EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
TaC бүрсэн бал чулуун цагираг
Semixlab-ийн TaC бүрсэн графит цагираг нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд онцгой гүйцэтгэлтэй байхаар бүтээгдсэн. Манай өндөр цэвэршилттэй тантал карбид (TaC) CVD бүрэх цагираг нь CVD, PVD, плазмын сийлбэр хийх процессуудад зайлшгүй шаардлагатай бөгөөд чиглүүлэгч цагираг, фокус цагираг, доторлогооны цагираг зэрэг үүрэг гүйцэтгэдэг. Манай бат бөх, найдвартай бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн тусламжтайгаар тоосонцор бохирдлыг бууруулж, вафельний гарцыг сайжруулна.
Тодорхойлолт
Semixlab TaC бүрсэн графит цагираг нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид голчлон ашиглагддаг чухал бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Энэ нь тантал карбидын (TaC) давхаргаар нямбай бүрсэн өндөр цэвэршилттэй бал чулууны субстратаас бүрдэнэ. Энэхүү дэвшилтэт бүрхүүл нь графитийг химийн хатуу орчин, өндөр температурын нөхцлөөс хамгаалдаг дээд зэргийн гадаргууг өгдөг.
Манай TaC бүрсэн графит цагираг нь химийн уурын хуримтлал (CVD), физик уурын хуримтлал (PVD), плазмын сийлбэр зэрэг процессуудад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Эдгээр нь хамгаалалтын хаалт, чиглүүлэгч цагираг эсвэл урвалын камерт бүтцийн гол хэсэг болж, эцсийн хагас дамжуулагч хавтангийн бүрэн бүтэн байдал, чанарыг баталгаажуулдаг.
үзүүлэлт нь
| Тантал карбидын (TaC) бүрхүүлийн физик шинж чанар | |
| нягт | 14.3 (г/см³) |
| Тусгай ялгаруулах чадвар | 0.3 |
| Дулааны тэлэлтийн коэффициент | 6.3*10-6/K |
| Хатуулаг (HK) | 2000 Хонгконг |
| Эсэргүүцэл | 1 × 10-5 Ом*см |
| Дулааны тогтвортой байдал | <2500 ℃ |
| Графитын хэмжээ өөрчлөгддөг | -10~-20ум |
| Зузаан бүрхүүл | ≥20um ердийн утга (35um±10um) |
Хэрэглээ
Хагас дамжуулагч процесс дахь хэрэглээ
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэхэд зориулсан TaC бүрсэн графит цагирагуудын бат бөх шинж чанарууд нь тэдгээрийг хэд хэдэн үндсэн хэрэглээнд зайлшгүй шаардлагатай болгодог.
1. Химийн уурын хуримтлал (CVD)
ЗСӨ-ийн процесст хий нь өндөр температурт урвалд орж, нимгэн хальсан хавтан дээр тогтдог бол урвалын камер нь маш түрэмгий орчин юм. Манай CVD TaC бүрсэн цагиргууд нь мэдрэгч цагираг, чиглүүлэгч цагираг, доторлогооны цагираг болгон ашиглагддаг. Эдгээр нь идэмхий хий, химийн халдлагаас онцгой хамгаалалт болж, тоосонцорыг бохирдуулахаас сэргийлж, хальсан дээрх жигд зузааныг баталгаажуулдаг. TaC-ийн өндөр дулааны тогтвортой байдал нь хэт өндөр температурт ч тогтвортой ажиллах боломжийг олгодог.
2. Физик уурын хуримтлал (PVD)
PVD цацах, электрон цацрагийг ууршуулахын тулд манай цагираг нь вакуум камерт чухал бүрэлдэхүүн хэсэг болдог. Эдгээр нь бусад мэдрэмтгий хэсгүүдийг хог хаягдал, плазмын бөмбөгдөлтөөс хамгаалдаг хамгаалалтын цагираг эсвэл чиглүүлэгч цагирагын үүрэг гүйцэтгэдэг. TaC бүрхүүлийн ер бусын хатуулаг, нягтрал нь түүнийг бөөмийн элэгдэлд тэсвэртэй болгож, эд ангиудын эвдрэл, дараа нь вафельний согог үүсэх эрсдлийг эрс багасгадаг.
3. Плазмын сийлбэр
Плазмын сийлбэр хийх явцад материалаас материалыг сонгон авахын тулд өндөр идэвхтэй плазмыг ашигладаг. Энэ процесс нь бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг хамардаг
Өрсөлдөх давуу тал
Semixlab TaC бүрсэн графит цагирагны давуу тал
1. Дээд зэргийн бат бөх чанар
●Өтгөн CVD TaC бүрээс нь нүцгэн бал чулуунаас хамаагүй илүү плазм, химийн халдлага, механик элэгдэлд тэсвэртэй.
2. Хагас дамжуулагчийн гарцын өндөр цэвэршилт
●Ионы бохирдлыг багасгахын тулд хэт бага хольцтой бал чулуу, өндөр цэвэршилттэй TaC бүрээсээр үйлдвэрлэсэн.
3. Нарийвчлалтай боловсруулалт ба бүрэх хяналт
●Хатуу хүлцэлд зориулсан дэвшилтэт боловсруулалт; Тогтвортой гүйцэтгэлийн хувьд жигд бүрхүүлийн зузаан.
4. Тохируулах & Инженерийн дэмжлэг
●Өөр өөр диаметр, хөндлөн огтлолын профиль, бүрээсийн зузаан, битүүмжлэх боломжуудын сонголтууд.
●Техникийн зөвлөгөө өгөх үйл явцын тусгай загвар.
5. Хурдан загварчлал ба дэлхийн нийлүүлэлт
●Шуурхай түүвэр үйлдвэрлэл, дэлхийн ложистик, найдвартай хүргэх хугацаа.
Бидний үйлчилгээ
Semixlab бүтээгдэхүүний дэлгүүр
