EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Хагас дамжуулагч кварцын урсгалын хаалт
Semixlab хагас дамжуулагч кварцын урсгалын хаалт нь CVD, LPCVD, PECVD, диффуз, исэлдэлтийн зуухны доторх хийн урсгалыг зохицуулах, нэгэн төрлийн болгоход зориулагдсан нарийн инженерийн бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Хэт өндөр цэвэршилттэй хайлуулсан кварцаар (SiO₂, ≥99.99%) үйлдвэрлэсэн нь вафель боловсруулах явцад тогтвортой температур, хийн тархалтыг хангаж, хальсны жигд бус байдал, тоосонцор бохирдох, орон нутгийн хэт тунадасжилтыг үр дүнтэй бууруулдаг. Түүний өндөр оптик ил тод байдал, онцгой дулааны эсэргүүцэл, бохирдолгүй шинж чанар нь хагас дамжуулагч болон SiC/GaN эпитаксийн дэвшилтэт тоног төхөөрөмжийн зайлшгүй бүрэлдэхүүн хэсэг болгодог.
Тодорхойлолт
Ⅰ. Материал ба гадаргуугийн шинж чанар
● Материал: Өндөр цэвэршилттэй хайлсан цахиур (синтетик эсвэл байгалийн кварц, цэвэршилт ≥99.99%).
● Дулааны эсэргүүцэл: 1200°C хүртэл тасралтгүй температурт тогтвортой гүйцэтгэл.
● Гадаргуугийн өнгөлгөө: Хэт гөлгөр нарийн өнгөлсөн гадаргуу нь тоосонцор наалдахаас сэргийлнэ.
● Дулааны тэлэлт: Тэлэлтийн бага коэффициент (5.5×10⁻⁷/°C) нь хэмжээсийн тогтвортой байдлыг хангана.
● Химийн эсэргүүцэл: HCl, NH₃, SiH₄ зэрэг идэмхий хийд идэвхгүй.
Урсгалын хаалт бүр нь гадаргуугийн чанар, хэмжээсийн нарийвчлал, дотоод бөмбөлгийн хяналтыг нарийн шалгаж, үйлдвэрлэлийн багц бүрт тогтвортой цэвэр, найдвартай байдлыг хангадаг.
Ⅱ. Хагас дамжуулагч процессын үндсэн функцууд
Кварцын урсгалын хаалт нь өндөр температурт хагас дамжуулагч боловсруулах камерын доторх гол урсгалын хяналт, дулааны зохицуулалтын бүрэлдэхүүн хэсэг болдог. Түүний үүрэг нь хийнүүдийг чиглүүлэхээс хамаагүй илүү бөгөөд энэ нь процессын орчныг тогтворжуулах, материалын ашиглалтыг сайжруулах, вафель-хоолны жигд байдлыг хангах олон талт үүрэг гүйцэтгэдэг.
1. Хийн урсгалын жигд хуваарилалт
LPCVD, PECVD, epitaxy зэрэг процессуудад жигд хийн дамжуулалт нь нимгэн хальсан ургалт болон нэмэлт бодисын тархалтыг хангахад маш чухал юм. Кварцын урсгалын хаалтны нарийн боловсруулсан геометр нь түүний өнцгийн урсгалын суваг, хазайх муруйлт, оновчтой зай зэрэг нь реактив хий нь вафель гадаргуу дээр жигд тархдаг. Ламинар урсгалын хэв маягийг хадгалснаар урсгалын хаалт нь багц доторх өрлөг бүр ижил хийн өртөх нөхцөлийг хангаж, улмаар гарцын тогтвортой байдал болон төхөөрөмжийн тогтвортой байдлыг сайжруулдаг.
2. Дулааны талбайн тогтворжилт ба дулаан дамжуулах баланс
Дулааны исэлдэлт эсвэл Si эпитаксиаль өсөлт зэрэг өндөр температурт үйл явцын үед температурын тархалтын бага зэргийн өөрчлөлтүүд ч талст гажиг, мултрал, эсвэл хальсны стресст хүргэдэг.
Кварцын урсгалын хаалт нь дулаан зохицуулагчийн үүргийг гүйцэтгэдэг.
● Өргөст онгоцны төв ба ирмэгийн хоорондох температурын градиентийг жигд болгоно
● Зуухны доторх цацрагийн дулааны тэнцвэргүй байдлыг багасгана
● Температурын өсөлт, бууралтын мөчлөгийн үед дулааны цохилтыг багасгадаг
3. Бохирдлыг дарах, үйл явцын цэвэр байдал
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд бохирдлыг хянах нь хамгийн чухал юм. Металл эсвэл тоосонцор бохирдол нь төхөөрөмжийн гарцыг ихээхэн доройтуулдаг. Хэт өндөр цэвэршилттэй синтетик хайлмал цахиураар (SiO₂ ≥ 99.99%) хийсэн кварцын урсгалын хаалт нь процессын камерт металл ион болон нүүрстөрөгчийн үлдэгдэл оруулахгүй. Түүний гөлгөр, сүвэрхэг бус гадаргуу нь урвалын дайвар бүтээгдэхүүн хуримтлагдахаас сэргийлж, тоосонцор урсахаас сэргийлдэг. Энэ нь хаалганы оксид үүсэх, диффузын допинг, ЗСВ-ийн диэлектрик хуримтлал зэрэг чухал процессуудад цэвэр өрөөний түвшний тогтвортой байдлыг хангадаг.
Semixlab кварцын урсгалын хаалт нь зөвхөн идэвхгүй бүрэлдэхүүн хэсэг биш бөгөөд энэ нь процессын тогтвортой байдал, хийн жигд байдал, гарцыг оновчтой болгоход чухал түлхэц болдог. Урсгалын динамикийн дэвшилтэт дизайн, дулааны тэнцвэржүүлэлт, хэт цэвэр материалын найрлагаараа хавтан бүр нь дараагийн үеийн хагас дамжуулагч төхөөрөмжийг үйлдвэрлэхэд зайлшгүй шаардлагатай нарийн хяналттай процессын орчныг хүлээн авдаг.
Бидний үйлчилгээ
Semixlab бүтээгдэхүүний дэлгүүр
