиглан үйлдвэрлэсэн бөгөөд энэ нь бүтцийн бүрэн бүтэн байдал, бүрэх нийцтэй байдлыг хангадаг. Дээд зэрэглэлийн бал чулуу болон дэвшилтэт TaC бүрээсийн хамтын ажиллагаа нь хамгийн хүнд нөхцөлд бат бөх, гүйцэтгэлийг хоёуланг нь сайжруулдаг.
Бидний үйлчилгээ

Semixlab бүтээгдэхүүний дэлгүүр


EN
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ




