Бvх ангилал
CVD цахиурын карбид (SiC) бүрэх
Исэлдэлтийн диффузийн зориулалттай CVD SiC бүрсэн вафли завь
Исэлдэлтийн диффузийн зориулалттай CVD SiC бүрсэн вафли завь

Исэлдэлт ба диффузийн зориулалттай CVD SiC бүрсэн вафли завь


Бодит ертөнцийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд вафли завийг исэлдэлт, диффуз, шарах, дулааны боловсруулалт зэрэг өндөр температурт хагас дамжуулагчийн процесст өргөн ашигладаг. Эдгээр хэсгүүд нь вафли хэр тогтвортой байх, температур хэр жигд байх, камер доторх бөөмсийг хэр сайн хянах боломжтой байдалд шууд нөлөөлдөг.

Тодорхойлолт

Semixlab дээр бид хагас дамжуулагч орчинд зориулсан SiC бүрээстэй вафли завь үйлдвэрлэдэг бөгөөд эдгээр орчинд тогтвортой байдал, цэвэр байдал, урт хугацааны ашиглалтын хугацаа чухал байдаг.

Бид өндөр цэвэршилттэй цахиурын карбидын керамик (SiC керамик, цэвэршилт 99.9%-иас дээш)-аар эхэлж, 6N цэвэршилттэй өтгөн CVD цахиурын карбид (CVD SiC) бүрхүүл түрхдэг. Ингэснээр манай завьнууд давтан халаах, хөргөх үед ч бүтцийн тогтвортой байдлаа хадгалж, үйлдвэрлэлийн явцад бохирдох эрсдлийг бууруулахад тусалдаг.

SiC бүрсэн вафли завь гэж юу вэ?

Вафли завь нь үндсэндээ дулааны боловсруулалтын явцад хэд хэдэн вафлиг багтаадаг тээвэрлэгч юм. Энэ нь вафлигуудыг зөв зайд, тулгуурт байлгаж, тэдгээрийн хооронд дулаан жигд дамжуулалтыг хангадаг.

Уламжлалт бал чулуун хавтангийн зөөгчтэй харьцуулахад дэвшилтэт SiC керамик хавтангийн завь нь хагас дамжуулагч зуухны орчинд илүү сайн дулааны тогтвортой байдал, цэвэршилтийн хяналт, исэлдэлтийн эсэргүүцлийг хангадаг. Гэхдээ түрэмгий хагас дамжуулагч нөхцөлд - цаг хугацаа өнгөрөхөд - та гадаргуугийн исэлдэлт, бөөмс унах, эсвэл химийн элэгдэл зэрэг зүйлтэй тулгарч болно.

Тийм ч учраас хүмүүс ихэвчлэн SiC бүрхүүлийг сонгодог.

Цахиурын карбидын давхарга нь бал чулуун гадаргуу дээр нягт хамгаалалтын бүрхүүл үүсгэдэг. Энэ нь дараахь зүйлийг сайжруулдаг.

-Исэлдэлтэд тэсвэртэй

-Химийн зэврэлтэнд тэсвэртэй

-Гадаргуугийн хатуулаг

-Бөөмийн хяналт

- Энэ хэсэг хэр удаан үргэлжилдэг

Ийм учраас CVD SiC бүрсэн вафли завийг исэлдэлтийн зуух, диффузийн зуух болон бусад өндөр цэвэршилттэй дулааны боловсруулалтын системд өргөн ашигладаг.

Semixlab SiC бүрсэн вафли завины гол онцлогууд

Өндөр цэвэршилттэй гадаргуу

Бохирдол нь таны вафлийн гарцад шууд нөлөөлж болзошгүй. Бид хагас дамжуулагчийн зэрэглэлийн цэвэр байдлыг хангахын тулд бүрэх процессоо оновчтой болгодог тул үйлдвэрлэлийн явцад металлын бохирдлыг багасгахад тусалдаг.

Маш сайн дулааны тогтвортой байдал

Исэлдэлт ба диффузийн боловсруулалтын явцад вафли завь нь давтагдсан өндөр температурын мөчлөгийн дор хэмжээст тогтвортой байдал болон хэт цэвэр гадаргууг хадгалах ёстой. Манай вафли завь нь давтагдсан халаах болон хөргөх мөчлөгийн үеэр хэмжээсээ хадгалахаар зохион бүтээгдсэн.

Бага хэмжээний бөөмс үүсэх

Гадаргуу нь нягтаршсан тул бал чулуу бага ил гардаг бөгөөд энэ нь цөөн тооны хэсгүүд ялгарч, илүү цэвэр орчин бүрддэг гэсэн үг юм.

Нэг жигд бүрхүүл

Нарийн төвөгтэй үүрний бүтэц болон булангуудад жигд бүрэх зузаан шаардлагатай. Манай дотоод бүрэх процесс нь бүхэл хэсгийн гадаргуугийн жигд байдлыг сайжруулахад тусалдаг.

Захиалгат боловсруулалтын чадвар

Тоног төхөөрөмжийн өөр өөр платформууд өөр өөр хэмжээс шаарддаг. Бид таны зураг эсвэл үйл явцын шаардлагад үндэслэн захиалгат дизайныг дэмждэг.

Үйлдвэрлэл ба чанарын хяналт

Вафер завь бүрийг нарийн керамик боловсруулалт, гадаргуугийн бэлтгэл, өндөр цэвэршилттэй CVD SiC бүрэх ажилд оруулдаг.

Semixlab дээр бүх хэсэг дараах байдлаар дамждаг:

-Түүхий эдийн үзлэг

- Нарийвчлалтай CNC боловсруулалт

- Гадаргуу цэвэрлэх эмчилгээ

-CVD SiC бүрхүүл

-Хэмжээст баталгаажуулалт

- Эцсийн харагдах байдал болон чанарын үзлэг

Бид үүнийг таны эд анги хэрэгсэлд орохоос өмнө найдвартай ажиллагааг хангахын тулд хийдэг.

Яагаад Semixlab-ийг сонгох вэ?

Бид хагас дамжуулагч бал чулуу болон бүрээсний эд ангиудын мэргэшсэн үйлдвэрлэгч юм. Бид үйлчлүүлэгчдэдээ дараах зүйлсийг тусалдаг:

-Дотоод бүрэх технологи

- Уян хатан захиалгат үйлдвэрлэл

- Инженерийн хурдан холбоо

-Хагас дамжуулагч процессын талаарх мэдлэгтэй

-Олон улсын хангамжийн тогтвортой чадавхи

Та тоног төхөөрөмж боловсруулж байгаа, туршилтын шугам ажиллуулж байгаа эсвэл олноор нь үйлдвэрлэж байгаа эсэхээс үл хамааран манай инженерийн баг таны хэрэглээний хэрэгцээг хангах боломжтой.

Хэрэв та найдвартай SiC бүрсэн вафли завь нийлүүлэгч хайж байгаа бол Semixlab нь таны зураг эсвэл үйл явцын нөхцөлд үндэслэн захиалгат шийдлүүдийг санал болгож чадна.

үзүүлэлт нь
Эд хөрөнгийн ердийн үнэ цэнэ
Үндсэн материал Өндөр цэвэршилттэй цахиурын карбид керамик (>99.9%)
Дулааны материал CVD цахиурын карбид (CVD SiC, 6N хүртэл цэвэршилттэй)
Зузаан Гаалийн
үйлдлийн температур 1600 ° C хүртэл
Гадаргын Finish Нарийвчилсан боловсруулалт
Гаалийн дизайн Боломжит

Бодит үзүүлэлтүүдийг таны хэрэглээний нөхцлөөс хамааран тохируулж болно.

Хэрэглээ

CVD SiC бүрсэн вафли завины хэрэглээ

Манай SiC бүрсэн вафли завийг дараахь зүйлд өргөн ашигладаг.

● Хагас дамжуулагч исэлдэлтийн зуух

● Хагас дамжуулагч диффузийн зуух

● Дулааны аргаар цэвэрлэх систем

● Хагас дамжуулагч дулааны боловсруулалтын тоног төхөөрөмж

● Хагас дамжуулагчийн судалгаа, хөгжүүлэлтийн дэвшилтэт хэрэглээ

● Шатаах үйл явц

● Өндөр температурт хагас дамжуулагч материалын судалгаа

Бидний үйлчилгээ

Хэрэг бvртгэлт

Халуун ангилал